公开(公告)号：WO2017101895A3

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/DE2016/000423

申请日：2016-11-29

申请人： PRIMES GMBH

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/04

摘要： Die Erfindung betrifft eine Mess-Sonde zur Abtastung von Lichtstrahlen (10) oder Laserstrahlen. Die Mess-Sonde ist geeignet zur Abtastung von Laserstrahlen mit sehr hoher Leistung und zur Bestimmung von geometrischen Parametern eines Lichtstrahls (10) mit hoher Ortsauflösung. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Körper (20), einen Sonden-Bereich (30) und einen Detektor (40) umfasst. Der Körper (20) besteht aus einem optisch transparenten Material und hat eine Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22), eine Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) und eine Detektionslicht-Austrittsfläche (25). Die Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22) und die Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) sind im Wesentlichen glatt und poliert. Der Körper (20) beinhaltet den Sonden-Bereich (30), der eine lichtablenkende Strukturierung aufweist. Der Detektor (40) ist ausgebildet, wenigstens einen Teil des vom Sonden-Bereich (30) aus dem Lichtstrahl (10) abgelenkten Strahl-Anteils (15) zu erfassen. Der Körper (20) und der Lichtstrahl (10) sind in zwei verschiedenen Bewegungsrichtungen (51, 52) senkrecht zur Richtung der Achse (11) des Lichtstrahls (10) relativ zueinander bewegbar. Der Sonden-Bereich (30) hat eine Form, deren zweidimensionale Projektion auf eine Fläche senkrecht zur Achse (11) des Lichtstrahls (10) annähernd gleiche Abmessungen in den zwei verschiedenen Bewegungsrichtungen (51, 52) senkrecht zur Achse (11) des Lichtstrahls (10) hat.

摘要翻译： 本发明涉及用于扫描光束（10）或激光束的测量探针。 该测量探头适用于以高功率扫描激光束并用于确定具有高空间分辨率的光束（10）的几何参数。 为此目的，提出了一种装置，其包括主体（20），探测区域（30）和检测器（40）。 主体（20）由光学透明材料制成，并具有光束入射面（22），光束出射面（23）和检测光出射面（25）。 光束入射面（22）和光束射出面（23）基本平滑并抛光。 主体（20）包括具有光偏转图案的探测区域（30）。 探测器（40）被设计为探测由探测区域（30）从光束（10）偏转的光束部分（15）的至少一部分。 本体（20）和光束（10）可以在垂直于光束（10）的轴线（11）的方向的两个不同的移动方向（51,52）上相对于彼此移动。 探测区域（30）具有这样的形状，其垂直于光束（10）的轴线（11）的表面上的二维投影在垂直于轴线（11）的两个不同的运动方向（51,52）上具有大致相同的尺寸 ）的光束（10）。

公开(公告)号：WO2022128995A1

公开(公告)日：2022-06-23

申请号：PCT/EP2021/085615

申请日：2021-12-14

申请人： PRIMES GMBH MESSTECHNIK FÜR DIE PRODUKTION MIT LASERSTRAHLUNG

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  ROSSNAGEL, Johannes ,  HÄNSEL, Marc ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： B23K26/035 ,  B23K26/04 ,  B23K26/064 ,  B23K26/066 ,  B23K26/70 ,  G01J1/42

