公开(公告)号：WO2016184578A1

公开(公告)日：2016-11-24

申请号：PCT/EP2016/000847

申请日：2016-05-20

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： OSTEN, Wolfgang ,  PEDRINI, Giancarlo ,  GADOW, Rainer ,  KÖRNER, Klaus

IPC: G01L5/00

CPC classification number: G01L1/06 ,  B05C11/00 ,  B05D1/00 ,  G01B11/16 ,  G01B11/24 ,  G01L5/0047

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ermitteln von Eigenspannungen in Objekten, insbesondere in beschichteten Objekten, sowie ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Beschichten von Objekten. Das Verfahren umfasst: Beaufschlagen einer Oberfläche (8) des Objekts (5) mit Laserlicht und Erzeugen eines Lochs oder eines Musters von Löchern und/oder lokal erwärmten Stellen im Objekt (5); Ermitteln der Oberflächenverformungen nach dem Beaufschlagen des Objekts (5) mit dem Laserlicht mittels eines optischen Verformungs-Messverfahrens; Ermitteln der im Objekt (5) vorliegenden Eigenspannungen aus den gemessenen Oberflächenverformungen, wobei das Erzeugen des Lochs Musters mittels einer optischen Abtastvorrichtung erfolgt, welche eine optische Ablenk- und/oder Modulationsanordnung zur steuerbaren Ablenkung und/oder Modulation des Laserlichts; und/oder eine Fokussieranordnung zur steuerbaren Fokussierung des Laserlichts umfasst.

Abstract translation: 本发明涉及用于确定内应力在对象，尤其是在涂覆的物体的方法和装置，以及用于涂覆的物体的方法和装置。 该方法包括：所述对象（5）用激光和使一个或多个孔和/或局部地加热点的对象（5）的图案施加表面（8）; 检测物体（5）的激光的通过光学应变测量方法的应用之后的表面变形; 确定对象的存在（5）从所测量的表面变形，其中，通过包括用于可控偏转和/或所述激光的调制的光学偏转和/或调制装置的光学扫描装置的装置执行的孔图案的生成的残余应力; 和/或包括用于可控制地将激光聚焦光的聚焦组件。

公开(公告)号：WO2006082067A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：PCT/EP2006/000948

申请日：2006-02-03

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

IPC: G11B7/00 ,  G11B7/24 ,  G11B7/125 ,  G11B7/13 ,  G11B7/135 ,  G11B7/14 ,  G01B9/02 ,  G02B21/00

CPC classification number: G11B7/1384 ,  G01B9/02036 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02091 ,  G01B2210/50 ,  G01B2290/15 ,  G02B3/0087 ,  G02B27/0025 ,  G11B7/1275 ,  G11B7/13 ,  G11B7/1381 ,  G11B7/14 ,  G11B7/24038 ,  G11B2007/0013

Abstract: Bei einem interferometrischen, konfokalen Verfahren und einer interferometrischen, konfokalen Anordnung für optische Datenspeicher, insbesondere Terabyte-Volumenspeicher, erfolgt eine Kopplung der spektralen Zweistrahl-Merferometrie mit breitbandiger Quelle elektromagnetischer Strahlung mit der chromatisch-konfokalen Technik, die eine Längsaufspaltung von Foki im Speichervolumen ermöglicht, die beugungsbegrenzt sind. Dieses neue Verfahren wird hier als chromatisch-konfokale Spektral-Interferometrie (CC-SI) bezeichnet. Dem Interferometer mit konfokaler Diskriminierung im Strahlengang ist hierbei ein Spektrometer nachgeordnet. Zur chromatischen Längsaufspaltung ist im interferometrischen Strahlengang eine diffraktiv-optische Zonenlinse (DOZE) mit Nutzung der ersten Beugungsordnung eingesetzt. Das Interferometer kann als fasergekoppeltes Interferometer mit Retroreflektor im fasergekoppelten Referenzarm und mit wellenlängenabhängiger Gangunterschiedsänderung mittels Dispersion oder Diffraktion ausgebildet sein. Der Gangunterschied im Interferometer ist so eingestellt, dass aus detektierten Interferogrammen mittels Spektralanalyse gut detektierbare Wavelets gebildet werden können. Dabei gibt es im optischen-transparenten Speichervolumen eine räumliche Anordnung von örtlich wechselnden Bereichen erhöhter und verringerter Reflexion im mikroskopischen Maßstab. Mittels numerischer Auswertung werden digitale Daten aus den Wavelets bestimmt, im einfachsten Fall ein Bit pro Wavelet. So werden Daten aus unterschiedlichen Tiefen des Speichermediums simultan gelesen. Dies ermöglicht eine sehr hohe Datentransferrate wie sie z. B. für Datenbanken oder bei der Datensicherung benötigt wird.

