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1.发明申请
公开(公告)号：WO2014118122A3
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：PCT/EP2014/051520
申请日：2014-01-27
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventor： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht
Abstract: The invention relates to a method for mass spectrometric examination of a gas mixture (2), comprising the following method steps: parallel or serial ionization of the gas mixture (2) to be examined by activating of at least two ionization devices (9a, 9b, 9c) operating using different ionization procedures, and/or ionizing of the gas mixture (2) in a detector (10), to which the gas mixture (2) and ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30), which are produced by an ionization device (9), are fed, and detecting of the ionized gas mixture (2) in the detector (10) for the mass spectrometric examination thereof. The invention also relates to a mass spectrometer (21 ) for mass spectrometric examination of gas mixtures (2), comprising: an ionization unit (22) for ionizing the gas mixture (2), and a detector (10) for detecting the ionized gas mixture (2). The ionization unit (22) comprises at least two ionization devices (9a, 9b, 9c), arranged in parallel or in series, for ionizing the gas mixture (2) by means of different ionization procedures, wherein the ionization devices (9a, 9b, 9c) alternatively can be activated individually or together, and/or the ionization unit (22) has an ionization device (9) configured to feed ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30) to the detector (10) in order to ionize the gas mixture (2) in the detector (10).
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公开(公告)号：WO2018219575A1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：PCT/EP2018/061159
申请日：2018-05-02
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： ALIMAN, Michel , LAUE, Alexander , SCHUETZ, Andreas , REUTER, Rüdiger
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases, umfassend: Anregen von Ionen des zu untersuchenden Gases in einer FT-Ionenfalle, Aufnehmen eines ersten Frequenz-Spektrums (FS1) in einem ersten Messzeitintervall (FFT1) während oder nach dem Anregen der Ionen, wobei das erste Frequenz-Spektrum (FS1) Ionen-Frequenzen (f i ) der angeregten Ionen und Störfrequenzen (f n ) enthält, sowie Aufnehmen eines zweiten Frequenz-Spektrums (FS2) in einem zweiten Messzeitintervall (FFT2), wobei das zweite Frequenz-Spektrum (FS2) die Störfrequenzen (f n ), aber nicht die Ionen-Frequenzen (fj) des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) enthält, sowie Vergleichen des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) mit dem zweiten Frequenz-Spektrum (FS2) zum Identifizieren der Störfrequenzen (f n ) in dem ersten Frequenz-Spektrum (FS1). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer, welches geeignet ist, das Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gases durchzuführen.
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公开(公告)号：WO2022223232A1
公开(公告)日：2022-10-27
申请号：PCT/EP2022/057761
申请日：2022-03-24
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： ALIMAN, Michel , RANCK, Albrecht
IPC: H01J49/40 , G01N27/623
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur spektrometrischen Untersuchung eines Gases (2), umfassend: eine Extraktionseinrichtung (12) zur Extraktion von Ionen (11) des zu untersuchenden Gases (2) aus einer Ionenkammer (5), einen Ionen-Detektor (13) zur Detektion der Ionen (11), eine Ionen- Transfereinrichtung (14) zum Transfer der Ionen (11) von der Extraktionseinrichtung (12) zu dem Ionen-Detektor (13) entlang einer Ionen- Transferstrecke (Lm), eine Zuführungseinrichtung (16) zur Zuführung eines Bremsgases (17) zu der Ionen-Transferstrecke (Lm), sowie eine Auswerteeinrichtung (21) zur Bestimmung von Transportzeiten (tm) beim Transport der Ionen (11) von der Extraktionseinrichtung (12) zu dem Ionen- Detektor (13) entlang der Ionen-Transferstrecke (Lm). Die Vorrichtung (1) ist ausgebildet, einen Druck (pM) entlang der Ionen-Transferstrecke (Lm) zwischen einem ersten, niedrigeren Druckbereich (Δp1) und einem zweiten, höheren Druckbereich (Δp2) umzuschalten und die Auswerteeinrichtung (21) ist ausgebildet, in einem ersten Betriebszustand (MS) anhand der Transportzeiten (tm) der Ionen (11) bei dem Druck (pM) in dem ersten Druckbereich (Δp1) eine massenspektrometrische Untersuchung des Gases (2) durchzuführen und in einem zweiten Betriebszustand (IMS) anhand der Transportzeiten (tm) der Ionen (11) bei dem Druck (pM) in dem zweiten Druckbereich (Δp2) eine ionenmobilitäts-spektrometrische Untersuchung des Gases (2) durchzuführen. Die Erfindung betrifft auch eine Lithographieanlage, insbesondere eine EUV- Lithographieanlage, die mindestens eine solche Vorrichtung (1) aufweist.
