公开(公告)号：WO2008130975A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：PCT/US2008/060436

申请日：2008-04-16

申请人： APPLIED MATERIALS, INC. ,  YUAN, Jie ,  SUN, Jennifer Y. ,  DUAN, Renguan

发明人： YUAN, Jie ,  SUN, Jennifer Y. ,  DUAN, Renguan

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/54 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68757 ,  Y02P40/57 ,  Y10S156/915

摘要： A method of fabricating doped quartz component is provided herein. In one embodiment, the doped quartz component is a yttrium doped quartz ring configured to support a substrate. In another embodiment, the doped quartz component is a yttrium and aluminum doped cover ring. In yet another embodiment, the doped quartz component is a yttrium, aluminum and nitrogen containing cover ring.

摘要翻译： 本文提供了一种制造掺杂石英组分的方法。 在一个实施例中，掺杂的石英组件是被配置为支撑衬底的掺钇的石英环。 在另一个实施例中，掺杂的石英组件是掺钇和铝的覆盖环。 在另一个实施方案中，掺杂的石英组分是含钇，铝和氮的覆盖环。

公开(公告)号：WO2006038349A1

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：PCT/JP2005/010605

申请日：2005-06-09

申请人： 信越石英株式会社 ,  佐藤 龍弘 ,  吉田 宜正 ,  遠藤 護

发明人： 佐藤 龍弘 ,  吉田 宜正 ,  遠藤 護

IPC分类号： C03C3/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

摘要： 　半導体製造に用いられるプラズマ反応用治具材料として、プラズマ耐食性、特にＦ系プラズマガスに対する耐食性に優れ、シリコンウエーファにも異常を与えないで使用可能な石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法を提供する。２種類以上の金属元素を併せて０．１～２０ｗｔ％含有する石英ガラスであって、該金属元素が周期律表第３Ｂ族から選ばれた少なくとも１種類である第１の金属元素と、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも１種類である第２の金属元素からなり、第２の金属元素の個々の最大濃度が、２．０ｗｔ％以下であるようにした。                                                                       

摘要翻译： 作为半导体制造中用于等离子体反应的夹具材料的石英玻璃，具有优异的等离子体耐腐蚀性，特别是对F系等离子体气体的耐腐蚀性，可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 相关石英玻璃夹具; 以及生产它们的过程。 提供总量为0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，其中金属元素由选自第3B族中的至少一种的第一金属元素构成 和由选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素中的至少一种构成的第二金属元素，条件是最大浓度 的每个第二金属元素= 2.0重量％。

公开(公告)号：WO01099244A1

公开(公告)日：2001-12-27

申请号：PCT/JP2001/005312

申请日：2001-06-21

IPC分类号： G02B6/00 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036 ,  H01S3/06 ,  H01S3/067 ,  H01S3/10 ,  C03B13/04

CPC分类号： G02B6/03644 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03633 ,  H01S3/0672 ,  H01S3/06729

摘要： A light amplifying optical fiber capable of restricting a reduction in amplifying efficiency and non-linearity caused by the concentration quenching of erbium ions. At least one of rare earth elements, having an ion radius at least 70% and up to 130% of that of erbium and excluding erbium, for example, Yb, is added to the core portion of an erbium-ion-added light amplifying optical fiber.

摘要翻译： 一种能够限制由铒离子浓度猝灭引起的放大效率和非线性降低的光放大光纤。 至少有一种稀土元素，其离子半径至少70％，高达铒的130％，不包括铒，例如Yb，添加到铒离子添加光放大光学芯的核心部分 纤维。

公开(公告)号：WO2010109893A1

公开(公告)日：2010-09-30

申请号：PCT/JP2010/002153

申请日：2010-03-26

申请人： 株式会社フジクラ ,  市井健太郎 ,  谷川庄二

发明人： 市井健太郎 ,  谷川庄二

IPC分类号： C03B37/014 ,  C03B37/012 ,  C03B37/018 ,  C03C13/04 ,  G02B6/00 ,  H01S3/06

CPC分类号： C03B37/01838 ,  C03B37/01853 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/36 ,  C03C13/046 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/54 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06729

摘要： 　コアに希土類元素が添加された光ファイバ母材の製造方法であって、ＭＣＶＤ法により、主に二酸化ケイ素からなるガラス微粒子を石英管内に堆積させる工程と；液浸法により、前記希土類元素とアルミニウムとを、前記石英管内のガラス微粒子に添加する工程と；前記石英管内にリンを含むガスを流入させながら前記石英管を加熱して、前記リンを添加しながら前記石英管内のガラス微粒子を焼結させる工程と；前記希土類元素、前記アルミニウム及び前記リンを添加した前記石英管を加熱してコラップスする工程と；を有する。