摘要： Die Erfindung betrifft eine Strahlanalysevorrichtung (10) zur Bestimmung einer axialen Position eines Strahlfokus (71) eines Energiestrahls oder eines aus einem Energiestrahl ausgekoppelten Probenstrahls (70), die eine Strahlformungseinrichtung (12), einen Detektor (40), und eine Auswertungseinrichtung (45) umfasst. Die Strahlformungseinrichtung (12) ist eingerichtet, aus dem Probenstrahl (70) in einer Ebene der Teilstrahlherauslösung (19) zwei Teilstrahlen (72, 73) herauszulösen, wobei die Querschnitte der zwei Teilstrahlen (72, 73) durch voneinander abgegrenzte Teilaperturen (32, 33) definiert sind, die in einer ersten lateralen Richtung (31) einen Abstand k zueinander aufweisen. Die Strahlformungseinrichtung (12) ist eingerichtet, die zwei Teilstrahlen (72, 73) abzubilden zur Formung von zwei Strahlflecken (92, 93) auf dem Detektor und mindestens einen der zwei Teilstrahlen (72, 73) in einer zweiten lateralen Richtung (37) abzulenken, die quer zur ersten lateralen Richtung (31) ausgerichtet ist, zur Ausbildung eines Abstandes w in der zweiten lateralen Richtung (37) zwischen den zwei Strahlflecken (92, 93). Die Auswertungseinrichtung (45) ist eingerichtet zur Bestimmung eines Abstandes a entlang der ersten lateralen Richtung (31) zwischen Positionen der zwei Strahlflecke (92, 93) auf dem Detektor (40) und zur Bestimmung einer axialen Position des Strahlfokus (71) basierend auf dem Abstand a und/oder zur Bestimmung einer Änderung der axialen Position des Strahlfokus (71) basierend auf einer Änderung des Abstandes a. Die Erfindung betrifft auch ein entsprechendes Verfahren zur Bestimmung einer axialen Position eines Strahlfokus (71).

公开(公告)号：WO2020253898A8

公开(公告)日：2020-12-24

申请号：PCT/DE2020/000134

申请日：2020-06-16

申请人： PRIMES GMBH MEßTECHNIK FÜR DIE PRODUKTION MIT LASERSTRAHLUNG

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  ROßNAGEL, Johannes ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： B23K26/044 ,  B23K26/046 ,  G02B7/00 ,  G02B7/28 ,  G01J1/42 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0437 ,  G01J1/4228 ,  G01J1/4257 ,  G02B7/34

摘要： Die Erfindung betrifft eine Strahlanalysevorrichtung zur Bestimmung eines Lichtstrahl-Zustandes, insbesondere zur Bestimmung der Fokuslage eines Lichtstrahls. Die Strahlanalysevorrichtung umfasst eine Teilstrahl-Abbildungsvorrichtung (10) mit wenigstens einer ersten Selektionsvorrichtung (11) zur Bildung eines ersten Teilstrahls (41) aus einem ersten Teil-Aperturbereich des ersten Messstrahls (40), und eine Abbildungseinrichtung (16) zur Abbildung des ersten Teilstrahls (41) zur Erzeugung eines ersten Strahlflecks (45) auf eine Detektoreinheit (20) mit einem ortsauflösenden Detektor (21). Ferner umfasst die Strahlanalysevorrichtung eine Auswertungseinheit (25) zur Verarbeitung der Signale der Detektoreinheit (20), zur Bestimmung einer lateralen Position (a1) des ersten Strahlflecks (45), und zur Bestimmung von zeitlichen Änderungen der lateralen Position (a1, a1') des ersten Strahlflecks (45, 45'). Die Erfindung betrifft auch ein Optisches System zur Fokuslagen-Kontrolle mit einer Laseroptik (60) und mit einer Strahlanalysevorrichtung. Die Erfindung betrifft auch ein entsprechendes Strahlanalyseverfahren sowie Verfahren zur Fokuslagen-Kontrolle einer Laseroptik und zur Fokuslagen-Nachführung einer Laseroptik.

公开(公告)号：WO2018224068A1

公开(公告)日：2018-12-13

申请号：PCT/DE2018/000175

申请日：2018-06-08

申请人： PRIMES GMBH MEßTECHNIK FÜR DIE PRODUKTION MIT LASERSTRAHLUNG

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  KOGLBAUER, Andreas ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/04 ,  F21V8/00