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公开(公告)号：WO2017194333A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/EP2017/060204
申请日：2017-04-28
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： ALIMAN, Michel , BUTZMANN, Stefan , BROCKHAUS, Albrecht , SCHMIDT, Michael , CHUNG, Hin Yiu Anthony , LAUE, Alexander
CPC classification number: H01J49/38 , H01J49/022 , H01J49/424
Abstract: The invention relates to an apparatus (1) for detecting ions (4a, 4b), comprising: an ion trap (2) having a first electrode, preferably a ring electrode (3) and also having at least one second electrode, preferably a cap electrode (7a, 7b), a storage signal generator (5) for generating an RF storage signal (U RF ), which can be coupled into the first electrode (3) in order to generate an electric storage field (E) in the ion trap (2), and also an excitation device (6a, 6b) for generating an excitation signal (U stim1 , U stim2 ) for exciting ions (4a, 4b) stored in the ion trap (2). The storage signal generator (5) is designed to set an amplitude (A RF ) and/or a frequency (f RF ) of the RF storage signal (U RF ). The invention also relates to an associated method for mass-selective detection of ions (4a, 4b). Furthermore, a suitable ionization method with constant or targeted ionization energies is presented.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测离子（4a，4b）的设备（1），其包括：离子阱（2），其具有第一电极，优选为环形电极（3），并且还具有在 至少一个第二电极，优选地为帽电极（7a，7b），用于产生RF存储信号（U RF）的存储信号发生器（5），其可以被耦合到第一电极 ）以在离子阱（2）中产生电存储场（E），并且还包括用于产生激励信号（U stim1，U ex）的激励装置（6a，6b） （2）中存储的激发离子（4a，4b）。 存储信号发生器（5）被设计用于设置RF存储信号（U n）的幅度（A RF）和/或频率（f RF） RF ）。 本发明还涉及用于质量选择性检测离子（4a，4b）的相关方法。 此外，还介绍了一种具有恒定或目标电离能的合适电离方法。
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公开(公告)号：WO2013104583A2
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：PCT/EP2013/050152
申请日：2013-01-07
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventor： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
CPC classification number: H01J37/32009 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/4401 , C23C16/4408 , C23C16/45525 , C23C16/52 , H01J37/32963 , H01J37/32981 , H01J37/3299 , H01J49/027
Abstract: The invention relates to an apparatus (1) for surface processing on a substrate (2), for example for applying a coating (14) to the substrate (2) or for removing a coating (14) from the substrate (2), wherein the apparatus (1) comprises: a chamber (5) enclosing an interior (4) and serving for arranging the substrate (2) for the surface processing, a process gas analyser (13a, 13b) for detecting at least one gaseous constituent of a residual gas atmosphere formed in the interior (4), wherein the process gas analyser (13a, 13b) comprises an ion trap (18) for storing the gaseous constituent to be detected, and an ionization device (17) for ionizing the gaseous constituent. The invention also relates to an associated method for monitoring surface processing on a substrate (2).
Abstract translation: 本发明涉及一种用于在衬底（2）上进行表面处理的设备（1），例如用于将涂层（14）施加到衬底（2）或从衬底（2）去除涂层（14），其中 装置（1）包括：封闭内部（4）并用于布置用于表面处理的基板（2）的室（5），用于检测至少一种气体成分的处理气体分析器（13a，13b） 在内部形成的残留气体气氛（4），其中处理气体分析器（13a，13b）包括用于存储要检测的气态成分的离子阱（18）和用于离子化气态成分的离子化装置（17）。 本发明还涉及用于监测衬底（2）上的表面处理的相关方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2021219500A1
公开(公告)日：2021-11-04
申请号：PCT/EP2021/060624
申请日：2021-04-23
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： ALIMAN, Michel , MANGER, Matthias , BERGER, Lars , AWAD, Mohammad
IPC: H02N2/06 , G02B26/08 , G03F7/00 , G02B26/0833 , G02B5/0891 , G02B5/09 , G03F7/70266 , H02N2/062
Abstract: A drive device (100) for driving a capacitive actuator (200) for actuating an optical element (310) of an optical system (300), comprising a drive unit (110) for applying a drive voltage (UDC) to the actuator (200) for setting a specific position of the driven actuator (200), wherein the drive unit (110) and the actuator (200) are coupled via a first node (K1), a source (120) controlled by an excitation signal (s(t)) and coupled to the first node (K1), for feeding a time-dependent AC current signal (l(t)) into the first node (K1) in such a way that a specific AC voltage arises at the actuator (200) as a result of the superposition of the drive voltage (UDC) and an AC voltage corresponding to a product of the AC current signal (l(t)) and the impedance (Z) of the actuator (200), a filter unit (130) connected to the output of the actuator (200) and serving for filtering an output signal (A) of the actuator (200), and a determining unit (140) coupled to an output of the filter unit (130) and configured to determine an impedance behaviour (IV) of the actuator (200) depending on the filtered output signal (r(t)) and to output at its output the excitation signal (s(t)) for driving the source (120).
