プラスマ耐食性に優れた石英ガラス及びその製造方法
    2.
    发明申请
    プラスマ耐食性に優れた石英ガラス及びその製造方法 审中-公开
    QUARTZ玻璃在等离子体耐腐蚀性及其制造方法中的应用

    公开(公告)号:WO2006038349A1

    公开(公告)日:2006-04-13

    申请号:PCT/JP2005/010605

    申请日:2005-06-09

    IPC分类号: C03C3/06

    摘要:  半導体製造に用いられるプラズマ反応用治具材料として、プラズマ耐食性、特にF系プラズマガスに対する耐食性に優れ、シリコンウエーファにも異常を与えないで使用可能な石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法を提供する。2種類以上の金属元素を併せて0.1~20wt%含有する石英ガラスであって、該金属元素が周期律表第3B族から選ばれた少なくとも1種類である第1の金属元素と、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Ti、Zr、Hf、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも1種類である第2の金属元素からなり、第2の金属元素の個々の最大濃度が、2.0wt%以下であるようにした。                                                                       

    摘要翻译: 作为半导体制造中用于等离子体反应的夹具材料的石英玻璃,具有优异的等离子体耐腐蚀性,特别是对F系等离子体气体的耐腐蚀性,可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 相关石英玻璃夹具; 以及生产它们的过程。 提供总量为0.1〜20重量%的两种以上金属元素的石英玻璃,其中金属元素由选自第3B族中的至少一种的第一金属元素构成 和由选自Mg,Ca,Sr,Ba,Sc,Y,Ti,Zr,Hf,镧系元素和锕系元素中的至少一种构成的第二金属元素,条件是最大浓度 的每个第二金属元素= 2.0重量%。

    PROCESS FOR THE PRODUCTION OF MONOLITHS BY MEANS OF THE SOL-GEL PROCESS
    5.
    发明申请
    PROCESS FOR THE PRODUCTION OF MONOLITHS BY MEANS OF THE SOL-GEL PROCESS 审中-公开
    通过溶胶凝胶法生产单体的方法

    公开(公告)号:WO2006094869A1

    公开(公告)日:2006-09-14

    申请号:PCT/EP2006/050759

    申请日:2006-02-08

    摘要: Process for the production of monoliths by means of the sol-gel process, comprising the following steps: a. hydrolysis of an alkoxide in aqueous solution to form a hydrolysate and optionally evaporation to optimum concentration of the same, b. addition of an oxide prepared by the pyrogenic route, c. mixing of the hydrolysate of the alkoxide with the oxide prepared by the pyrogenic route to form a colloidal sol, d. optional removal of coarse contents from the colloidal sol, e. gelling of the colloidal sol in a mould, f. optional replacement of the water contained in the resulting aerogel by an organic solvent, g. drying of the aerogel, h. heat treatment of the dried aerogel, the coarse content being removed from the colloidal sol.

    摘要翻译: 通过溶胶 - 凝胶法生产整料的方法,包括以下步骤:a。 在水溶液中水解醇盐以形成水解产物,并任选蒸发至最佳浓度,b。 添加通过热解法制备的氧化物,c。 将醇盐的水解产物与通过热解法制备的氧化物混合以形成胶体溶胶,d。 从胶体溶胶中任选去除粗含量, 胶体溶胶在模具中凝胶化,f。 用有机溶剂任选地替代所得气凝胶中所含的水,g。 干燥气凝胶,h。 干燥的气凝胶的热处理,从胶体溶胶中除去粗含量。

    ERBIUM-DOPED MULTICOMPONENT GLASSES MANUFACTURED BY THE SOL-GEL METHOD
    7.
    发明申请
    ERBIUM-DOPED MULTICOMPONENT GLASSES MANUFACTURED BY THE SOL-GEL METHOD 审中-公开
    由SOL-GEL方法制造的ERBIUM-DOPED MULTICOMPONENT GLASSES

    公开(公告)号:WO01068544A1

    公开(公告)日:2001-09-20

    申请号:PCT/US2001/002970

    申请日:2001-01-30

    摘要: A multicomponent particulate gel includes 80-100 mole% SiO2, 1-10 mole% X2O, 1-10 mole% YO, 1-15 mole% Al2O3, and 0.1-5.0 weight% Er2O3,where X represents lithium, sodium, potassium, or mixtures thereof and Y represents calcium, barium, magnesium, lead or mixtures thereof, and the ratio of Al2O3 to(X2O+YO) is between about 0.9 and about 2.5. A process of manufacturing the gel includes hydrolyzing alkoxide derivatives of silicon, aluminum, erbium, lithium, sodium, potassium, calcium, barium, magnesium, lead or mixtures thereof in water to generate their respective hydroxide derivatives; polymerizing the hydroxide derivatives to produce a gel slurry comprising an essentially silica network; and drying the gel slurry to produce the gel.

