公开(公告)号：WO2004068186A3

公开(公告)日：2005-02-17

申请号：PCT/US2004002165

申请日：2004-01-27

Applicant: ZETETIC INST ,  HILL HENRY ALLEN

Inventor： HILL HENRY ALLEN

IPC: A45D8/00 ,  G01B9/02 ,  G01B9/04 ,  G02B17/08 ,  G02B21/00 ,  G02B21/14 ,  G02B27/01 ,  G02B27/10

CPC classification number: G01B9/02007 ,  A45D2008/006 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/04 ,  G01B2290/70 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/14 ,  G02B27/017 ,  G02B27/108 ,  G02B27/126 ,  G02B27/143 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145

Abstract: A confocal interferometry system (110) for making measurements of an object (60), the system including an array of pinholes (12) to receive a source beam (24) and act as an array of beamsplitters to separate the source beam into a reference beam and measurement beam.

Abstract translation: 一种用于对物体（60）进行测量的共焦干涉测量系统（110），所述系统包括针孔阵列（12）以接收源光束（24），并且用作分束器阵列以将源光束分离成参考 光束和测量光束。

公开(公告)号：WO2004090466A3

公开(公告)日：2004-12-29

申请号：PCT/US2004009984

申请日：2004-04-01

Applicant: ZETETIC INST ,  HILL HENRY ALLEN

Inventor： HILL HENRY ALLEN

IPC: G01B9/02 ,  G01J1/58 ,  G01N21/21 ,  G02B17/08 ,  G02B21/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G02B21/0056 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02029 ,  G01B9/0203 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02069 ,  G01B9/02079 ,  G01J1/58 ,  G01N21/211 ,  G02B17/0808 ,  G03F7/70625

Abstract: An interferometry system for making interferometric measurements of an object (60) , the system including a source assembly (18) that generates an input beam; a detector assembly (70) that includes a detector element; and an interferometer that includes a source imaging system (10) that images the input beam onto a spot on or in the object and an object imaging system (110) that images the spot onto the detector element as an interference beam, the object imaging system combining light coming from the spot (26A, 26B) with a reference beam (32A, 32B) to produce the interference beam (34), wherein the source imaging system is characterized by a first aperture stop (12) that defines a first aperture and includes a first phase shifter that introduces a first phase shift in light passing through a first region of the first aperture relative to light passing through a second region of the first aperture, and wherein the object imaging system is characterized by a second aperture stop (12) that defines a second aperture and includes a second phase shifter that introduces a second phase shift in light passing through a first region of the second aperture relative to light passing through a second region of the second aperture.

Abstract translation: 一种用于对物体（60）进行干涉测量的干涉测量系统，所述系统包括产生输入光束的光源组件（18）; 检测器组件（70），其包括检测器元件; 以及干涉仪，其包括将所述输入光束成像到所述物体上或所述物体上的点上的源成像系统（10）和将所述光点作为干涉光束成像到所述检测器元件上的物体成像系统（110），所述物体成像系统 将来自光斑（26A，26B）的光与参考光束（32A，32B）组合以产生干涉光束（34），其中源成像系统的特征在于限定第一孔径的第一孔径光阑（12） 包括第一移相器，其相对于穿过第一孔的第二区域的光，引入通过第一孔的第一区域的光中的第一相移，并且其中物体成像系统的特征在于第二孔径光阑（12 ），其限定第二孔径并且包括第二移相器，其在通过所述第二孔的第一区域的光中引入相对于穿过所述第二孔的第二区域的光的第二相移 第二个光圈。

公开(公告)号：WO2004090465A2

公开(公告)日：2004-10-21

申请号：PCT/US2004/010031

申请日：2004-04-01

Applicant: ZETETIC INSTITUTE ,  HILL, Henry, Allen

Inventor： HILL, Henry, Allen

IPC: G01B

CPC classification number: G01B9/02057 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02081 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G03F7/70625

Abstract: A method of making interferometric measurements of an object, the method including: generating an input beam that includes a plurality of component beams, each of which is at a different frequency and all of which are spatially coextensive with each other, some of the components beams having a first polarization and the rest having a second polarization that is orthogonal to the first polarization; deriving a plurality of measurement beams from the plurality of component beams, each of the plurality of measurement beams being at the frequency of the component beam from which it is derived; focusing the plurality of measurement beams onto a selected spot to produce a plurality of return measurement beams; combining each of the return measurement beams of the plurality of return measurement beams with a different corresponding reference beam of a plurality of reference beams to produce a plurality of interference beams; and acquiring a plurality of electrical interference signal values for the selected spot from the plurality of interference beams.

