公开(公告)号：WO2017081328A1

公开(公告)日：2017-05-18

申请号：PCT/EP2016/077610

申请日：2016-11-14

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： BAER, Goran ,  PRUSS, Christof ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02057 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02039 ,  G01B2290/50 ,  G01M11/0207

Abstract: Vorgestellt wird ein Interferometer zur flächenhaften Vermessung einer optisch glatten Oberfläche, mit Mitteln zum Beleuchten eines Oberflächenbereiches mit mehreren diskreten Objektwellen aus verschiedenen Richtungen, und mit Mitteln, die an der Oberfläche reflektierte Objektwellen mit einer zu mehreren Objektwellen kohärenten Referenzwelle auf einem Detektor zu einem Interferogramm überlagern, Das Interferometer zeichnet sich dadurch aus, dass es dazu eingerichtet ist, die Oberfläche gleichzeitig mit mehreren Objektwellen zu beleuchten und die Referenzwelle durch eine Fizeau-Strahlteilerplatte oder ein Fizeau -Objektiv zu erzeugen, und dass das Interferometer eine im Strahlengang vor dem Detektor (14) angeordnete Interferometerblende (12) und eine Abbildungsoptik aufweist, wobei sich die Interferometerblende in der oder etwas außerhalb der Fourierebene der Abbildungsoptik befindet und die von der Oberfläche reflektierten Objektwellen filtert. Ein unabhängiger Anspruch richtet sich auf ein Verfahren zur flächenhaften Vermessung einer optisch glatten Oberfläche.

Abstract translation:

被呈现为一干涉仪FL＆AUML; chenhaften测量光学平滑表面BEAR表面的装置，用于照明的表面BEAR chenbereiches与多个从不同的方向并在所述表面与AUML装置离散物体波;枝 的几个目的波KOH BEAR养老金反射物体波的检测器的干涉导航用途叠加上参考波，干涉仪的特征在于，它适合于在表面＆AUML;枝到由斐索同时照射多个对象波和参考波 以产生-Strahlteilerplatte或斐索透镜，并且所述干涉仪在检测器的前面设置一个在光束路径（14）Interferometerblende（12）和成像光学器件，其中，所述Interferometerblende大街在或稍AU＆;外部成像光学器件的傅立叶平面的位置，和 从表面反射的物体 ektwellen过滤器。 独立权利要求涉及一种用于使视觉上光滑表面的方法

公开(公告)号：WO2007131602A1

公开(公告)日：2007-11-22

申请号：PCT/EP2007/003644

申请日：2007-04-25

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  KÖRNER, Klaus ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  OSTEN, Wolfgang

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0032 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/0068

Abstract: Verfahren und Anordnung zur konfokalen Durchlicht-Mikroskopie mit einer polychromatischen Lichtquelle und Spektrometer oder mit einer Wellenlängen-durchstimmbaren Lichtquelle sowie einer Kamera, insbesondere auch für die phasenauswertende Interferenz-Mikroskopie, insbesondere auch zur dreidimensionalen Vermessung oder Lokalisierung von einem oder mehreren Phasenobjekten in der mikroskopischen Skala wie bewegte, ungefärbte, lebende Zellen oder auch zur Auslesung von optischen Durchlicht-Datenspeichern. Im Detektionsstrahlengang erfolgt erfÊndungsgemäß eine chromatische Tiefenaufspaltung durch eine chromatische Brechkraft. Durchlicht-Mikroskope können auf dem Zemike-Interferenz-Phasenkontrast-, dem Nomarski-DIC-, dem Hoffman-HMC- oder auch auf dem Mach-Zehnder-Interferometer-Prinzip basieren. Der optische Gangunterschied in einem Phasen-Durchlicht-Mikroskop ist hierbei so eingestellt, dass Interferenzstreifen, auch insbesondere in Form eines Wavelets, auswertbar sind, wobei sich dünne Phasenobjekte durch lokale Phasenänderungen im Wavelet in Abhängigkeit von der Tiefenposition markieren. Im Beleuchtungsstrahlengang besteht eine zweite chromatische, entgegen gesetzt wirkende Brechkraft, so dass für dünne Phasenobjekte im Objektraum des Durchlicht-Mikroskops Konfokalität (A'λi-B'λi) besteht.