摘要翻译： 公开了一种用于制造其中将稀土元素添加到芯中的光纤预制件的方法。 制造光纤预制棒的方法包括：通过MCVD法在石英管内沉积主要由二氧化硅构成的微细玻璃颗粒的步骤; 通过浸渍法将稀土元素和铝添加到石英管内的微细玻璃颗粒中的步骤; 在将含磷气体流入石英管的同时加热石英管的步骤，使石英管内的微细玻璃颗粒在加入磷的同时进行烧结; 以及其中添加有稀土元素，铝和磷的石英管被加热和折叠的步骤。

公开(公告)号：WO2010055696A1

公开(公告)日：2010-05-20

申请号：PCT/JP2009/006136

申请日：2009-11-16

申请人： 株式会社フジクラ ,  中熊映乃 ,  市井健太郎 ,  谷川庄二

发明人： 中熊映乃 ,  市井健太郎 ,  谷川庄二

IPC分类号： H01S3/06 ,  G02B6/02 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036

CPC分类号： H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

摘要： 　本発明のイッテルビウム添加光ファイバは、イッテルビウム、アルミニウム及びリンを含有し、かつゲルマニウムを含有しないコアと、このコアを囲むクラッドと、を備え、前記コア中の、前記イッテルビウムの酸化イッテルビウム換算濃度が０．０９～０．６８モル％であり、前記コア中の、前記リンの五酸化二リン換算濃度と前記酸化イッテルビウム換算濃度とのモル比が３～３０であり、前記コア中の、前記アルミニウムの酸化アルミニウム換算濃度と前記酸化イッテルビウム換算濃度とのモル比が３～３２であり、前記酸化アルミニウム換算濃度と前記五酸化二リン換算濃度とのモル比が１～２．５である。

摘要翻译： 公开了一种镱掺杂光纤，其包含芯和围绕芯的包层，其中芯包含镱，铝和磷并且不含锗。 核心中，以镱氧化物含量计，镱的含量为0.09〜0.68mol％，磷的含量（以五氧化二磷含量计）与镱的含量的摩尔比（以镱氧化物计） 含量）为3〜30，铝的含量（以氧化铝含量计）与镱的含量（以氧化镱的含量计）的摩尔比为3〜32，铝的含量的摩尔比 （以氧化铝含量计）与磷含量（以二氧化二磷含量计）为1〜2.5。

公开(公告)号：WO2009040287A1

公开(公告)日：2009-04-02

申请号：PCT/EP2008/062410

申请日：2008-09-18

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  INSTITUT FUER PHOTONISCHE TECHNOLOGIEN E.V. ,  LANGNER, Andreas ,  KAYSER, Thomas ,  SCHOETZ, Gerhard ,  SUCH, Mario ,  KIRCHHOF, Johannes ,  GRIMM, Stephan ,  REICHEL, Volker

发明人： LANGNER, Andreas ,  KAYSER, Thomas ,  SCHOETZ, Gerhard ,  SUCH, Mario ,  KIRCHHOF, Johannes ,  GRIMM, Stephan ,  REICHEL, Volker

IPC分类号： C03B19/06 ,  C03B19/12 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03B37/01282 ,  C03B19/06 ,  C03B19/063 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/1095 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/54 ,  C03C1/026 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C13/045 ,  C03C14/008 ,  C03C23/0075 ,  C03C25/106 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/20 ,  C03C2203/34

摘要： Es wird ein Verfahren angegeben, das die wirtschaftliche Herstellung von dotiertem Quarzglas ermöglicht, insbesondere von laseraktivem Quarzglas, das hinsichtlich der Homogenität der Dotierstoffverteilung verbessert ist, indem eine Suspension bereitgestellt wird, die SiO 2 -Teilchen sowie eine Ausgangsverbindung für mindestens einen Dotierstoff in einer wässrigen Flüssigkeit enthält, die Flüssigkeit unter Bildung eines dotierten Zwischenprodukts, das Teilchen des Dotierstoffs oder Teilchen einer Vorläufersubstanz des Dotierstoffs enthält, entfernt wird, und aus dem dotierten Zwischenprodukt durch Sintern das dotierte Quarzglas gebildet wird, wobei mindestens ein Teil der Teilchen des Dotierstoffs oder der Teilchen der Vorläufersubstanz desselben in der Suspension als Präzipitat einer pH-Wertgesteuerten Fällungsreaktion der Ausgangsverbindung erzeugt wird.