Abstract translation: 在干涉，共聚焦方法和干涉，共聚焦组件，用于光学数据存储，尤其是TB的体积内存，则谱双光束Merferometrie的与彩色共技术，其能够病灶的纵向劈裂在该储存容积的电磁辐射的宽带光源的耦合， 是衍射极限。 这种新方法（CC-SI）这里所说的彩色共光谱干涉。 在光路中谱仪共聚焦歧视的干涉是这里下属。 对于色纵向劈裂的衍射光学透镜区（打盹）被插入在所述干涉光路中使用第一衍射级的。 该干涉仪可以被形成为在参考臂光纤耦合，并与通过分散或衍射的手段依赖于波长的相位差变化与后向反射器的光纤耦合干涉仪。 在干涉仪中的路径差被设置为使得从检测到的干涉容易检测的小波可以通过光谱分析来形成。 有在光学透明存储容积的增加局部改变区域的空间排列，和在微观尺度上减小反射。 通过从子波的数字数据的数值计算被确定，在最简单的情况下，每小波一个比特。 这允许从所述存储介质的不同深度的数据被同时读出。 这允许非常高的数据传输率等。 当需要对数据库或数据保护。

公开(公告)号：WO2019120472A1

公开(公告)日：2019-06-27

申请号：PCT/EP2017/083275

申请日：2017-12-18

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  CLAUS, Daniel ,  HERKOMMER, Alois ,  KRAUTER, Johann

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02091 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02049 ,  G01B11/2441

Abstract: The invention relates to an interferometer with a Schwarzschild objective, in particular for spectral interferometry for detecting distance, depth, profile, microprofile, shape, ripple and/or roughness of the optical path length in or on technical or biological objects, also in layer form, or an interferometer with a Schwarzschild objective for optical coherence tomography (OCT) and for the inspection of masks of semiconductor lithography in the EUV range by means of the phase shifting method. The interferometer comprises a source of electromagnetic radiation for illumination of the object, an object optical path and a reference optical path, and at least one measurement point in the object optical path, in which a surface or volume element of the object to be measured is at least approximately located. The interferometer comprises further a Schwarzschild objective with a convex primary mirror and a concave secondary mirror for illuminating and imaging at least one single object point of the object, and a detector for interferograms. A mirror surface, which is preferably a plane or concave surface, and assigned to a reference end reflector arranged in the reference optical path. The mirror surface is formed in the center region of the concave primary mirror of the Schwarzschild objective. Alternatively, a through-opening, to which a mirror below the primary mirror is assigned, is provided in the center region of the primary mirror and optionally reference end reflector is arranged downstream of said mirror. In a third configuration, in particular in case of Fizeau interferometer, the curvature of the at least one partially reflective splitter surface is such as to at least approximately correspond to the curvature of the wavefront impinging on the at least one partially reflective surface and forming a focus in the object space.

公开(公告)号：WO2017157514A1

公开(公告)日：2017-09-21

申请号：PCT/EP2017/000328

申请日：2017-03-13

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  THIELE, Simon ,  HERKOMMER, Alois M.

IPC: G01J3/44 ,  G01J3/02

Abstract: Es handelt sich um ein Verfahren und eine Anordnung zur Raman-Spektroskopie mit einem Anregungs-Lichtquellen-System, welches Raman-Anregungslicht gleichzeitig oder seriell mit unterschiedlichen diskreten Wellenlängen einschaltet oder in der Wellenlänge durchgestimmt. Somit kommt Licht mit verschiedenen Wellenlängen bei der Raman-Anregung zur Anwendung. Die Fokussier-Optik der Anordnung ist für diese Anregungswellenlängen mit chromatischen Mitteln ausgebildet oder diese sind derselben zugeordnet, so dass sich einerseits ein Anregungsfokus beim Wellenlängen-Durchstimmen vorbestimmt in der Tiefe des Objektraums verschiebt. Andererseits entstehen beim gleichzeitigen oder seriellen Einschalten von Raman-Anregungslicht verschiedener Wellenlängen mehrere separierte Anregungs-Foki in der Tiefe des Objektraums. Beim Objektraum kann es sich zum Beispiel um das Innere einer Aorta oder einer Schlagader handeln. Das im Objektraum in unterschiedlichen Tiefen Ramangestreute Licht wird im Rücklauf separiert und der spektroskopischen Detektion zugeführt.