Abstract translation: 对于共焦的方法和装置的透射光显微术用多色光源和分光计，或一个波长可调谐光源和照相机，特别是用于phasenauswertende干涉显微镜，特别是用于三维测量或一个或多个相的对象定位在微观尺度 如移动，未染色的活细胞或用于光学透射光数据存储的读取。 探测光路色深度分裂erfÊndungsgemäß由色功率完成。 通过光学显微镜可根据泽尼克相衬干扰，诺马尔斯基DIC，霍夫曼-HMC或在Mach-Zehnder干涉原理。 在相透射光显微镜的光程差在此设置，使得干涉条纹，并且特别是在子波的形式，进行评估，所述薄相位物体标记由在小波作为深度位置的函数局部相位变化。 在照明光路中，第二色，相反作用的折射光焦度，从而使在透射光显微镜共焦的对象空间薄相位对象（A“？I-B”？I）组成。

公开(公告)号：WO2016184578A1

公开(公告)日：2016-11-24

申请号：PCT/EP2016/000847

申请日：2016-05-20

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： OSTEN, Wolfgang ,  PEDRINI, Giancarlo ,  GADOW, Rainer ,  KÖRNER, Klaus

IPC: G01L5/00

CPC classification number: G01L1/06 ,  B05C11/00 ,  B05D1/00 ,  G01B11/16 ,  G01B11/24 ,  G01L5/0047

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ermitteln von Eigenspannungen in Objekten, insbesondere in beschichteten Objekten, sowie ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Beschichten von Objekten. Das Verfahren umfasst: Beaufschlagen einer Oberfläche (8) des Objekts (5) mit Laserlicht und Erzeugen eines Lochs oder eines Musters von Löchern und/oder lokal erwärmten Stellen im Objekt (5); Ermitteln der Oberflächenverformungen nach dem Beaufschlagen des Objekts (5) mit dem Laserlicht mittels eines optischen Verformungs-Messverfahrens; Ermitteln der im Objekt (5) vorliegenden Eigenspannungen aus den gemessenen Oberflächenverformungen, wobei das Erzeugen des Lochs Musters mittels einer optischen Abtastvorrichtung erfolgt, welche eine optische Ablenk- und/oder Modulationsanordnung zur steuerbaren Ablenkung und/oder Modulation des Laserlichts; und/oder eine Fokussieranordnung zur steuerbaren Fokussierung des Laserlichts umfasst.

Abstract translation: 本发明涉及用于确定内应力在对象，尤其是在涂覆的物体的方法和装置，以及用于涂覆的物体的方法和装置。 该方法包括：所述对象（5）用激光和使一个或多个孔和/或局部地加热点的对象（5）的图案施加表面（8）; 检测物体（5）的激光的通过光学应变测量方法的应用之后的表面变形; 确定对象的存在（5）从所测量的表面变形，其中，通过包括用于可控偏转和/或所述激光的调制的光学偏转和/或调制装置的光学扫描装置的装置执行的孔图案的生成的残余应力; 和/或包括用于可控制地将激光聚焦光的聚焦组件。

公开(公告)号：WO2006082067A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：PCT/EP2006/000948

申请日：2006-02-03

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

IPC: G11B7/00 ,  G11B7/24 ,  G11B7/125 ,  G11B7/13 ,  G11B7/135 ,  G11B7/14 ,  G01B9/02 ,  G02B21/00

CPC classification number: G11B7/1384 ,  G01B9/02036 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02091 ,  G01B2210/50 ,  G01B2290/15 ,  G02B3/0087 ,  G02B27/0025 ,  G11B7/1275 ,  G11B7/13 ,  G11B7/1381 ,  G11B7/14 ,  G11B7/24038 ,  G11B2007/0013

