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    MIKROSKOPIE ZUM ERMITTELN EINER ANGABE ÜBER EINE BRECHZAHL IM INNEREN MINDESTENS EINES TEILS EINER PROBE
    1.
    发明申请
    MIKROSKOPIE ZUM ERMITTELN EINER ANGABE ÜBER EINE BRECHZAHL IM INNEREN MINDESTENS EINES TEILS EINER PROBE 审中-公开
    观察确定声明对一些BREAKING内部的至少一个样品的一部分

    公开(公告)号：WO2013023984A1

    公开(公告)日：2013-02-21

    申请号：PCT/EP2012/065579

    申请日：2012-08-09

    Applicant: CARL ZEISS AG ,  STOPPE, Lars ,  GLASENAPP, Carsten

    Inventor： STOPPE, Lars ,  GLASENAPP, Carsten

    IPC: G01N21/41 ,  G01N21/47

    CPC classification number: G01N21/4133 ,  G01N21/4795 ,  G01N2021/4173

    Abstract: Bei einem Verfahren zum Ermitteln einer Angabe über eine Brechzahl im Inneren mindestens eines Teils einer Probe (3) werden folgendes Schritte ausgeführt: a) unter dem Teil der Probe (3) wird eine Referenzfläche (3.2; 4) mit vorbekannter Oberflächenform vorgesehen, b) mit optischer Mikroskopie wird der Teil der Probe (3) für eine Vielzahl von Fokusebenen abgebildet, wobei die Abbildung von einer Seite der Probe her erfolgt, die der Referenzfläche (3.2; 4) gegenüber liegt, c) aus den Abbildungen wird ein Schnitt-Bild (8) oder ein 3D-Bild der Probe enthaltend ein Bild der Referenzfläche (8.2) erzeugt, d) Abweichungen zwischen dem Bild der Referenzfläche (8.2) und der vorbekannten Oberflächenform werden ermittelt, e) auf Basis der Abweichungen wird die Angabe über die Brechzahl im Inneren des Teils der Probe (3) ermittelt.

    Abstract translation: 在用于确定样品的至少一部分的内部的折射率的指示的方法被执行（3）的以下步骤：a）（样品3），一个参考表面（3.2的部分的下方; 4）被提供有先前已知的表面形状，b）中 所述样品的所述部分的光学显微镜（3）进行成像的多个焦平面，从这里所述样品的一侧上的映射被执行，所述参考表面（3.2; 4）附图的反对c）是横截面图像 生成（8）或包含参考表面（8.2）的图像样品的3D图像，d）是确定的参考面（8.2）和先前已知的表面形状的图像之间的差异，E）的偏差的基础上是折射率的指示 在样品（3）的部分的内部确定的。

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABBILDEN EINES OBJEKTS
    2.
    发明申请
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABBILDEN EINES OBJEKTS 审中-公开
    方法和装置用于对物体成像

    公开(公告)号：WO2016012391A1

    公开(公告)日：2016-01-28

    申请号：PCT/EP2015/066529

    申请日：2015-07-20

    Applicant: CARL ZEISS AG

    Inventor： STOPPE, Lars ,  HUSEMANN, Christoph

    IPC: G02B21/36 ,  G02B27/58 ,  G02B21/06

    CPC classification number: G02B21/367 ,  G02B21/06 ,  G02B27/58

    Abstract: Es werden mindestens zwei Bilder eines Objekts (100) erhalten, denen jeweils ein Beleuchtungsfeld (110-1 – 110-3) zugeordnet ist, das mit vorgegebenen Strahlformeigenschaften (111-1 – 111-3) assoziiert ist. Für jedes der mindestens zwei Bilder wird eine Wirkung der Strahlformeigenschaften (111-1 – 111-3) zu einer vorgegebenen Approximation des Objekts (100) hinzugefügt, die Approximation mittels Techniken der Fourier-Ptychographie im k-Raum basierend auf dem jeweiligen Bild angepasst und anschließend die Wirkung der Strahlformeigenschaften (111-1 – 111-3) aus der angepassten Approximation des Objekts (100) entfernt.

