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    ZUSAMMENSETZUNG FÜR DAS CHEMISCH-MECHANISCHE POLIEREN (CMP)
    3.
    发明申请
    ZUSAMMENSETZUNG FÜR DAS CHEMISCH-MECHANISCHE POLIEREN (CMP) 审中-公开
    组合化学机械抛光（CMP）

    公开(公告)号：WO2005104205A1

    公开(公告)日：2005-11-03

    申请号：PCT/EP2005/003851

    申请日：2005-04-12

    Applicant: KERR-MCGEE PIGMENTS GMBH ,  AUER, Gerhard ,  HIPLER, Frank ,  ZWICKER, Gerfried

    Inventor： AUER, Gerhard ,  HIPLER, Frank ,  ZWICKER, Gerfried

    IPC: H01L21/3105

    CPC classification number: C09G1/02 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/3212

    Abstract: Bei einer Zusammensetzung in Form einer Dispersion oder einer Slurry für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) bei der Herstellung von elektronischen oder mikroelektronischen Bauelementen, insbesondere Halbleiterelementen, und/oder eines mechanischen Bauelementes, insbesondere eines mikroelektromechanischen Bau- oder Halbleiterelementes (MEMS), soll eine Lösung geschaffen werden, die es ermöglicht, eine definiert einstellbare Teilchengrößenverteilung mit verbesserter Uniformität hinsichtlich Größe und Morphologie der Partikel zu erzielen. Dies wird dadurch erreicht, dass die Zusammensetzung reine Titandioxidpartikel oder titandioxidhaltige Partikel enthält, welche vor, insbesondere unmittelbar vor, oder bei Zubereitung der Dispersion oder der Slurry einem Nassmahlungsschritt bzw. einer Nassmahlung ausgesetzt sind.

    Abstract translation: 在以分散体或用于化学机械抛光以电子或微电子元件，特别是半导体元件的制造中的淤浆（CMP），和/或机械部件的形式的组合物，特别是微机电结构或半导体元件（MEMS），以 提供了一种解决方案，它使得能够实现具有改善的均匀性的定义可调节的粒度分布的大小和颗粒的形态而言。 这得以实现，所述组合物含有纯二氧化钛颗粒或含二氧化钛的颗粒，这之前，尤其是之前立即，或制备分散体或淤浆的过程中暴露于Nassmahlungsschritt或湿式粉碎。

    ZUSAMMENSETZUNG FÜR DAS CHEMISCH-MECHANISCHE POLIEREN (CMP)
    4.
    发明申请
    ZUSAMMENSETZUNG FÜR DAS CHEMISCH-MECHANISCHE POLIEREN (CMP) 审中-公开
    组合化学机械抛光（CMP）

    公开(公告)号：WO2005102932A1

    公开(公告)日：2005-11-03

    申请号：PCT/EP2005/003850

    申请日：2005-04-12

    Applicant: KERR-MCGEE PIGMENTS GMBH ,  AUER, Gerhard ,  HIPLER, Frank ,  ZWICKER, Gerfried

    Inventor： AUER, Gerhard ,  HIPLER, Frank ,  ZWICKER, Gerfried

    IPC: C01G23/053

    CPC classification number: H01L21/31053 ,  C09C1/3607 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  C23F3/00 ,  C23F3/03 ,  C23F3/06 ,  H01L21/3212

    Abstract: Bei einer Zusammensetzung in Form einer Dispersion oder einer Slurry für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) bei der Herstellung von elektronischen oder mikroelektronischen Bauelementen, insbesondere Halbleiterelementen, und/oder eines mechanischen Bauelementes, insbesondere eines mikroelektromechanischen Bau- oder Halbleiterelementes (MEMS), soll ein Material bereitgestellt werden, welches eine hohe Abtragsrate bei einem gleichzeitig schonenden Polierverhalten aufweist. Dies wird dadurch erreicht, dass die Zusammensetzung Titanoxidhydratpartikel mit der Näherungsformel Ti0 2 * xH 2 O * yH 2 SO 4 enthält, wobei der H 2 O-Gehalt der Titanoxidhydratpartikel 4 - 25 Gew.-%, bevorzugt 2 - 10 Gew.-%, und der H 2 S0 4- Gehalt 0 - 15 Gew.-%, bevorzugt 0,1 - 10 Gew.-%, beträgt.

    Abstract translation: 在以分散体或用于化学机械抛光以电子或微电子元件，特别是半导体元件的制造中的淤浆（CMP），和/或机械部件的形式的组合物，特别是微机电结构或半导体元件（MEMS），以 提供了一种材料，其具有在同一时间平缓的抛光特性的高移除速率。 这得以实现，所述组合物* yH2SO4包含二氧化钛水合物与该近似式的TiO 2 * xH2O的，其中所述钛氧化物水合物4的H 2 O含量 - 25重量％，优选2 - 10重量％，和H 2 SO 4含量0 - 15重量％，优选0.1〜10重量％，是。

    ROHSTOFFE FÜR VANADIUMFREIE ODER VANADIUMREDUZIERTE DENOX-KATALYSATOREN UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
    5.
    发明申请
    ROHSTOFFE FÜR VANADIUMFREIE ODER VANADIUMREDUZIERTE DENOX-KATALYSATOREN UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG 审中-公开
    钒免费的原材料或还原钒氮氧化物催化剂及其制备方法