Abstract: Bei einem interferometrischen, konfokalen Verfahren und einer interferometrischen, konfokalen Anordnung für optische Datenspeicher, insbesondere Terabyte-Volumenspeicher, erfolgt eine Kopplung der spektralen Zweistrahl-Merferometrie mit breitbandiger Quelle elektromagnetischer Strahlung mit der chromatisch-konfokalen Technik, die eine Längsaufspaltung von Foki im Speichervolumen ermöglicht, die beugungsbegrenzt sind. Dieses neue Verfahren wird hier als chromatisch-konfokale Spektral-Interferometrie (CC-SI) bezeichnet. Dem Interferometer mit konfokaler Diskriminierung im Strahlengang ist hierbei ein Spektrometer nachgeordnet. Zur chromatischen Längsaufspaltung ist im interferometrischen Strahlengang eine diffraktiv-optische Zonenlinse (DOZE) mit Nutzung der ersten Beugungsordnung eingesetzt. Das Interferometer kann als fasergekoppeltes Interferometer mit Retroreflektor im fasergekoppelten Referenzarm und mit wellenlängenabhängiger Gangunterschiedsänderung mittels Dispersion oder Diffraktion ausgebildet sein. Der Gangunterschied im Interferometer ist so eingestellt, dass aus detektierten Interferogrammen mittels Spektralanalyse gut detektierbare Wavelets gebildet werden können. Dabei gibt es im optischen-transparenten Speichervolumen eine räumliche Anordnung von örtlich wechselnden Bereichen erhöhter und verringerter Reflexion im mikroskopischen Maßstab. Mittels numerischer Auswertung werden digitale Daten aus den Wavelets bestimmt, im einfachsten Fall ein Bit pro Wavelet. So werden Daten aus unterschiedlichen Tiefen des Speichermediums simultan gelesen. Dies ermöglicht eine sehr hohe Datentransferrate wie sie z. B. für Datenbanken oder bei der Datensicherung benötigt wird.

Abstract translation: 在干涉，共聚焦方法和干涉，共聚焦组件，用于光学数据存储，尤其是TB的体积内存，则谱双光束Merferometrie的与彩色共技术，其能够病灶的纵向劈裂在该储存容积的电磁辐射的宽带光源的耦合， 是衍射极限。 这种新方法（CC-SI）这里所说的彩色共光谱干涉。 在光路中谱仪共聚焦歧视的干涉是这里下属。 对于色纵向劈裂的衍射光学透镜区（打盹）被插入在所述干涉光路中使用第一衍射级的。 该干涉仪可以被形成为在参考臂光纤耦合，并与通过分散或衍射的手段依赖于波长的相位差变化与后向反射器的光纤耦合干涉仪。 在干涉仪中的路径差被设置为使得从检测到的干涉容易检测的小波可以通过光谱分析来形成。 有在光学透明存储容积的增加局部改变区域的空间排列，和在微观尺度上减小反射。 通过从子波的数字数据的数值计算被确定，在最简单的情况下，每小波一个比特。 这允许从所述存储介质的不同深度的数据被同时读出。 这允许非常高的数据传输率等。 当需要对数据库或数据保护。

公开(公告)号：WO2015124288A2

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：PCT/EP2015/000344

申请日：2015-02-17

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  OSTEN, Wolfgang ,  BOETTCHER, Tobias ,  LYDA, Wolfram ,  GRONLE, Marc

IPC: G01J3/10

CPC classification number: G01J3/2823 ,  G01B11/14 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/2509 ,  G01B11/2536 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/10 ,  G01J3/26 ,  G01J3/4338 ,  G01J2003/2826