摘要翻译： 本发明提供这使得经济地生产掺杂的石英玻璃，特别是激光活性石英玻璃，这是在掺杂剂的均匀性的方面通过悬浮改进的，提供了一种方法，其SiO 2颗粒和在含水液体中至少一种掺杂剂的输出连接 含有液体含有以形成掺杂剂或掺杂剂的前体的颗粒的颗粒被除去，掺杂的石英玻璃从通过烧结掺杂中间产物，所形成的掺杂的中间体，其中至少所述掺杂剂的颗粒的一部分或所述颗粒 前体在悬浮液中作为起始化合物的pH受控沉淀反应的沉淀物产生。

公开(公告)号：WO2006038148A1

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：PCT/IB2005/053167

申请日：2005-09-26

申请人： PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH ,  KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N. V. ,  WEINERT, Holger, Christian ,  HELLWIG, Paul ,  JANSEN, Heinz ,  FLINK, Simon ,  WAGE, Willem

发明人： WEINERT, Holger, Christian ,  HELLWIG, Paul ,  JANSEN, Heinz ,  FLINK, Simon ,  WAGE, Willem

IPC分类号： H01J61/30

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03C4/085 ,  C03C2201/3423 ,  C03C2201/3447 ,  C03C2201/36 ,  H01J61/302 ,  H01K1/32

摘要： An electric lamp provided with a light-transmitting lamp vessel (2) and a ligh source(l) in said light-transmitting lamp vessel(2) which is closed in a vacuum tight manner, wherein the light source has an envelope(3) of light-transmitting UV-absorbing quartz glass which contains aluminium in oxidic form and at least one metal in oxidic form selected from the group comprising cerium and europium wherein the quartz glass of the envelope(3) comprises silicon, cerium, europium and aluminium in oxidic form, while the atomic ratio aluminium/europium is in he range of 2:1 to 16:1 and whereby the titanium content of said quartz glass is at most >= 0 to An electric lamp provided with a light-transmitting lamp vessel and a light source in said light-transmitting lamp vessel which is closed in a vacuum-tight manner, wherein the light source has an envelope of light-transmiting, UV-absorbing quartz glass which contains aluminium in oxidic form and at least one metal in oxidic form selected from the group comprising cerium and europium, wherein the quartz glass of the envelope comprises silicon, cerium, europium and aluminium in oxidic form, while the atomic ratio aluminium/europium is in the range of 2:1 to 16:1 and whereby the titanium content of said quartz glass is at most >= 0 to = 0 to

摘要翻译： 一种在所述透光灯容器（2）中设置有透光灯容器（2）和灯源（1）的电灯，其以真空密封的方式封闭，其中光源具有外壳（3） 的透光的紫外线吸收石英玻璃，其包含氧化形式的铝和至少一种选自包含铈和铕的氧化物形式的金属，其中包封（3）的石英玻璃包含硅，铈，铕和铝 而铝/铕的原子比在2:1至16:1的范围内，并且由此所述石英玻璃的钛含量至多> = 0。对于设置有透光灯容器的电灯， 在所述透光灯容器中以真空密封的方式封闭的光源，其中所述光源具有包含氧化形式的铝的透光，紫外线吸收石英玻璃的外壳和至少一种氧化物的金属 从第 e组包括铈和铕，其中包壳的石英玻璃包含氧化形式的硅，铈，铕和铝，而铝/铕的原子比在2:1至16:1的范围内，由此钛含量 的所述石英玻璃的至少> 0°<<在所述透光灯容器中设置有透光灯容器和光源的电灯，其以真空密封的方式封闭，其中所述光源具有 包含氧化物形式的铝的透光性紫外线吸收石英玻璃以及至少一种选自包含铈和铕的氧化物形式的金属，其中所述壳体的石英玻璃包括硅，铈，铕和铝 而铝/铕的原子比在2:1至16:1的范围内，由此所述石英玻璃的钛含量至多> 0至≤0.001原子％，基于所述石英玻璃 。

公开(公告)号：WO03057643A2

公开(公告)日：2003-07-17

申请号：PCT/US0238303

申请日：2002-12-03

申请人： 3M INNOVATIVE PROPERTIES CO

发明人： ANDERSON MARK T ,  SCHARDT CRAIG R ,  ONSTOTT JAMES R ,  BUDD KENTON D

IPC分类号： C03B19/10 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  H01S3/067 ,  H01S3/16 ,  C03C25/00

CPC分类号： H01S3/067 ,  C03B19/102 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/36 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/0672 ,  H01S3/0677 ,  H01S3/06775 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  Y02P40/57

摘要： A method for manufacturing an optical fiber and the resulting article. The method including the steps of: providing a substrate tube; depositing high purity silica-based cladding layers on the inside of the tube; depositing a germanium-free core comprising a glass including silica, and oxides of Al, La, Er, and Tm; collapsing the substrate tube to form a preform; and drawing the preform to yield an optical fiber. A germanium-free co-doped silicate optical waveguide in accordance with the present invention includes a core material comprising silica, aluminum, lanthanum, erbium and thulium, wherein the concentration of Er is from 15 ppm to 3000 ppm; Al is from 0.5 mol% to 15 mol%; La is less than 2 mol%; and Tm is from 150 ppm to 10000 ppm. In an exemplary specific embodiment the concentration of Al is from 4 mol% to 10 mol%; and the concentration of Tm is from 150 ppm to 3000 ppm. The core may further include F. In an exemplary embodiment, the concentration of F is less than or equal to 6 mol%. The waveguide may be an optical fiber, a shaped fiber or other light-guiding waveguides. An amplifier according to the present invention includes the optical fiber described above.