Abstract translation:

有一种方法和拉曼光谱与激发光源系统，其同时或在不同的离散的波长BEAR系列拉曼激发光变成NTS或在调谐到的波长BEAR长度的系统 ， 因此，在拉曼激发中使用具有不同波长的光。 R此Anregungswellenl BEAR;该装置的聚焦光学器件是与色剂F形成导航用途NTS或这些被分配相同的，以使得，一方面在波长＆AUML激发焦点;在所述对象空间的变化的深度预定NTS-调谐。 在另一方面，由不同的波长＆AUML的拉曼激发光的同时或串行交换; NTS在对象空间的深度几个分开的激励灶。 物体空间可以是例如主动脉或动脉的内部。 在物体空间不同深度处的光拉曼散射在环路中分离并馈送到光谱检测。

公开(公告)号：WO2007131602A1

公开(公告)日：2007-11-22

申请号：PCT/EP2007/003644

申请日：2007-04-25

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  KÖRNER, Klaus ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  OSTEN, Wolfgang

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0032 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/0068

Abstract: Verfahren und Anordnung zur konfokalen Durchlicht-Mikroskopie mit einer polychromatischen Lichtquelle und Spektrometer oder mit einer Wellenlängen-durchstimmbaren Lichtquelle sowie einer Kamera, insbesondere auch für die phasenauswertende Interferenz-Mikroskopie, insbesondere auch zur dreidimensionalen Vermessung oder Lokalisierung von einem oder mehreren Phasenobjekten in der mikroskopischen Skala wie bewegte, ungefärbte, lebende Zellen oder auch zur Auslesung von optischen Durchlicht-Datenspeichern. Im Detektionsstrahlengang erfolgt erfÊndungsgemäß eine chromatische Tiefenaufspaltung durch eine chromatische Brechkraft. Durchlicht-Mikroskope können auf dem Zemike-Interferenz-Phasenkontrast-, dem Nomarski-DIC-, dem Hoffman-HMC- oder auch auf dem Mach-Zehnder-Interferometer-Prinzip basieren. Der optische Gangunterschied in einem Phasen-Durchlicht-Mikroskop ist hierbei so eingestellt, dass Interferenzstreifen, auch insbesondere in Form eines Wavelets, auswertbar sind, wobei sich dünne Phasenobjekte durch lokale Phasenänderungen im Wavelet in Abhängigkeit von der Tiefenposition markieren. Im Beleuchtungsstrahlengang besteht eine zweite chromatische, entgegen gesetzt wirkende Brechkraft, so dass für dünne Phasenobjekte im Objektraum des Durchlicht-Mikroskops Konfokalität (A'λi-B'λi) besteht.

Abstract translation: 对于共焦的方法和装置的透射光显微术用多色光源和分光计，或一个波长可调谐光源和照相机，特别是用于phasenauswertende干涉显微镜，特别是用于三维测量或一个或多个相的对象定位在微观尺度 如移动，未染色的活细胞或用于光学透射光数据存储的读取。 探测光路色深度分裂erfÊndungsgemäß由色功率完成。 通过光学显微镜可根据泽尼克相衬干扰，诺马尔斯基DIC，霍夫曼-HMC或在Mach-Zehnder干涉原理。 在相透射光显微镜的光程差在此设置，使得干涉条纹，并且特别是在子波的形式，进行评估，所述薄相位物体标记由在小波作为深度位置的函数局部相位变化。 在照明光路中，第二色，相反作用的折射光焦度，从而使在透射光显微镜共焦的对象空间薄相位对象（A“？I-B”？I）组成。

公开(公告)号：WO2018206233A1

公开(公告)日：2018-11-15

申请号：PCT/EP2018/059647

申请日：2018-04-16

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus

IPC: G01B11/25

Abstract: Vorgeschlagen werden eine Anordnung und ein Verfahren zur tiefenscannenden Streifen-Triangulation mit internem oder externem Tiefen-Scan, insbesondere auch für die 3D-Gestaltmessung in Mikroskopie und Mesoskopie. Es soll die Robustheit der Messung mit Wavelet-Signal-Erzcugung aus einem Bilderstapel vergrößert werden. Das Auftreten der bekannten und sehr unerwünschten 2Pi-Phasensprünge in der Phasenkarte soll weitestgehend vermieden werden. Dazu werden bei einer Messung anstelle eines Wavelets mindestens zwei Wavelets mit Kontrasteinhüllender erzeugt. Dies erfolgt durch eine zeitgleiche - dann vorzugsweise mit spektraler Trennung - oder durch eine sequenzielle Projektion von zwei Streifenbildern mit unterschiedlicher Triangulationswellenlänge auf das Messobjekt.