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zum Erzeugen von multispektralem Beleuchtungslicht mit adressierbarem Spektrum, zur adaptiven multispektralen Bildgebung sowie zur Erfassung von strukturellen und/oder topographischen Informationen eines Objekts oder der Distanz zu einem Objekt. Die Beleuchtungsvorrichtung umfasst eine multispektrale Lichtquelle und eine Modulationseinrichtung zur zeitlichen Modulation der einzelnen Spektralkomponenten der multispektralen Lichtquelle mit jeweils voneinander unterschiedlichen Modulationsfrequenzen, Modulationsfrequenzbereichen und/oder Modulationssequenzen. Die multispektrale Lichtquelle umfasst (i) zumindest eine Lichtquelle (10) mit einem kontinuierlichen, quasi-kontinuierlichen oder Frequenzkamm-Spektrum und wellenlängendispersiven Mitteln (12) oder (ii) ein Ensemble oder Array von monochromatischen oder quasi- monochromatischen Lichtquellen mit voneinander jeweils verschiedenen Emissions-Wellenlängen oder Emissions-Wellenlängenbändern. Die Modulationseinrichtung umfasst (i) mindestens einen elektrisch steuerbaren, räumlichen Lichtmodulator (14) oder (ii) mehrere, der einzelnen monochromatischen oder quasi- monochromatischen Lichtquellen zugeordnete elektronische Ansteuermodule. Die Beleuchtungsvorrichtung umfasst ferner optische Mittel (18) zum Zusammensetzen der einzelnen modulierten Spektralkomponenten, um das multispektrale Beleuchtungslicht (24) mit adressierbarem Spektrum zu bilden.

Abstract translation: 本发明涉及的方法和用于产生多光谱照明光寻址光谱用于自适应多光谱成像以及用于检测的对象的结构和/或地形信息或到对象的距离装置。 所述照明设备包括一个多光谱光源和调制装置，用于具有相互不同的各自的调制频率，调制频率范围和/或调制序列的多光谱光源的各个频谱分量的时间调制。 包含所述多光谱光源（i）至少一个光源（10）以连续的，半连续或频率梳光谱和波长色散装置（12）或（ii）的集合或具有彼此不同的各自的发光的单色或准单色光源阵列 波长或发射波长带。 调制装置包括：（i）至少一个电可控空间光调制器（14）或（ii）多个单独的单色或准单色光源相关联的电子控制模块。 所述照明装置还包括用于组装的各个调制的频谱分量，以形成所述多光谱照明光（24）寻址的光谱的光学装置（18）。

公开(公告)号：WO2014067651A1

公开(公告)日：2014-05-08

申请号：PCT/EP2013/003253

申请日：2013-10-29

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  HERKOMMER, Alois ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G01J3/453 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/0237 ,  G01B9/02061 ,  G01B2290/15 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/4535

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Fourier- Transformations-Spektroskopie, insbesondere auch zur bildgebenden Strahlungsquellen- und Stoff-Analyse aller Aggregatzustände sowie zur bildgebenden In-vivo-Gewebe-Diagnostik, einschließlich von Tumorgewebe. Die Anordnung ist insbesondere auch als mobiler Scout-Sensor oder als eine hochparallelisierte fest installierte Analyse-Station im jeweils dafür geeigneten Spektralbereich ausgebildet. Erfindungsgemäß wird mittels einer spektral breitbandigen Quelle elektromagnetischer Strahlung eine Bestrahlung mindestens eines länglichen Bereiches in den beiden Aperturflächen (A1, A2) des genutzten Zweistrahl-Interferometers mit Längsrichtung des bestrahlten länglichen Bereiches senkrecht zur Schnittebene V-M durchgeführt. Dabei sind die Endreflektoren in Hybrid-Form mit partiellen Retro-Reflexionseigenschaften ausgebildet. Es ergibt sich ein Vorteil für die Robusfheit des Zweistrahl-Interferometers auch unter widrigen Bedingungen, da unerwünschter Tilt und unerwünschte Shear von Wellenfronten eingeschränkt und/oder auch zur numerischen Kompensation erfasst werden. Somit können zuverlässige Interferogramm-Daten zur Spektrenberechnung bereitgestellt werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法和用于傅立叶排列变换光谱，特别是用于体内组织诊断成像Strahlungsquellen-和聚集的所有状态的质量分析以及用于成像，包括肿瘤组织。 所述布置被设计尤其是作为移动侦察传感器或作为每个光谱范围内的高度并行固定分析站适合于该目的。 根据本发明，在与照射的细长区域的纵向方向中使用的双光束干涉仪的两个开口面积（A1，A2）的至少一个细长的区域的照射垂直于切割平面V-M通过电磁辐射的光谱宽带光源来进行。 以混合形式的端部反射器与部分后向反射特性形成的。 这导致用于双光束干涉仪的Robusfheit如下优点：即使在不利条件下，不受欢迎的和不期望的倾斜剪切的波阵面的限制和/或也被识别到数值的补偿。 因此，可以提供用于计算光谱可靠干涉数据。