Abstract translation: 一种对物体进行干涉测量的方法，所述方法包括：产生包括多个分量光束的输入光束，每个分量光束处于不同的频率，并且所有分量光束在空间上相互延伸，部分光束 具有第一极化，其余具有与所述第一极化正交的第二极化; 从所述多个分量光束导出多个测量光束，所述多个测量光束中的每一个处于从其导出的分量光束的频率; 将多个测量光束聚焦到所选择的点上以产生多个返回测量光束; 将多个返回测量光束中的每个返回测量光束与多个参考光束的不同对应参考光束组合以产生多个干涉光束; 以及从所述多个干涉光束获取所选择的光点的多个电干扰信号值。

公开(公告)号：WO2004068187A2

公开(公告)日：2004-08-12

申请号：PCT/US2004/002166

申请日：2004-01-27

Applicant: ZETETIC INSTITUTE ,  HILL, Henry, Allen

Inventor： HILL, Henry, Allen

IPC: G02B

CPC classification number: G01B9/02007 ,  A45D2008/006 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/04 ,  G01B2290/70 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/14 ,  G02B27/017 ,  G02B27/108 ,  G02B27/126 ,  G02B27/143 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145

Abstract: An interferometery system for making interferometric measurements of an object, the system including: a beam generation module which during operation delivers an output beam that includes a first beam at a first frequency and a second beam at a second frequency that is different from the first frequency, the first and second beams within the output beam being coextensive, the beam generation module including a beam conditioner which during operation introduces a sequence of different shifts in a selected parameter of each of the first and second beams, the selected parameter selected from a group consisting of phase and frequency; a detector assembly having a detector element; and an interferometer constructed to receive the output beam at least a part of which represents a first measurement beam at the first frequency and a second measurement beam at the second frequency, the interferometer further constructed to image both the first and second measurement beams onto a selected spot on the object to produce therefrom corresponding first and second return measurement beams, and to then simultaneously image the first and second return measurement beams onto said detector element.

Abstract translation: 一种用于对物体进行干涉测量的干涉仪系统，所述系统包括：光束产生模块，其在操作期间传送包括第一频率的第一光束和不同于第一频率的第二频率的第二光束的输出光束 输出光束内的第一和第二光束共同延伸，光束产生模块包括光束调节器，其在操作期间引入第一和第二光束中的每一个的选定参数中的不同偏移序列，所选参数选自组 由相位和频率组成; 具有检测器元件的检测器组件; 以及干涉仪，其被构造为接收输出光束，所述输出光束的至少一部分表示第一频率处的第一测量光束和在第二频率处的第二测量光束，所述干涉仪还被构造成将所述第一和第二测量光束成像到所选择的 对象上产生相应的第一和第二返回测量光束，然后同时将第一和第二返回测量光束成像到所述检测器元件上。

公开(公告)号：WO00000783A1

公开(公告)日：2000-01-06

申请号：PCT/US1999/014844

申请日：1999-06-30

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/16

CPC classification number: G01B11/161 ,  G01B9/02042 ,  G01B2290/25 ,  G01B2290/70

Abstract: The present invention for detecting ultrasonic displacements includes a detection laser (320) to generate a first pulsed laser beam to generate the ultrasonic surface displacement on a surface of the target (150). A second pulsed laser beam to detect the ultrasonic surface displacement on a surface of the target (150). Collection optics to collect phase modulated light from the first pulsed laser beam either reflected or scattered (131) by the target (150). An interferometer which processes the phase modulated light and generate at least one output signal. A processor that processes the at least one output signal to obtain data representative of the ultrasonic surface displacements at the target (150).