摘要： Die Erfindung betrifft eine Mess-Sonde zur Abtastung von Lichtstrahlen (10) oder Laserstrahlen. Die Mess-Sonde ist geeignet zur direkten Abtastung von Laserstrahlen mit sehr hoher Leistung und zur Bestimmung von geometrischen Parametern eines Lichtstrahls (10) mit hoher Ortsauflösung und mit hohem Signal-Stör-Abstand, da die Mess-Sonde unempfindlich ist gegenüber Mehrfachreflexionen innerhalb der Mess-Sonde. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Abtastkörper (20) mit einer Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22), mit einer Lichtstrahl-Austrittsfläche (23), mit einer Probenlicht-Austrittsfläche (25), und mit einem Sonden-Bereich (30) enthält. Die Vorrichtung beinhaltet weiterhin einen Detektor (40) und eine Einrichtung zur Bereitstellung von Relativbewegungen zwischen dem Abtastkörper (20) und dem Lichtstrahl (10). Der Abtastkörper (20) ist stabförmig und besteht aus einem lichtleitenden, transparenten Material. Der Abtastkörper weist eine Aussparung (21) zur Ausbildung eines Flächenabschnitts (27) am Abtastkörper (20) auf, der die Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22) oder die Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) beinhaltet. Eine Normalen-Richtung (28) der Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22) ist in einem Winkel a im Bereich von 5° bis 20° zu einer Normalen-Richtung (29) der Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) geneigt. Der Sonden-Bereich (30) ist in einer Querschnittsebene (26') des Abtastkörpers (20) angeordnet, die sich im Bereich der Aussparung (21) befindet. Eine Querschnittsabmessung (D') des Abtastkörpers (20) in der Querschnittsebene (26') beträgt mindestens 50% einer Querschnittsabmessung (D) des Abtastkörpers (20) in einer Querschnittsebene (26) außerhalb der Aussparung (21). Der Sonden-Bereich (30) weist eine lichtablenkende Strukturierung auf. Der Detektor (40) ist angeordnet zur Erfassung von wenigstens einem Teil eines vom Sonden-Bereich (30) aus dem Lichtstrahl (10) abgelenkten Strahl-Anteils (15).

公开(公告)号：WO2022128998A1

公开(公告)日：2022-06-23

申请号：PCT/EP2021/085618

申请日：2021-12-14

申请人： PRIMES GMBH MESSTECHNIK FÜR DIE PRODUKTION MIT LASERSTRAHLUNG

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  ROSSNAGEL, Johannes ,  HÄNSEL, Marc ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： B23K26/035 ,  B23K26/04 ,  B23K26/064 ,  B23K26/066 ,  B23K26/70 ,  G01J1/42

摘要： Die Erfindung betrifft eine Strahlanalysevorrichtung (10) zur Bestimmung einer axialen Position eines Strahlfokus (71) eines Energiestrahls oder eines aus einem Energiestrahl ausgekoppelten Probenstrahls (70), die eine Strahlformungseinrichtung (12), einen Detektor (40), und eine Auswertungseinrichtung (45) umfasst. Die Strahlformungseinrichtung (12) ist eingerichtet, eine Intensitätsverteilung (81) des Energiestrahls (77) oder des ausgekoppelten Probenstrahls (70) in einer Modulations-Ebene (19) mit einer zwei-dimensionalen Übertragungsfunktion zu modulieren zur Bildung eines modulierten Probenstrahls (79). Die Übertragungsfunktion weist entlang einer ersten lateralen Richtung (31) wenigstens zwei Kontraststufen (32, 33) mit einem Abstand a zueinander in Form von Übergängen zwischen wenigstens einem Sperrbereich (25) und wenigstens einem Durchlassbereich (21) auf. Die Strahlformungseinrichtung (12) ist eingerichtet, zur Formung einer Intensitätsverteilung (83) auf dem Detektor (40) mit mindestens zwei Kontrastmerkmalen (92, 93) entlang der ersten lateralen Richtung (31), den modulierten Probenstrahl (79) entlang einer Propagationsstrecke auf den Detektor (40) zu führen. Die Auswertungseinrichtung (45) ist eingerichtet zur Bestimmung eines Abstandes a entlang der ersten lateralen Richtung (31) zwischen Positionen der Kontrastmerkmale (92, 93) auf dem Detektor (40) und zur Bestimmung einer axialen Position des Strahlfokus (71) basierend auf dem Abstand a und/oder zur Bestimmung einer Änderung der axialen Position des Strahlfokus (71) basierend auf einer Änderung des Abstandes a. Die Erfindung betrifft auch ein entsprechendes Verfahren zur Bestimmung einer axialen Position eines Strahlfokus (71).