    公开(公告)号：WO2012152506A1

    公开(公告)日：2012-11-15

    申请号：PCT/EP2012/055810

    申请日：2012-03-30

    Applicant: SACHTLEBEN PIGMENT GMBH ,  BECKER, Ralf ,  AUER, Gerhard ,  HIPLER, Frank ,  CHOROSIEWICZ, Nicole ,  LANGE, Kai-Sven ,  GÜNNEL, Horst ,  DÖRSCHUG, Uwe

    Inventor： BECKER, Ralf ,  AUER, Gerhard ,  HIPLER, Frank ,  CHOROSIEWICZ, Nicole ,  LANGE, Kai-Sven ,  GÜNNEL, Horst ,  DÖRSCHUG, Uwe

    IPC: B01D53/86 ,  B01D53/94 ,  B01J23/888

    CPC classification number: B01J23/888 ,  B01D53/9418 ,  B01D2251/2062 ,  B01D2251/2067 ,  B01D2255/2065 ,  B01D2255/20707 ,  B01D2255/20738 ,  B01D2255/20776 ,  B01D2255/9207 ,  B01D2258/01 ,  B01D2258/0291 ,  B01J21/063 ,  B01J21/16 ,  B01J23/002 ,  B01J35/0013 ,  B01J35/04 ,  B01J35/1019 ,  B01J37/0009 ,  B01J37/0045 ,  B01J37/0201 ,  B01J37/033 ,  B01J2523/00 ,  B01J2523/47 ,  B01J2523/69 ,  B01J2523/842 ,  B01J2523/3712 ,  B01J2523/48 ,  B01J2523/41

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Zusammensetzung, umfassend eine Titanverbindung, eine Eisen Verbindung und eine Wolframverbindung, dadurch gekennzeichnet, dass die Titan Verbindung in der TiO 2 -Herstellung nach dem Sulfat verfahren bei der Hydrolyse einer titanylsulfathaltigen Lösung erhalten wird und/oder eine mikrokristalline Anatasstruktur aufweist und die Zusammensetzung einen Vanadiumgehalt, gerechnet als V, von weniger als 0.15 Gew.-%, bevorzugt weniger als 0,05 Gew.-%, noch bevorzugter weniger als 0,03 Gew.-%, besonders bevorzugt weniger als 0,01 Gew,-%, bezogen auf den Feststoffgehalt der Zusammensetzung, aufweist. Ferner betrifft die Erfindung auch einen Katalysator oder Katalysatorrohstoff enthaltend die erfindungsgemäße Zusammensetzung sowie einen formstabilen katalytisch aktiven Festkörpers, der erhältlich ist durch Mischen der oben definierten Zusammensetzung mit Bindemitteln, Plastifizierern und ggf, weiteren Additiven, Formgebung der so erhaltenen Zusammensetzung, bevorzugt durch Extrudieren, und anschließender Kalzinierung, oder durch Bereitstellung eines formstabilen katalytisch aktiven Festkörpers, der erhältlich ist durch Aufbringen der oben definierten Zusammensetzung, ggf. zusammen mit Bindemitteln, Plastifizierern und weiteren Additiven, auf einen Träger und anschließender Kalzinierung. Die Erfindung betrifft auch die Verwendung der erfindungsgemäßen Zusammensetzung wie auch des erfindungsgemäßen formstabilen Festkörpers als Katalysator oder zur Herstellung eines Katalysators und ein Verfahren zur Herstellung der Zusammensetzung durch Mischen der Titanverbindung, die Titanverbindung in der TiO 2 -Herstellung nach dem Sulfatverfahren bei der Hydrolyse einer titanylsulfathaltigen Lösung erhalten wird und/oder eine mikrokristalline Anatasstruktur aufweist, eine Eisenverbindung und eine Wolframverbindung.

    Abstract translation: 本发明涉及一种包含钛化合物，铁化合物和钨化合物的组合物，其特征在于，在TiO 2的生产通过硫酸钛程序化合物在titanylsulfathaltigen溶液和/或微晶的锐钛矿的水解获得，并且 组合物具有钒含量，为V计算，小于0.15重量％，优选小于0.05重量％，更优选小于0.03重量％，特别优选小于0.01， - 基于所述组合物的固体含量包括％。 此外，本发明涉及含有本发明组合物，以及一个尺寸稳定的催化活性的固体体是通过上述定义的组合物与粘合剂，增塑剂混合，如有必要，另外的添加剂，成形由此获得的，优选通过挤出的组合物得到的催化剂或催化剂的原料，并 随后煅烧，或通过提供一种尺寸稳定的催化活性的固体体是通过将与粘合剂，增塑剂和其它添加剂，以支撑和随后的煅烧上述所定义，任选地所述组合物而获得。 本发明还涉及使用本发明的组合物以及该尺寸稳定的固体根据本发明的作为催化剂或用于催化剂的制备和用于通过硫酸盐法一titanylsulfathaltigen溶液的水解混合的钛化合物，以TiO 2生产的钛化合物制备的组合物的方法 是获得的，和/或微晶锐钛矿结构，铁化合物和钨化合物。

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