    Abstract translation: 这给出了一个对象（100）的至少两个图像，其中的每一个照明场（110-1 - 110-3） - 相关联与预定的射束形状属性（111-3 111-1）相关联。 射束整形特性的每一个的至少两个图像（111-1 - 111-3）的效果被添加到所述对象（100）的预定的近似，近似装置基于各自的图像上调整在k空间傅立叶ptychography的技术和 然后射束整形属性（111-1 - 111-3）的效果从所述对象（100）的经调整的近似除去。

    PHASENKONTRAST-BILDGEBUNG
    5.
    发明申请
    PHASENKONTRAST-BILDGEBUNG 审中-公开
    相位衬度成像

    公开(公告)号：WO2016030390A3

    公开(公告)日：2016-03-03

    申请号：PCT/EP2015/069469

    申请日：2015-08-25

    Applicant: CARL ZEISS AG

    Inventor： STOPPE, Lars ,  HUSEMANN, Christoph

    IPC: G02B21/06 ,  G02B21/14

    Abstract: Ein Objekt (100) wird aus mindestens einer Beleuchtungsrichtung (110-1, 110-2) beleuchtet. Für jede Beleuchtungsrichtung (110-1, 110-2) wird ein Intensitätsbild des Objekts (100) während des Beleuchtens erfasst. Basierend auf dem mindestens einen Intensitätsbild wird ein Phasenkontrastbild des Objekts (100) erzeugt.

    Abstract translation: 从至少一个照明方向（110-1,110-2）照射物体（100）。 对于每个照明方向（110-1,110-2），在照射期间检测对象（100）的强度图像。 基于至少一个强度图像，生成对象（100）的相位对比图像。

    VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG DER PHASENVERTEILUNG
    7.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG DER PHASENVERTEILUNG 审中-公开
    法确定的相位分布

    公开(公告)号：WO2015091036A1

    公开(公告)日：2015-06-25

    申请号：PCT/EP2014/076793

    申请日：2014-12-05

    Applicant: CARL ZEISS AG

    Inventor： STOPPE, Lars ,  GROSS, Herbert ,  PETSCHULAT, Jörg ,  RAABE, Christian

    IPC: G02B21/36 ,  G01M11/02 ,  G01J9/00 ,  G06T5/50

    CPC classification number: G06T5/003 ,  G02B26/06

    Abstract: Verfahren zur Ermittlung der Phasenverteilung eines Urbildes eines zu untersuchenden Objekts (49), bei welchem ein Bildstapel mit mindestens zwei Abbildern des zu untersuchenden Objekts (49) aufgenommen wird, wobei die Transferfunktion eines optischen Systems (1) zwischen der Aufnahme der einzelnen Abbilder mindestens einmal mit einer bekannten Veränderung verändert wird.

    Abstract translation: 待检查对象（49），其中具有被检查对象的至少两个图像的图像栈用于确定的原始图像的相位分布的方法（49）被接收时，其特征在于，光学系统的传递函数（1）的各个图像的接收之间的至少一次 与已知的改变而改变。

    MATERIALPRÜFUNG MIT WINKELVARIABLER BELEUCHTUNG
    8.
    发明申请
    MATERIALPRÜFUNG MIT WINKELVARIABLER BELEUCHTUNG 审中-公开

    公开(公告)号：WO2018197389A1

    公开(公告)日：2018-11-01

    申请号：PCT/EP2018/060294

    申请日：2018-04-23

    Applicant: CARL ZEISS AG

    Inventor： STOPPE, Lars ,  MILDE, Thomas ,  TOTZECK, Michael

    IPC: G01B11/25 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G06T7/00

    Abstract: Optisches System (100) umfasst ein Beleuchtungsmodul (111), das eingerichtet ist, um ein Probenobjekt (180, 181) mit mindestens einer winkelvariablen Beleuchtungsgeometrie zu beleuchten. Das optische System umfasst auch eine Abbildungsoptik, die eingerichtet ist, um ein Abbild des mit der mindestens einen winkelvariablen Beleuchtungsgeometrie beleuchteten Probenobjekts (180, 181) auf einem Detektor (114) zu erzeugen, sowie den Detektor (114), der eingerichtet ist, um basierend auf dem Abbild mindestens ein Bild des Probenobjekts (180, 181) zu erfassen. Das optische System umfasst ferner eine Steuerung, die eingerichtet ist, um basierend auf einer Übertragungsfunktion und dem mindestens einen Bildein Ergebnisbild zu bestimmen.

    VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINES ERGEBNISBILDS UND OPTISCHE VORRICHTUNG
    9.
    发明申请
    VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINES ERGEBNISBILDS UND OPTISCHE VORRICHTUNG 审中-公开
    方法产生的结果图像和光学器件

    公开(公告)号：WO2016041944A1

    公开(公告)日：2016-03-24

    申请号：PCT/EP2015/071064

    申请日：2015-09-15

    Applicant: CARL ZEISS AG

    Inventor： STOPPE, Lars ,  HUSEMANN, Christoph ,  SINGER, Wolfgang

    IPC: G06T5/00 ,  G06T5/50

    CPC classification number: G06T5/007 ,  G06T3/4076 ,  G06T5/002 ,  G06T5/003 ,  G06T5/006 ,  G06T5/30 ,  G06T5/50 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20221

    Abstract: Ein Objekt (100) wird sequentiell mit mindestens zwei Beleuchtungsgeometrien (110-1, 110-2) beleuchtet. Für jede der mindestens zwei Beleuchtungsgeometrien (110-1, 110-2) wird ein Intensitätsbild des Objekts (100) erfasst. Die Intensitätsbilder werden zum Erzeugen eines Ergebnisbilds kombiniert. Das Kombinieren erfolgt derart, dass das Ergebnisbild ein vorgegebenes Optimierungskriterium erfüllt. Z.B. kann das Optimierungskriterium einen Bildkontrast, eine Kantensteilheit oder eine Bildschärfe betreffen. Das Optimieren kann ortsaufgelöst geschehen.

    Abstract translation: 一个对象（100）是依次照射的至少两个照明几何形状（110-1,110-2）。 对于每一个所述至少两个照明几何形状（110-1,110-2）的检测到物体（100）的强度的图像。 图像的亮度进行组合，以产生结果图像。 组合所形成的图像满足预定优化标准进行这样。 例如， 优化标准可以包括图像对比度，边缘斜率或图像的锐度的关注。 优化可以做到就地解决。

    BILDAUFNAHMEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BILDAUFNAHME
    10.
    发明申请
    BILDAUFNAHMEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BILDAUFNAHME 审中-公开
    记录装置和方法用于记录

    公开(公告)号：WO2016030474A1

    公开(公告)日：2016-03-03

    申请号：PCT/EP2015/069678

    申请日：2015-08-27

    Applicant: CARL ZEISS AG

    Inventor： STOPPE, Lars ,  FUNCK, Max ,  BERNER, Andrea

    IPC: H04N5/225 ,  G02B21/36 ,  G06T5/50

    CPC classification number: G02B21/367 ,  G06T5/50 ,  G06T2207/10016 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20221 ,  H04N1/6027 ,  H04N5/2256 ,  H04N9/07

    Abstract: Zur Bildaufnahme wird ein Objekt unter einer Mehrzahl von Beleuchtungswinkeln beleuchtet. Ein Detektor erfasst eine Mehrzahl von Bildern (41-43) des Objekts für die Mehrzahl von Beleuchtungswinkeln. Eine elektronische Auswerteeinrichtung wendet wenigstens auf einen Teil der Mehrzahl von Bildern (41-43) eine Bildkorrektur an, die eine Verschiebung (Τ 1 , T 2 ) umfasst. wobei die Verschiebung (Τ 1 , T 2 ) von dem bei der Aufnahme des jeweiligen Bildes (41-43) verwendeten Beleuchtungswinkel (4) abhängt. Die korrigierten Bilder (44-46) können kombiniert werden.

    Abstract translation: 用于多个照明角的中对对象成像的被照亮。 检测器检测用于多个照明角的所述对象的多个图像（41-43）。 一种电子评估装置至少使用多个图像（41-43）的图像校正，其中包括一个位移（Τ1，T2）的至少一部分。 其中，在相应的图像记录（41-43）使用的位移（Τ1，T2）的照明角度（4）依赖。 校正后的图像（44-46）可以被组合。

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