公开(公告)号：WO2020253898A1

公开(公告)日：2020-12-24

申请号：PCT/DE2020/000134

申请日：2020-06-16

申请人： PRIMES GMBH

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  ROßNAGEL, Johannes ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： B23K26/044 ,  B23K26/046 ,  G02B7/00 ,  G02B7/28 ,  G01J1/42

摘要： Die Erfindung betrifft eine Strahlanalysevorrichtung zur Bestimmung eines Lichtstrahl-Zustandes, insbesondere zur Bestimmung der Fokuslage eines Lichtstrahls. Die Strahlanalysevorrichtung umfasst eine Teilstrahl-Abbildungsvorrichtung (10) mit wenigstens einer ersten Selektionsvorrichtung (11) zur Bildung eines ersten Teilstrahls (41) aus einem ersten Teil-Aperturbereich des ersten Messstrahls (40), und eine Abbildungseinrichtung (16) zur Abbildung des ersten Teilstrahls (41) zur Erzeugung eines ersten Strahlflecks (45) auf eine Detektoreinheit (20) mit einem ortsauflösenden Detektor (21). Ferner umfasst die Strahlanalysevorrichtung eine Auswertungseinheit (25) zur Verarbeitung der Signale der Detektoreinheit (20), zur Bestimmung einer lateralen Position (a 1 ) des ersten Strahlflecks (45), und zur Bestimmung von zeitlichen Änderungen der lateralen Position (a 1 , a 1 ') des ersten Strahlflecks (45, 45'). Die Erfindung betrifft auch ein Optisches System zur Fokuslagen-Kontrolle mit einer Laseroptik (60) und mit einer Strahlanalysevorrichtung. Die Erfindung betrifft auch ein entsprechendes Strahlanalyseverfahren sowie Verfahren zur Fokuslagen-Kontrolle einer Laseroptik und zur Fokuslagen-Nachführung einer Laseroptik.

公开(公告)号：WO2018024268A1

公开(公告)日：2018-02-08

申请号：PCT/DE2017/000205

申请日：2017-07-11

申请人： PRIMES GMBH

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/04

摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur direkten und präzisen Messung der Leistung und/oder der Energie eines Laserstrahls, welche eine Messung auch in Bereichen nahe des Fokus eines Laserstrahls ermöglichen. Es wird dazu eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Strahlungssensor, eine Aufweitungseinrichtung, und eine Halterung beinhaltet. Der Strahlungssensor hat eine Empfängerfläche und ist zur Erzeugung eines elektrischen Signals ausgebildet, welches von der Leistung des Laserstrahls oder von der Energie des Laserstrahls abhängig ist. Die Aufweitungseinrichtung und der Strahlungssensor sind mit einem Abstand zueinander an der Halterung angeordnet. Die Aufweitungseinrichtung ist dazu ausgebildet, das Winkelspektrum des Laserstrahls zu erhöhen. Der Laserstrahl propagiert mit erhöhtem Winkelspektrum zum Strahlungssensor. Ein Durchmesser des propagierten Laserstrahls auf der Empfängerfläche ist größer als ein Durchmesser des Laserstrahls im Bereich der Aufweitungseinrichtung. Die Empfängerfläche des Strahlungssensors umschließt wenigstens 90% der Querschnittsfläche des propagierten Laserstrahls.

摘要翻译： 本发明涉及用于直接和精确测量激光束的功率和/或能量的方法和设备，其甚至在接近激光束焦点的区域中也能够进行测量。 为此目的，提出了一种装置，其包括辐射传感器，加宽装置和保持器。 辐射传感器具有接收器表面，并被设计为产生取决于激光束的功率或取决于激光束的能量的电信号。 膨胀装置和辐射传感器在支架上彼此间隔一定距离布置。 扩展设备旨在增加激光束的角谱。 激光束以增加的角度光谱传播到辐射传感器。 接收器表面上传播的激光束的直径大于扩展器区域中的激光束的直径。 辐射传感器的接收表面包围传播的激光束的横截面面积的至少90％

公开(公告)号：WO2017137022A1

公开(公告)日：2017-08-17

申请号：PCT/DE2017/000011

申请日：2017-01-25

申请人： PRIMES GMBH

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： G01J1/42 ,  B23K26/082 ,  B23K26/70