公开(公告)号：WO2011029587A1

公开(公告)日：2011-03-17

申请号：PCT/EP2010/005514

申请日：2010-09-08

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  HOPP, David ,  PRUß, Christof ,  OSTEN, Wolfgang

Inventor： HOPP, David ,  PRUß, Christof ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G01D5/347 ,  G01D5/244

CPC classification number: G01D5/24438 ,  G01D5/34707 ,  G01D5/3473

Abstract: Die Erfindung betrifft eine verbesserte Kodierscheibe für einen optischen Drehwinkelsensor bzw. Drehgeber, einen optischen Drehwinkelsensor bzw. Drehgeber mit einer verbesserten Kodierscheibe, sowie ein Verfahren zur optischen Korrektur bzw. Kompensation eines Winkelmessfehlers eines optischen Drehgebers, insbesondere eines Winkelmessfehlers, welcher durch eine Verschiebung bzw. Dezentrierung der Kodierscheibe bedingt ist. Die Kodierscheibe (20) umfasst zumindest eine Maßspur (22) und zumindest eine Kompensationsspur (24), wobei die Maßspur (22) in einem ersten radialen Bereich der Kodierscheibe (20) angeordnet ist; und die Kompensationsspur (24) zentriert zu der Maßspur (22) auf einen zweiten radialen Bereich der Kodierscheibe (20) angeordnet ist, so dass das Zentrum der Maßspur (22) mit dem Zentrum der Kompensationsspur (24) zusammenfällt. Vorzugsweise ist die Kompensationsspur (24) derart ausgelegt, dass zumindest ein Teil des auf einen Bereich der Kompensationsspur einfallenden Lichts durch die Kompensationspur (24) radial in Richtung der Achse durch das gemeinsame Zentrum von Kompensations- und Maßspur (22, 24) abgelenkt wird. Vorzugsweise besitzt die Richtung des durch die Kompensationsspur abgelenkten Ausleselichts einen Schnittpunkt mit der Achse durch das gemeinsame Zentrum von Kompensationsspur und Maßspur, wobei der Abstand zwischen der Kompensationsspur und diesem Schnittpunkt der Länge des Lichtwegs zwischen der Kompensationspur und der Maßspur entspricht. Das Ausleselicht kann kohärent oder inkohärent sein. Der Radius der Kompensationsspur kann kleiner, größer oder gleich dem Radius der Maßspur sein. Vorzugsweise weist die Kompensationsspur (24) eine diffraktive Struktur auf.

Abstract translation: 本发明涉及一种改进的编码器盘的光学旋转角度传感器或旋转编码器，光学旋转角传感器或编码器具有改进的编码器盘，以及用于光学校正或光学编码器的角度测量误差的补偿的方法，尤其是角度测量误差，其由位移或 编码器盘的偏心是由于。 的编码器（20）包括至少一个Maßspur（22）和至少一个补偿道（24），其中，所述Maßspur（22）被布置在所述编码器盘（20）的第一径向区; 和补偿道（24）的中心位于所述Maßspur（22）到编码器盘（20）被布置成使得Maßspur（22）与所述补偿道的中心的中心（24）一致的第二径向区。 优选地，补偿轨道（24）被设计为使得光入射在由所述补偿道（24）所涉及的补偿跟踪光的区域通过的补偿和Maßspur共同中心的至少一个部分沿径向朝轴线（22，24）被偏转。 优选地，将通过补偿道读出光偏转的方向与通过补偿轨道和Maßspur的共同中心的轴线，其中，所述补偿道之间和该相交点来补偿道之间的光路的长度和Maßspur的距离，对应的交点。 读出光可以是相干的或非相干。 补偿道的半径可小于，大于或等于所述Maßspur的半径。 优选地，在衍射结构补偿道（24）。