Abstract translation: 用于检测超声波位移的本发明包括检测激光器（320），以产生第一脉冲激光束以在目标（150）的表面上产生超声波表面位移。 第二脉冲激光束，用于检测靶（150）的表面上的超声表面位移。 收集光学器件，用于收集来自第一脉冲激光束的相位调制光，由靶（150）反射或散射（131）。 一种处理相位调制光并产生至少一个输出信号的干涉仪。 处理器，其处理所述至少一个输出信号以获得表示所述目标（150）处的超声波表面位移的数据。

公开(公告)号：WO2019120472A1

公开(公告)日：2019-06-27

申请号：PCT/EP2017/083275

申请日：2017-12-18

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  CLAUS, Daniel ,  HERKOMMER, Alois ,  KRAUTER, Johann

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02091 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02049 ,  G01B11/2441

Abstract: The invention relates to an interferometer with a Schwarzschild objective, in particular for spectral interferometry for detecting distance, depth, profile, microprofile, shape, ripple and/or roughness of the optical path length in or on technical or biological objects, also in layer form, or an interferometer with a Schwarzschild objective for optical coherence tomography (OCT) and for the inspection of masks of semiconductor lithography in the EUV range by means of the phase shifting method. The interferometer comprises a source of electromagnetic radiation for illumination of the object, an object optical path and a reference optical path, and at least one measurement point in the object optical path, in which a surface or volume element of the object to be measured is at least approximately located. The interferometer comprises further a Schwarzschild objective with a convex primary mirror and a concave secondary mirror for illuminating and imaging at least one single object point of the object, and a detector for interferograms. A mirror surface, which is preferably a plane or concave surface, and assigned to a reference end reflector arranged in the reference optical path. The mirror surface is formed in the center region of the concave primary mirror of the Schwarzschild objective. Alternatively, a through-opening, to which a mirror below the primary mirror is assigned, is provided in the center region of the primary mirror and optionally reference end reflector is arranged downstream of said mirror. In a third configuration, in particular in case of Fizeau interferometer, the curvature of the at least one partially reflective splitter surface is such as to at least approximately correspond to the curvature of the wavefront impinging on the at least one partially reflective surface and forming a focus in the object space.

公开(公告)号：WO2016058910A1

公开(公告)日：2016-04-21

申请号：PCT/EP2015/073326

申请日：2015-10-09

Applicant: CARL ZEISS MEDITEC AG

Inventor： BUBLITZ, Daniel ,  NIETEN, Christoph ,  OMLOR, Lars ,  WICKER, Kai

IPC: A61B3/10 ,  G01B9/02

CPC classification number: A61B3/102 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02043 ,  G01B9/02085 ,  G01B9/02091

Abstract: Ein optischer Kohärenztomograph zur Untersuchung eines Auges (3) weist auf eine Beleuchtungseinrichtung (4, 5) zur Bereitstellung von Quellstrahlung, deren Wellenlänge durchstimmbar ist, einen Beleuchtungs- und Messstrahlengang (7), der ein Aufteilungselement (6) zur Aufteilung der Quellstrahlung in Beleuchtungsstrahlung (B) und Referenzstrahlung (R) aufweist, mit der Beleuchtungsstrahlung (B) ein Beleuchtungsfeld im Auge (3) beleuchtet und im Auge (3) rückgestreute Beleuchtungsstrahlung als Messstrahlung (M) aufsammelt, wobei der Beleuchtungs- und Messstrahlengang (7) einen Scanner (13) zur Verstellung der lateralen Lage des Beleuchtungsfelds im Auge (3) und eine Frontoptik (12) zur Verstellung der axialen Lage des Beleuchtungsfelds im Auge (3) aufweist, einen Referenzstrahlengang (8), der die Referenzstrahlung (R) durch eine Verzögerungsstrecke (21 ) leitet, einen Detektionsstrahlengang (14, 15, 17), der die Messstrahlung (M) vom Beleuchtungs- und Messstrahlengang (7) und die Referenzstrahlung (R) vom Referenzstrahlengang (8) empfängt und überlagert auf mindestens einen Flächendetektor (19, 19a, 19b) leitet, einen Strahlteiler (11) zur Abtrennung der vom Auge (3) aufgesammelten Messstrahlung (M) von der zum Auge (3) geführten Beleuchtungsstrahlung (B), wobei der Strahlteiler (11) die abgeteilte Messstrahlung (M) zum Detektionsstrahlengang (14, 15, 17) leitet, und ein nur auf die Beleuchtungsstrahlung (B) wirkendes optisches Element (10), das mit der Frontoptik (12) zusammenwirkt und die Numerische Apertur der Beleuchtung des Beleuchtungsfeldes im Auge (3) einstellt, ein nur auf die Messstrahlung (M) wirkendes optisches Element (14), das mit der Frontoptik (12) zusammenwirkt und die Numerische Apertur, mit der im Auge (3) Messstrahlung (M) aufgesammelt ist, einstellt, und eine Blende (15), die dem mindestens einen Flächendetektor (19, 19a, 19b) vorgeordnet ist, in einer Zwischenbildebene angeordnet ist und die Größe eines Objektfeldes festlegt, aus dem die Messstrahlung (M) zum Flächendetektor (19, 19a, 19b) gelangt, wobei der mindestens eine Flächendetektor (19, 19a, 19b) eine Ortsauflösung mit 4 bis 100 Pixel in einer Richtung hat, bevorzugt als 2D-Flächendetektor mit 5 bis 50 Pixel oder 5 bis 40 Pixel.