CPC分类号： B23K26/082 ,  B22F3/1055 ,  B22F2003/1056 ,  B22F2003/1057 ,  B22F2999/00 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/342 ,  B23K26/705 ,  B29C64/153 ,  B29C64/268 ,  B29C67/00 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  G01J1/0266 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0414 ,  G01J1/4228 ,  G01J1/4257 ,  G01J2001/4261 ,  G02B26/101 ,  G05B19/4015 ,  G05B19/4099 ,  B22F2203/00 ,  B22F2202/11

摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Analyse von Energiestrahlen in Anlagen zur generativen Fertigung von Bauteilen (70) mittels schichtweiser Verfestigung eines Aufbaumaterials (55) durch einen Energiestrahl (30). Die Erfindung ermöglicht eine Bestimmung von Positions-bezogenen Strahldaten direkt bezüglich der Bearbeitungsstelle während des Bearbeitungsprozesses. Eine Anlage zur generativen Fertigung weist eine Strahl-Ablenk-Einrichtung (40), eine Bearbeitungs-Ebene (45) und eine Schicht- Auftragsvorrichtung (60) auf. Die erfindungsgemäße Vorrichtung beinhaltet eine verschiebbar angeordnete Strahlsperre (17), ein verschiebbar angeordnetes Strahl-Probenentnahme-Modul (20) und eine Mess-Einrichtung (10) mit einem Strahlungs-Detektor (12). Das Verfahren beinhaltet die folgenden Verfahrensschritte. Die Strahlsperre (17) und das Strahl-Probenentnahme-Modul (20) werden im Strahlweg zwischen der Strahl-Ablenk-Einrichtung (40) und mindestens einer ausgewählten Bearbeitungs-Koordinate (44) in der Bearbeitungs-Ebene (45) positioniert. Die Strahl-Ablenk-Einrichtung (40) wird auf die ausgewählte Bearbeitungskoordinate (44) ausgerichtet und der Energiestrahl (30) wird für einen begrenzten Zeitraum eingeschaltet. Mindestens ein Anteil des von der Strahl-Ablenk-Einrichtung (40) in Richtung zur ausgewählten Bearbeitungs-Koordinate (44) ausgerichteten Strahls (32) wird zur Mess-Einrichtung (10) mit dem Strahlungs-Detektor (12) geleitet. Mindestens ein Strahldatum wird mittels der Mess-Einrichtung (10) bestimmt. Die Verfahrensschritte werden während eines Produktions-Prozesses des Bauteils (70) in einem Zeitraum vor oder nach der Verfestigung einer einzelnen Schicht des Bauteils (70) durchgeführt.

摘要翻译：

本发明涉及一种由建筑材料（55）的分层固化的装置通过能量束（30）的方法，以及用于能量束的系统中的分析组分的生成制造（70）的装置。 本发明能够在加工过程中直接相对于加工部位确定与位置有关的束数据。 用于增材制造的设备具有射束偏转装置（40），处理平面（45）和层施加装置（60）。 本发明BEAR ROAD装置包括可移动地设置波束停止（17），一个可滑动地布置光束采样模块（20）和具有一个辐射检测器（12）的测量装置（10）。 该方法包括以下方法步骤。 波束停止（17）和在所述光束偏转装置（40）和至少一个选定BEAR之间的光路光束采样模块（20），其定位hlten处理坐标（44）在所述工作平面（45）。 光束偏转器（40）与所选择的加工坐标（44）对准，并且能量束（30）被打开一段有限的时间段。 至少在选定的＆AUML的方向上的光束偏转装置（40）的一部分; hlten处理坐标（44）准直光束（32）被传导到测量装置（10）到所述辐射检测器（12）。 借助于测量装置（10）确定至少一个爆破日期。 在组件（70）的单层固化之前或之后的一段时间内在组件（70）的生产过程中执行处理步骤，