公开(公告)号：WO2015124288A2

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：PCT/EP2015/000344

申请日：2015-02-17

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  OSTEN, Wolfgang ,  BOETTCHER, Tobias ,  LYDA, Wolfram ,  GRONLE, Marc

IPC: G01J3/10

CPC classification number: G01J3/2823 ,  G01B11/14 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/2509 ,  G01B11/2536 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/10 ,  G01J3/26 ,  G01J3/4338 ,  G01J2003/2826

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zum Erzeugen von multispektralem Beleuchtungslicht mit adressierbarem Spektrum, zur adaptiven multispektralen Bildgebung sowie zur Erfassung von strukturellen und/oder topographischen Informationen eines Objekts oder der Distanz zu einem Objekt. Die Beleuchtungsvorrichtung umfasst eine multispektrale Lichtquelle und eine Modulationseinrichtung zur zeitlichen Modulation der einzelnen Spektralkomponenten der multispektralen Lichtquelle mit jeweils voneinander unterschiedlichen Modulationsfrequenzen, Modulationsfrequenzbereichen und/oder Modulationssequenzen. Die multispektrale Lichtquelle umfasst (i) zumindest eine Lichtquelle (10) mit einem kontinuierlichen, quasi-kontinuierlichen oder Frequenzkamm-Spektrum und wellenlängendispersiven Mitteln (12) oder (ii) ein Ensemble oder Array von monochromatischen oder quasi- monochromatischen Lichtquellen mit voneinander jeweils verschiedenen Emissions-Wellenlängen oder Emissions-Wellenlängenbändern. Die Modulationseinrichtung umfasst (i) mindestens einen elektrisch steuerbaren, räumlichen Lichtmodulator (14) oder (ii) mehrere, der einzelnen monochromatischen oder quasi- monochromatischen Lichtquellen zugeordnete elektronische Ansteuermodule. Die Beleuchtungsvorrichtung umfasst ferner optische Mittel (18) zum Zusammensetzen der einzelnen modulierten Spektralkomponenten, um das multispektrale Beleuchtungslicht (24) mit adressierbarem Spektrum zu bilden.

Abstract translation: 本发明涉及的方法和用于产生多光谱照明光寻址光谱用于自适应多光谱成像以及用于检测的对象的结构和/或地形信息或到对象的距离装置。 所述照明设备包括一个多光谱光源和调制装置，用于具有相互不同的各自的调制频率，调制频率范围和/或调制序列的多光谱光源的各个频谱分量的时间调制。 包含所述多光谱光源（i）至少一个光源（10）以连续的，半连续或频率梳光谱和波长色散装置（12）或（ii）的集合或具有彼此不同的各自的发光的单色或准单色光源阵列 波长或发射波长带。 调制装置包括：（i）至少一个电可控空间光调制器（14）或（ii）多个单独的单色或准单色光源相关联的电子控制模块。 所述照明装置还包括用于组装的各个调制的频谱分量，以形成所述多光谱照明光（24）寻址的光谱的光学装置（18）。

公开(公告)号：WO2014067651A1

公开(公告)日：2014-05-08

申请号：PCT/EP2013/003253

申请日：2013-10-29

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  HERKOMMER, Alois ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G01J3/453 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/0237 ,  G01B9/02061 ,  G01B2290/15 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/4535