Abstract translation: 用于检查的眼睛（3）一种光学相干层析成像具有的照明装置（4，5）提供的源辐射的波长是可调谐的，照明和测量光束路径（7），其是用于将源辐射的照明辐射（6）分割元件 （B）和参考辐射（R），通过照射辐射（B）的装置在眼照射照明场（3）和在眼睛（3）背散射的照射辐射测量辐射（M）拾取，照明和测量光束路径（7）的扫描器 （13），用于调节在眼睛中（3）和前透镜（12）的照明场的横向位置，用于调节在眼睛中的照明场的轴向位置（3），参考光束路径（8）的参考辐射（R）由延迟线的 （21）通过时，从照明和测量光束路径测量辐射（M）的检测光束路径（14，15，17）（7）和所述参考 erenzstrahlung（R）从所述参考光束路径（8）接收并叠加在至少一个表面检测器（19，19A，19B）的推移，对眼睛的分离的光束分离器（11）（3）从眼睛收集到的测量光束（M）（3） 引导照明辐射（B），其中，所述分束器（11），分割测量光束（M），用于检测光束路径（14，15，17）穿过，并仅照明辐射（B）作用的光学元件（10）（与前光学 12）配合，并且（3）成立的照明场的在眼睛中的照明的数值孔径，仅测量光束（M），其作用的光学元件（14），其与所述前透镜（12）和数值孔径配合，用眼 （3）测量辐射被收集（M），被建立，并且隔膜（15）（图19B 19，19A）的上游布置在所述至少一个表面检测器，被布置在中间像平面，并确定对象字段的大小，从D 即测量光束（M）的表面检测器（19，19A，19B）通过，其特征在于，所述至少一个区域检测器（19，19A，19B）具有4至100个像素的方向上的空间分辨率，优选为具有5〜50个像素的2D区域检测器 或5至40个像素。

公开(公告)号：WO2013171309A1

公开(公告)日：2013-11-21

申请号：PCT/EP2013/060160

申请日：2013-05-16

Applicant: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH

Inventor： LIPPERT, Helmut ,  NETZ, Ralf ,  ANHUT, Tiemo ,  LANGHOLZ, Nils ,  LANGHORST, Matthias

IPC: G02B21/00 ,  G01B11/25 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/008 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/04 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0028 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0044 ,  G02B21/006 ,  G02B21/0064 ,  G02B21/0068 ,  G02B21/0092 ,  G02B21/08 ,  G02B21/14 ,  G02B21/18 ,  G02B21/367