    摘要翻译: 多组分颗粒凝胶包含80-100摩尔%的SiO 2,1-10摩尔%的X 2 O,1-10摩尔%的YO,1-15摩尔%的Al 2 O 3和0.1-5.0重量的Er 2 O 3,其中X代表锂,钠,钾, 或其混合物,Y表示钙,钡,镁,铅或其混合物,Al 2 O 3与(X 2 O + YO)的比例在约0.9至约2.5之间。 制造凝胶的方​​法包括在水中水解硅,铝,铒,锂,钠,钾,钙,钡,镁,铅或其混合物的醇盐衍生物以产生它们各自的氢氧化物衍生物; 聚合氢氧化物衍生物以产生包含基本上二氧化硅网络的凝胶淤浆; 并干燥凝胶浆以产生凝胶。

    QUARZGLASKÖRPER SOWIE VERFAHREN UND GELKÖRPER ZUR HERSTELLUNG EINES QUARZGLASKÖRPERS
    8.
    发明申请
    QUARZGLASKÖRPER SOWIE VERFAHREN UND GELKÖRPER ZUR HERSTELLUNG EINES QUARZGLASKÖRPERS 审中-公开
    石英玻璃体及其制造方法和凝胶体QUARZGLAS BODY

    公开(公告)号:WO2011151154A1

    公开(公告)日:2011-12-08

    申请号:PCT/EP2011/057773

    申请日:2011-05-13

    IPC分类号: C03B19/12 C03C1/00

    摘要: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers (Q) aus einem Gelkörper, wobei der aus einem Sol (S) erzeugte Gelkörper zumindest geformt und zu dem Quarzglaskörper (Q) verdichtet wird. Erfindungsgemäß werden dem Sol (S) vor dem Gelieren zum Gelkörper Verdrängungskörper (V) hinzugefügt, welche nach dem Gelieren vollständig aus dem Gelkörper entfernt werden, wobei an den Positionen der entfernten Verdrängungskörper (V) Hohlräume (H) erzeugt werden, so dass ein transluzenter oder opaker Quarzglaskörper (Q) erzeugt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Gelkörper zur Herstellung eines Quarzglaskörpers (Q), wobei in den Gelkörper Verdrängungskörper (V) eingebracht sind, welche derart vollständig aus dem Gelkörper entfernbar sind, dass an den Positionen der Verdrängungskörper (V) Hohlräume (H) entstehen. Ferner betrifft die Erfindung einen Quarzglaskörper, der Vakuolen oder mit Gas gefüllte Hohlräume (H) aufweist.

    摘要翻译: 本发明涉及一种方法,用于从凝胶的主体,其特征在于,由溶胶(S)至少形成与石英玻璃体(Q)产生的凝胶体被压缩产生石英玻璃体(Q)。 根据本发明,其中,所述远程位移体(V)的腔(H)的位置被添加到生成之前胶凝凝胶体位移体(V),这是本凝胶体的凝胶化后完全除去溶胶(S),使得半透明 或不透明的石英玻璃体(Q)被生成。 此外,本发明涉及一种凝胶体用于制造石英玻璃体(Q),其中,在所述凝胶体位移体(V)被插入,这是如此完全地从凝胶体除去,即在位移体(V)的腔(H)发生的位置。 此外,本发明涉及一种石英玻璃体,液泡或填充有气体的空腔(H)。

    PRODUCTION OF A SELF-SUPPORTING GLASS FILM
    9.
    发明申请
    PRODUCTION OF A SELF-SUPPORTING GLASS FILM 审中-公开
    生产自支撑玻璃膜

    公开(公告)号:WO2007112351A2

    公开(公告)日:2007-10-04

    申请号:PCT/US2007064930

    申请日:2007-03-26

    发明人: KASAI TOSHIHIRO

    摘要: A process for the production of a self-supporting glass film is described. The method includes the steps of preparing a mixture containing a colloidal silica sol, at least one alkanolamine organic additive and an organic binder; coating the mixture onto a base material; drying the coated mixture to form a precursor film on the base material; releasing the precursor film from the base material; and firing the released precursor film to form a self-supporting glass film. Self-supporting glass films produced by the disclosed process are also described.

    摘要翻译: 描述了用于生产自支撑玻璃膜的方法。 该方法包括以下步骤:制备含有胶体二氧化硅溶胶,至少一种链烷醇胺有机添加剂和有机粘合剂的混合物; 将混合物涂覆到基材上; 干燥涂布的混合物以在基材上形成前体膜; 从基材释放前体膜; 并烧制释放的前体膜以形成自支撑玻璃膜。 还描述了通过公开的方法生产的自支撑玻璃膜。