公开(公告)号：WO2017101895A2

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/DE2016/000423

申请日：2016-11-29

申请人： PRIMES GMBH

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/04

CPC分类号： G01J1/4257 ,  G01J1/0411 ,  G01J2001/4261

摘要： Die Erfindung betrifft eine Mess-Sonde zur Abtastung von Lichtstrahlen (10) oder Laserstrahlen. Die Mess-Sonde ist geeignet zur Abtastung von Laserstrahlen mit sehr hoher Leistung und zur Bestimmung von geometrischen Parametern eines Lichtstrahls (10) mit hoher Ortsauflösung. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Körper (20), einen Sonden-Bereich (30) und einen Detektor (40) umfasst. Der Körper (20) besteht aus einem optisch transparenten Material und hat eine Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22), eine Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) und eine Detektionslicht-Austrittsfläche (25). Die Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22) und die Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) sind im Wesentlichen glatt und poliert. Der Körper (20) beinhaltet den Sonden-Bereich (30), der eine lichtablenkende Strukturierung aufweist. Der Detektor (40) ist ausgebildet, wenigstens einen Teil des vom Sonden-Bereich (30) aus dem Lichtstrahl (10) abgelenkten Strahl-Anteils (15) zu erfassen. Der Körper (20) und der Lichtstrahl (10) sind in zwei verschiedenen Bewegungsrichtungen (51, 52) senkrecht zur Richtung der Achse (11) des Lichtstrahls (10) relativ zueinander bewegbar. Der Sonden-Bereich (30) hat eine Form, deren zweidimensionale Projektion auf eine Fläche senkrecht zur Achse (11) des Lichtstrahls (10) annähernd gleiche Abmessungen in den zwei verschiedenen Bewegungsrichtungen (51, 52) senkrecht zur Achse (11) des Lichtstrahls (10) hat.

公开(公告)号：WO2017080540A1

公开(公告)日：2017-05-18

申请号：PCT/DE2016/000384

申请日：2016-10-31

申请人： PRIMES GMBH

发明人： KRAMER, Reinhard ,  MÄRTEN, Otto ,  WOLF, Stefan ,  NIEDRIG, Roman

IPC分类号： G01J1/42

CPC分类号： G01J1/4257 ,  G01J2001/4261

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Strahlanalyse von Lichtstrahlen, die eine schnelle und genaue Bestimmung von geometrischen Parametern eines Lichtstrahls ermöglicht. Beispielsweise kann das Strahlparameter-Produkt oder der Strahlpropagationsfaktor eines Laserstrahls bestimmt werden. Die Vorrichtung umfasst ein variables optisches Element, ein Objektiv, und einen ortsauflösenden Detektor. Dabei hat das variable optische Element eine einstellbare Brennweite und eine bildseitige Hauptfläche, und das Objektiv hat eine konstante Brennweite und eine objektseitige Hauptfläche. Der Abstand zwischen der bildseitigen Hauptfläche des variablen optischen Elements und der objektseitigen Hauptfläche des Objektivs ist gleich der konstanten Brennweite des Objektivs bei einer Abweichung von höchstens +/- 5%. Das Objektiv ist dem variablen optischen Element in Strahlrichtung nachgeschaltet. Der ortsauflösende Detektor ist dem Objektiv in Strahlrichtung nachgeschaltet. Durch Änderung der einstellbaren Brennweite des variablen optischen Elements und durch nachfolgende Fokussierung des Lichtstrahls durch das Objektiv ist eine Fokuslage des fokussierten Lichtstrahls gegenüber dem ortsauflösenden Detektor in axialer Richtung variabel einstellbar. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur schnellen und genauen Bestimmung von geometrischen Parametern eines Lichtstrahls.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于光线的光束分析的装置，其能够快速且准确地确定光束的几何参数。 例如，可以确定激光束的光束参数乘积或光束传播因子。 该装置包括可变光学元件，透镜和空间分辨检测器。 这里，可变光学元件具有可调焦距和像侧主表面，并且物镜具有恒定的焦距和物侧的主表面。 可变光学元件的像侧主表面与物镜的物侧主表面之间的距离等于具有至多+/- 5％的偏差的物镜的恒定焦距。 物镜在光束方向上连接在可变光学元件的下游。 空间分辨检测器在光束方向上连接在物镜的下游。 通过改变可变光学元件的可调节焦距并随后通过物镜聚焦光束，聚焦光束对空间分辨检测器的聚焦位置在轴向上可变地调节。 本发明还涉及一种用于快速且准确地确定光束的几何参数的方法