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf ein Lichtmikroskop mit einer polychromatischen Lichtquelle zum Aussenden von Beleuchtungslicht in Richtung einer Probe, Fokussiermitteln zum Fokussieren von Beleuchtungslicht auf die Probe, wobei die Fokussiermittel zum Erzeugen einer Tiefenauflösung eine chromatische Längsaberration aufweisen, und einer Detektionseinrichtung, die ein zwei-dimensionales Array von Detektorelementen umfasst, zum Nachweisen von Probenlicht, welches von der Probe kommt. Das Lichtmikroskop ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, dass zum Nachweisen von sowohl konfokalen Anteilen als auch nicht-konfokalen Anteilen des Probenlichts ein Strahlengang von der Probe zur Detektionseinrichtung frei von Elementen zum vollständigen Ausblenden von nicht-konfokalen Anteilen ist. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bildaufnahme mit einem Lichtmikroskop.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有多色光源，用于发射照明光朝向试样，聚焦装置，用于照明光聚焦到样本上，其中，用于生成低分辨率的聚焦装置具有纵向色差的光学显微镜，和一个检测装置，包括以二维 包括检测器元件的阵列，用于检测来自样品的样品的光。 根据本发明的光学显微镜的特征在于，用于检测两个共焦和非共焦的部分作为样品的光的部分，从样品到检测器的光路是免费的，非共焦的比例完全遮盖元件。 此外，本发明涉及一种用于用光学显微镜图像拾取的方法。

公开(公告)号：WO2006103663A1

公开(公告)日：2006-10-05

申请号：PCT/IL2006/000389

申请日：2006-03-29

Applicant: ARIELI, Yoel ,  WEITZMAN, Yosef

Inventor： ARIELI, Yoel ,  WEITZMAN, Yosef

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/31 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01N21/4795 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02091 ,  G01B11/0608 ,  G01B2210/50 ,  G01N21/211 ,  G01N21/31

Abstract: There is provided a method for analyzing optical properties of an object, including utilizing a light illumination having a plurality of amplitudes, phases and polarizations of a plurality of wavelengths impinging from the object, obtaining modified illuminations corresponding to the light illumination, applying a modification to the light illumination thereby obtaining a modified light illumination, analyzing the modified light illumination, obtaining a plurality of amplitudes, phases and polarizations maps of the plurality of wavelengths, and employing the plurality of amplitudes, phases and polarizations maps for obtaining output representing the object's optical properties. An apparatus for analyzing optical properties of an object is also provided.

Abstract translation: 提供了一种用于分析物体的光学性质的方法，包括利用具有从物体入射的多个波长的多个振幅，相位和极化的光照射，获得对应于光照射的修改的照明，对 光照明，从而获得修改的光照明，分析修改的光照明，获得多个波长的多个振幅，相位和极化图，并采用多个幅度，相位和极化映射，以获得表示物体的光学 属性。 还提供了一种用于分析物体的光学特性的装置。

公开(公告)号：WO2005022128A2

公开(公告)日：2005-03-10

申请号：PCT/FR2004/002157

申请日：2004-08-18

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS ,  ECOLE NORMALE SUPERIEURE DE CACHAN ,  TOURY, Timothée, Pol, Jean ,  ZYSS, Joseph

Inventor： TOURY, Timothée, Pol, Jean ,  ZYSS, Joseph

IPC: G01N21/17

CPC classification number: G01N21/45 ,  G01B9/02011 ,  G01B9/02024 ,  G01B9/02042 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/65 ,  G01B2290/70

Abstract: Dispositif (1) de détection non invasive des propriétés d'un milieu par interférométrie. Ce dispositif (1) comprend une source optique (3) pour éclairer au moins une zone à sonder (34) du milieu avec un faisceau lumineux (19), un interféromètre (5) pour diviser le faisceau lumineux (19) en un faisceau de référence (21) et un faisceau sonde (23), cet interféromètre (5) ayant une fréquence de coupure fc de l'asservissement des longueurs respectives du faisceau de référence (21) et du faisceau sonde (23). Ce dispositif (1) comporte en outre des moyens de balayage (33) pour balayer, avec le faisceau sonde (23), la zone à sonder (34), à une fréquence f d'acquisition d'images enregistrées par les moyens de mesure des variations de la phase du faisceau lumineux (7), supérieure à la fréquence de coupure fc.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于通过干涉测量法非侵入性地检测介质性质的装置（1）。 本发明的装置（1）包括：光源（3），其用于用光束（19）照亮待探测的介质（34）的至少一个区域; 以及用于将光束（19）分割为参考光束（21）和探测光束（23）的干涉仪（5），所述干涉仪（5）具有用于自动控制各个长度的截止频率fc 的参考光束（21）和探测光束（23）。 装置（1）还包括扫描装置（33），其与探测光束（23）一起用于以频率f扫描被探测区域（34） 用于测量大于截止频率fc的光束（7）的相位变化。