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Fourier- Transformations-Spektroskopie, insbesondere auch zur bildgebenden Strahlungsquellen- und Stoff-Analyse aller Aggregatzustände sowie zur bildgebenden In-vivo-Gewebe-Diagnostik, einschließlich von Tumorgewebe. Die Anordnung ist insbesondere auch als mobiler Scout-Sensor oder als eine hochparallelisierte fest installierte Analyse-Station im jeweils dafür geeigneten Spektralbereich ausgebildet. Erfindungsgemäß wird mittels einer spektral breitbandigen Quelle elektromagnetischer Strahlung eine Bestrahlung mindestens eines länglichen Bereiches in den beiden Aperturflächen (A1, A2) des genutzten Zweistrahl-Interferometers mit Längsrichtung des bestrahlten länglichen Bereiches senkrecht zur Schnittebene V-M durchgeführt. Dabei sind die Endreflektoren in Hybrid-Form mit partiellen Retro-Reflexionseigenschaften ausgebildet. Es ergibt sich ein Vorteil für die Robusfheit des Zweistrahl-Interferometers auch unter widrigen Bedingungen, da unerwünschter Tilt und unerwünschte Shear von Wellenfronten eingeschränkt und/oder auch zur numerischen Kompensation erfasst werden. Somit können zuverlässige Interferogramm-Daten zur Spektrenberechnung bereitgestellt werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法和用于傅立叶排列变换光谱，特别是用于体内组织诊断成像Strahlungsquellen-和聚集的所有状态的质量分析以及用于成像，包括肿瘤组织。 所述布置被设计尤其是作为移动侦察传感器或作为每个光谱范围内的高度并行固定分析站适合于该目的。 根据本发明，在与照射的细长区域的纵向方向中使用的双光束干涉仪的两个开口面积（A1，A2）的至少一个细长的区域的照射垂直于切割平面V-M通过电磁辐射的光谱宽带光源来进行。 以混合形式的端部反射器与部分后向反射特性形成的。 这导致用于双光束干涉仪的Robusfheit如下优点：即使在不利条件下，不受欢迎的和不期望的倾斜剪切的波阵面的限制和/或也被识别到数值的补偿。 因此，可以提供用于计算光谱可靠干涉数据。

公开(公告)号：WO2006042696A1

公开(公告)日：2006-04-27

申请号：PCT/EP2005/011042

申请日：2005-10-13

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KERWIEN, Norbert ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KERWIEN, Norbert ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

IPC: G01B9/02 ,  G01N21/47 ,  A61B3/12 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01N21/4795 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0068 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/0084 ,  A61B5/4547 ,  A61B5/7257 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02036 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/0064

Abstract: Die Erfindung betrifft die konfokale Spektral-Interometrie zur Erfassung des Abstandes und der Form, sowie zur Optischen Kohärenz-Tomografie (OCT) und/oder Kohärenz-Mikroskopie (OCM) mit einer Multiwellenlängen-Quelle oder einer durchstimmbaren Quelle und mit Abbildung mittels Fokussier-Systems auf einen Empfänger, wobei chromatische Tiefenaufspaltung z.B. durch eine diffraktiv-optische Zonenlinse im Fokussier-System erfolgt und eine Spektralanalyse mittels dispersivem Spektrometer durchgeführt wird oder die interferierende elektromagnetische Strahlung bei der Wellenlängendurchstimmung detektiert wird und aus dem Spektrum (z.B. mit FFT) über die Kenntnis der Tiefenaufspaltung im chromatisch-konfokalen System und des Brechungsindexes diez-Position der Objektdetails bestimmt wird.

Abstract translation: 本发明涉及一种共焦光谱Interometrie以检测由聚焦系统的装置的距离和形状，以及用于光学相干断层扫描（OCT）和/或相干性显微镜（OCM）与多波长源或可调谐源和成像 在接收机上，所述的彩色深度分裂如 由衍射光学区中的透镜聚焦系统进行的，并且通过谱仪来进行频谱分析或波长调谐过程中检测所述干扰的电磁辐射，并从彩色共焦系统上的深度分割的知识的频谱（例如，FFT）和 的对象的详细信息折射率迭位置被确定。

公开(公告)号：WO2019120470A1

公开(公告)日：2019-06-27

申请号：PCT/EP2017/083255

申请日：2017-12-18

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  CLAUS, Daniel ,  HERKOMMER, Alois ,  PRUSS, Christof

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02042

Abstract: The present invention relates to a method and an assembly for chromatic confocal spectral interferometry, in particular also for spectral domain OCT (SD-OCT) using multi-spectral light. A multiple (e.g. two, three, four, etc.) axial splitting of foci in the interferometric object arm is performed using a multifocal (e.g. bifocal, trifocal, quattro-focal, etc.) optical component, forming thereby at least two, three or even several groups of chromatically split foci in the depth direction. The multifocal optical component is made of a diffractive optical element (712) and a Schwarzschild objective (5). At least two, three, four or even more differently colored foci of different groups of foci coincide in at least one confocal point in the object space of the setup. Thus, at least two, three or even more spectral wavelets are formed in the case of optical scanning of an object measurement point and spectral detection in the wavenumber domain, which wavelets are at least slightly spectrally separated from each other. This results in a significant increase in the optical primary data in the wavenumber domain and reduces the trade-off of the chromatic confocal spectral interferometry between axial measurement range and depth resolution. From the detected data, it is possible to calculate tan (alpha) as the quotient of the absolute phase shift delta_phi and the associated wavenumber difference delta_k, the Fourier transform over the spectral data, in order to respectively determine the optical path difference.