摘要翻译： 一种制造光纤的方法和所得到的制品。 该方法包括以下步骤：提供衬底管; 在管的内侧沉积高纯度的二氧化硅基包覆层; 沉积包含二氧化硅的玻璃和Al，La，Er和Tm的氧化物的无锗芯; 塌缩基材管以形成预制件; 并拉伸预成型件以产生光纤。 根据本发明的无锗的共掺硅酸盐光波导包括含有二氧化硅，铝，镧，铒和and的核心材料，其中Er的浓度为15ppm至3000ppm; Al为0.5摩尔％〜15摩尔％。 La小于2mol％; Tm为150ppm〜10000ppm。 在一个示例性具体实施方案中，Al的浓度为4mol％至10mol％; Tm的浓度为150ppm〜3000ppm。 芯可以进一步包括F.在一个示例性实施方案中，F的浓度小于或等于6mol％。 波导可以是光纤，成形光纤或其他导光波导。 根据本发明的放大器包括上述光纤。

公开(公告)号：WO2002098809A1

公开(公告)日：2002-12-12

申请号：PCT/US2002/013901

申请日：2002-05-02

申请人： 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY

发明人： ANDERSON, Mark, T. ,  SCHARDT, Craig, R. ,  ONSTOTT, James, R. ,  DONALDS, Lawrence, J. ,  CHIARELI, Alessandra, O.

IPC分类号： C03C3/06

CPC分类号： G02B6/02009 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/22 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C23/0095 ,  C03C25/104 ,  C03C25/1065 ,  C03C25/608 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/52 ,  G02B6/02285 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03655 ,  G02B6/03694 ,  G02B6/2551 ,  H01S3/06708 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/06754

摘要： An optical article including a core; at least one cladding layer; and a narrow fluorine reservoir between the core and the cladding layer. The fluorine reservoir has a higher concentration of fluorine than either the cladding layer or the core. One particular embodiment includes a core including a halide-doped silicate glass that comprises approximately the following in cation-plus-halide mole percent 0.25-5 mol% Al 2 O 3 , 0.05-1.5 mol% La 2 O 3 , 0.0005-0.75 mol% Er 2 O 3 , 0.5-6 mol% F, 0-1 mol% Cl.

摘要翻译： 一种包括芯的光学制品; 至少一层包层; 以及在芯和包层之间的窄氟储存器。 氟储存器具有比包覆层或芯层更高的氟浓度。 一个具体实施方案包括包含卤化物掺杂的硅酸盐玻璃的核，其在阳离子加 - 卤化物摩尔百分比为0.25-5摩尔％Al 2 O 3，0.05-1.5摩尔％La 2 O 3，0.0005-0.75摩尔％Er 2 O 3，0.5-6 mol％F，0-1mol％Cl。

公开(公告)号：WO2014147062A1

公开(公告)日：2014-09-25

申请号：PCT/EP2014/055400

申请日：2014-03-18

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

发明人： LANGNER, Andreas ,  SCHÖTZ, Gerhard ,  SUCH, Mario ,  SCHWERIN, Malte ,  TROMMER, Martin ,  GRIMM, Stephan ,  KALIDE, André ,  LEICH, Martin ,  JUST, Florian

IPC分类号： C03B19/12 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G02B1/00

CPC分类号： C03C4/0071 ,  C03B19/12 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/54 ,  G02B6/00 ,  G02B6/02

摘要： Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglas, das zusätzlich zu einer Dotierung mit Seltenen Erden und/oder Übergangsmetallen die Fluorierung des Quarzglases umfasst. Durch das beschriebene Verfahren lässt sich ein Ausdiffundieren er Dotanden während der Fluorierung verhindern. Weiterhin betrifft die Erfindung das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhältliche Quarzglas sowie dessen Verwendung als laseraktives Quarzglas, zur Erzeugung von lichtführenden Strukturen und für den Einsatz in optischen Anwendungen.

摘要翻译： 本发明描述了用于生产的石英玻璃，其包含，在除了与稀土和/或过渡金属，石英玻璃的氟化掺杂的方法。 所描述的方法，漫射它可以防止氟化过程中的掺杂剂。 此外，根据本发明的方法，熔融二氧化硅以及其作为激光活性石英玻璃的使用，用于制造导光结构和用于在光学应用获得的本发明有关。