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公开(公告)号：WO2020064201A1
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：PCT/EP2019/071577
申请日：2019-08-12
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： CHUNG, Anthony Hin Yiu , BENTER, Thorsten , ALIMAN, Michel , REUTER, Rüdiger , BRACHTHÄUSER, Yessica
IPC: H01J49/04
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Massenspektrometer (1) zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2), umfassend: ein steuerbares Einlasssystem (6) zum gepulsten Zuführen des zu analysierenden Gases (2) aus einem Prozessbereich (4) außerhalb des Massenspektrometers (1) in einen lonisierungsbereich (11), eine lonisierungseinrichtung (14) zur Ionisierung des zu analysierenden Gases (2) in dem lonisierungsbereich (11), eine lonentransfereinrichtung (21) zum Transferieren des ionisierten Gases (2a) von dem lonisierungsbereich (11) über einen lonentransferbereich (20) in einen Analysebereich (25) und einen Analysator (26) zur Detektion des ionisierten Gases (2a) in dem Analysebereich (25). Die Erfindung betrifft auch ein zugehöriges Verfahren zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2).
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8.发明申请
公开(公告)号：WO2016177503A1
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：PCT/EP2016/055842
申请日：2016-03-17
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： ALIMAN, Michel , LAUE, Alexander , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , ANTONI, Martin , GORUS, Andreas , DERPMANN, Valerie
CPC classification number: H01J49/38 , H01J49/0031 , H01J49/027 , H01J49/425 , H01J49/426 , H01J49/427 , H01J49/4295
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases (4), umfassend: Ionisieren des Gases (4) zum Erzeugen von Ionen (4a, 4b), sowie Speichern, Anregen und Detektieren zumindest eines Teils der erzeugten Ionen (4a, 4b) in einer FT-Ionenfalle (2). Bei dem Verfahren umfasst das Erzeugen und Speichern der Ionen (4a, 4b) in der FT-Ionenfalle (2) und/oder das Anregen der Ionen (4a, 4b) vor dem Detektieren der Ionen (4a, 4b) in der FT-Ionenfalle (2) mindestens eine selektive, vom Masse-zu-Ladungsverhältnis (m/z) der Ionen (4a, 4b) abhängige IFT-Anregung, insbesondere eine SWIFT-Anregung (10). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer (1).
Abstract translation: 本发明涉及一种用于气体的质谱分析的方法（4），包括：离子化用于产生离子的气体（4）（4A，4B），并存储，刺激，至少检测产生的离子的一部分（图4a，4b）在 的FT-离子阱（2）。 在该方法中产生和离子存储包括（4A，4B）在FT-离子阱（2）和/或离子的激发（4A，4B）之前检测的离子的至（4A，4B）在FT-离子阱 （2）至少一种选择性的，从离子的质荷比（M / Z）（图4a，4b）依赖IFT激励，特别是SWIFT激励（10）。 本发明还涉及一种质谱仪（1）。
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公开(公告)号：WO2018153430A1
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：PCT/EP2017/053899
申请日：2017-02-21
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： CHUNG, Hin Yiu Anthony , LUNDQUIST, Theodore , ALIMAN, Michel , ANTONI, Martin , FEDOSENKO, Gennady , DERPMANN, Valerie , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , GORKHOVER, Leonid , GORUS, Andreas
Abstract: The invention relates to a method for real-time monitoring of a process, comprising: performing a mass spectrometric real-time measurement of a gas mixture (4) generated in the monitored process to determine real-time mass spectrometric data (25a-c) indicative of the monitored process, evaluating the monitored process by correlating and/or calibrating the real-time mass spectrometric data (25a-c) with metrology data determined by at least one post-process metrology method for evaluating a previous process and/or by comparing the real-time mass spectrometric data (25a-c) with at least one limit value, preferably with a limit value (29) of a process window of the monitored process. The invention also relates to a mass spectrometer for performing the method.
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公开(公告)号：WO2016096457A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/078506
申请日：2015-12-03
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventor： ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , KEUDELL, Achim von , BÖKE, Marc , BENTER, Thorsten , WINTER, Jörg , AWAKOWICZ, Peter , GORKHOVER, Leonid
CPC classification number: H01J49/145 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J49/12
Abstract: The invention relates to an ionization device (1), comprising: a plasma generating device (4) for generating metastable particles (6a) and/or ions (6b) of an ionization gas (6) in a primary plasma region (9), a field generating device (13) for generating a glow discharge (12) in a secondary plasma region (10), an inlet (2) for supplying a gas (3) to be ionized into the secondary plasma region (10), and a further inlet (5) for supplying the metastable particles (6a) and/or the ions (6b) of the ionization gas (6) into the secondary plasma region (10). The invention also relates to a mass spectrometer (20) comprising such an ionization device (1 ) and a detector (17), disposed downstream of the outlet (16) of the ionization device (1), for the mass-spectrometric analysis of the ionized gas (3a, 3a').
Abstract translation: 本发明涉及电离装置（1），其包括：用于在初级等离子体区域（9）中产生电离气体（6）的亚稳颗粒（6a）和/或离子（6b）的等离子体产生装置（4） 用于在次级等离子体区域（10）中产生辉光放电（12）的场产生装置（13），用于供给待离子化到二次等离子体区域（10）中的气体（3）的入口（2） 用于将亚稳颗粒（6a）和/或电离气体（6）的离子（6b）供应到次级等离子体区域（10）中的另外的入口（5）。 本发明还涉及一种质谱仪（20），其包括设置在离子化装置（1）的出口（16）下游的这种离子化装置（1）和检测器（17），用于质谱分析 电离气体（3a，3a'）。
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