公开(公告)号：WO2016130202A1

公开(公告)日：2016-08-18

申请号：PCT/US2015/064256

申请日：2015-12-07

Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： PAN, Yaoling ,  PUSHPARAJ, Victor Louis Arockiaraj ,  HONG, John Hyunchul ,  CHAN, Edward Keat Leem

IPC: G02B5/08 ,  G02B26/00

CPC classification number: G09G3/3466 ,  B81B3/00 ,  C23C14/0042 ,  G02B5/0875 ,  G02B26/001 ,  G02B26/02

Abstract: This disclosure provides devices, systems, and methods for improving creep resistance and mechanical strength of a MEMS display device. The MEMS display device can include a movable reflective structure connected and supported by a support structure. The movable reflective structure can include at least a transition metal layer sandwiched between two aluminum or aluminum alloy layers. The aluminum or aluminum alloy layers can be doped with the transition metal upon annealing. The transition metal layer between the aluminum or aluminum alloy layers can control the mechanical, optical, and electrical properties of the MEMS display device.

Abstract translation: 本公开提供了用于改善MEMS显示装置的抗蠕变性和机械强度的装置，系统和方法。 MEMS显示装置可以包括由支撑结构连接和支撑的可移动反射结构。 可移动反射结构可以包括夹在两个铝或铝合金层之间的至少一个过渡金属层。 铝或铝合金层可以在退火时掺杂过渡金属。 铝或铝合金层之间的过渡金属层可以控制MEMS显示装置的机械，光学和电学性质。

公开(公告)号：WO2014085310A1

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：PCT/US2013/071639

申请日：2013-11-25

Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： PUSHPARAJ, Victor Louis Arockiaraj ,  SHENOY, Ravindra V. ,  LASITER, Jon Bradley ,  LAI, Kwan-Yu ,  KIDWELL, Donald William ,  LONDERGAN, Ana Rangelova

IPC: C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  H01L28/75 ,  H01L28/91

CPC classification number: H05K1/162 ,  B32B3/266 ,  B32B3/30 ,  B32B7/12 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3649 ,  C03C17/3655 ,  C03C17/3671 ,  C03C17/3697 ,  C23C16/045 ,  C23C16/34 ,  C23C16/45525 ,  C23C28/322 ,  C23C28/34 ,  H01L23/15 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/49894 ,  H01L28/75 ,  H01L28/91 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T428/24322 ,  Y10T428/24545 ,  H01L2924/00

Abstract: This disclosure provides systems, methods and apparatus for an adhesive metal nitride layer on glass. In one aspect, a glass substrate having a surface is provided. A via with a depth to width aspect ratio of 5 to 1 or greater extends at least partially through the glass substrate. An adhesive metal nitride layer is disposed on the surface of the glass substrate and on one or more interior surfaces of the via. The adhesive metal nitride layer includes at least one of titanium nitride and tantalum nitride.

Abstract translation: 本公开提供了用于玻璃上的粘合性金属氮化物层的系统，方法和装置。 一方面，提供具有表面的玻璃基板。 深度与宽度纵横比为5比1或更大的通孔至少部分延伸穿过玻璃基底。 粘合金属氮化物层设置在玻璃基板的表面上和通孔的一个或多个内表面上。 粘合性金属氮化物层包括氮化钛和氮化钽中的至少一种。