公开(公告)号：WO2006042696A1

公开(公告)日：2006-04-27

申请号：PCT/EP2005/011042

申请日：2005-10-13

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KERWIEN, Norbert ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  BERGER, Reinhard ,  DROSTE, Ulrich ,  KERWIEN, Norbert ,  KOHLER, Christian ,  OSTEN, Wolfgang ,  PAPASTATHOPOULOS, Evangelos ,  PRUSS, Christof ,  RUPRECHT, Aiko ,  WIESENDANGER, Tobias

IPC: G01B9/02 ,  G01N21/47 ,  A61B3/12 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01N21/4795 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0068 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/0084 ,  A61B5/4547 ,  A61B5/7257 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02036 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/0064

Abstract: Die Erfindung betrifft die konfokale Spektral-Interometrie zur Erfassung des Abstandes und der Form, sowie zur Optischen Kohärenz-Tomografie (OCT) und/oder Kohärenz-Mikroskopie (OCM) mit einer Multiwellenlängen-Quelle oder einer durchstimmbaren Quelle und mit Abbildung mittels Fokussier-Systems auf einen Empfänger, wobei chromatische Tiefenaufspaltung z.B. durch eine diffraktiv-optische Zonenlinse im Fokussier-System erfolgt und eine Spektralanalyse mittels dispersivem Spektrometer durchgeführt wird oder die interferierende elektromagnetische Strahlung bei der Wellenlängendurchstimmung detektiert wird und aus dem Spektrum (z.B. mit FFT) über die Kenntnis der Tiefenaufspaltung im chromatisch-konfokalen System und des Brechungsindexes diez-Position der Objektdetails bestimmt wird.

Abstract translation: 本发明涉及一种共焦光谱Interometrie以检测由聚焦系统的装置的距离和形状，以及用于光学相干断层扫描（OCT）和/或相干性显微镜（OCM）与多波长源或可调谐源和成像 在接收机上，所述的彩色深度分裂如 由衍射光学区中的透镜聚焦系统进行的，并且通过谱仪来进行频谱分析或波长调谐过程中检测所述干扰的电磁辐射，并从彩色共焦系统上的深度分割的知识的频谱（例如，FFT）和 的对象的详细信息折射率迭位置被确定。

公开(公告)号：WO2018108697A1

公开(公告)日：2018-06-21

申请号：PCT/EP2017/081832

申请日：2017-12-07

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G01B9/02 ,  G02B5/122

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur Single-shot-Interferometric, die zur Erfassung von Abstand, Profil, Form, Welligkeit, Rauheit oder der optischen Weglänge in oder an optisch rauen oder glatten Objekten oder auch zur optischen Kohärenz-Tomografie (OCT) eingesetzt werden können. Die Anordnung umfasst eine Lichtquelle, ein Interfcrometer, bei dem im Referenzstrahlengang ein End-Reflektor angeordnet ist, sowie einen Detektor zur Detektion eines Interferogramms. Im Referenzstrahlengang des Interferometers kann der End-Reflektor mit drei planen Reflexionsflächen als Prismenspiegel- oder als Luftspiegel-Baugruppe ausgebildet werden, um zwischen Referenz- und Objektbündel eine Lateral-Shear vom Betrag delta_q zur Gewinnung eines räumlichen Interferogramms zu erzeugen. Die Ausbildung dieser Baugruppe hinsichtlich der Winkel und der Anordnung der Reflexionsflächen ermöglicht einen großen Aperturwinkel für eine hohe numerische Apertur. Beim Verfahren kann im Referenzstrahlengang eine Reduzierung des Aperturwinkels des Referenz-Strahlenbündels mit bündelbegrenzenden Mitteln durchgeführt werden, um eine optimale Anpassung an den geometrisch gegebenen Aperturwinkel des End-Reflektors im Referenzstrahlengang zu erreichen, der kleiner als der Aperturwinkel im Objektstrahlengang ausgebildet ist. Der End-Reflektor im Referenzstrahlengang kann auch als Bestandteil eines zweiten Interferometers zur hochaufgelösten Messung der Verschiebung der Anordnung zur Single-shot-Interferometrie genutzt werden, wobei diese Verschiebung der Fokussierung dient. Der End-Reflektor ist als eine Dreifach-Reflexions-Anordnung (z.B. eine Prismenanordnung) mit drei Reflexionsflächen ausgebildet. Die Dreifach-Reflexions-Anordnung kann einen M- oder W-Strahlengang, einen sich nicht kreuzenden Zick-Zack Strahlengang oder einen sich kreuzenden (Zick-Zack) Strahlengang aufweisen.

公开(公告)号：WO2012136238A1

公开(公告)日：2012-10-11

申请号：PCT/EP2011/006546

申请日：2011-12-23

Applicant: UNIVERSITÄT STUTTGART ,  KÖRNER, Klaus ,  PEDRINI, Giancarlo ,  PRUß, Christof ,  OSTEN, Wolfgang

Inventor： KÖRNER, Klaus ,  PEDRINI, Giancarlo ,  PRUß, Christof ,  OSTEN, Wolfgang

IPC: G03H1/08 ,  G01B9/021

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G02F2203/54 ,  G02F2203/56 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/0866 ,  G03H2001/0033 ,  G03H2001/045 ,  G03H2001/0467 ,  G03H2210/62 ,  G03H2222/13 ,  G03H2222/22 ,  G03H2222/23 ,  G03H2222/24 ,  G03H2222/33

Abstract: Verfahren und Anordnung zur Kurz-Kohärenz-Holografie zur Abstandsmessung, zur Profilerfassung und/oder zur 3D-Erfassung eines oder mehrerer Objektelemente und/oder Objektbereiche und/oder Objekte oder zur Auslesung holografischer Volumenspeicher mit einem holografischen Interferometer und mit mindestens einer kurz-kohärenten Lichtquelle. Das holografische Interferometer weist für jedes optisch erfasste Objektelement im Hologramm einen optischen Gangunterschied deutlich ungleich null auf. Zur optischen Erfassung des Objekts in Form von Hologrammen ist mindestens ein spektral integral detektierender, gerasterter Detektor angeordnet. Erfindungsgemäß ist die kurz-kohärente Lichtquelle mit Frequenzkamm mit der optischen Verzögerungslänge Y1 ausgebildet. Detektierte Hologramme werden numerisch rekonstruiert. Aus den Hologramm-Rekonstruktionen werden relative Abstände von Objektelementen zueinander oder auch absolute Abstände zu einer Referenz in der Anordnung zur holografischen Interferometrie digital errechnet, so dass schließlich eine 3D-Punktwolke von Objektelementen und/oder Objektbereichen und/oder Objekten vorliegt. Mit dem erfindungsgemäßen Ansatz ist es auch möglich, Daten aus holografischen Volumenspeichern oder dreidimensional strukturierte Signaturen parallelisiert optisch auszulesen.

Abstract translation: 方法和装置用于短相干全息用于距离测量，轮廓测量和/或用于一个或多个对象的元件和/或对象的区域和/或对象的3D捕捉或用于读取全息容量储存器与全息干涉仪和至少一个短相干光源 ， 全息干涉仪包括一个光程差显著非零在全息元件各光学检测对象。 在光栅化检测器的全息图的形式的对象的光学检测是至少一个光谱一体地检测布置。 根据本发明的短相干光源与光延迟长度Y1频率梳形成。 检测到的全息图数字重建。 对象元件彼此或绝对距离的相对距离是从用于从全息图再现全息干涉的布置的参考数字来计算，使得最终有对象元素和/或对象的区域和/或物体的一个3D点云。 利用本发明的方法，但也可以将数据从全息存储体积转移，或三维结构的签名并行光学读取。