公开(公告)号：WO2015066258A1

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：PCT/US2014/063033

申请日：2014-10-30

Applicant: BORGWARNER INC.

Inventor： CHAMBERLAIN, Brent ,  VENTIMIGLIA, Mark ,  PALKO, John

IPC: F02B37/22 ,  F02B39/00 ,  F16K3/314

CPC classification number: F02B37/183 ,  F01D17/105 ,  F05D2220/40 ,  F05D2250/411 ,  F05D2260/56 ,  F16K3/06 ,  F16K3/085 ,  Y02T10/144

Abstract: A rotary wastegate valve (48) includes a valve seat (50) having an opening (58), a valve shaft (80) that extends in a direction normal to a surface of the valve seat (50) and is offset relative a valve plate centroid (C), and a valve plate (90) driven by the valve shaft (80) to rotate relative to the valve seat (50). Rotation of the valve shaft (80) moves the valve plate (390) between a first position in which the valve plate (390) overlies the opening (58) and closes the opening (58), and a second position in which the opening (58) is at least partially open. The rotary wastegate valve (48) can be used to control exhaust gas flow through the turbine section (20) of an exhaust gas turbocharger (1).

Abstract translation: 旋转废气门阀（48）包括具有开口（58）的阀座（50），沿垂直于阀座（50）的表面方向延伸的阀轴（80），并相对阀板 重心（C）和由阀轴（80）驱动以相对于阀座（50）旋转的阀板（90）。 阀轴（80）的旋转使阀板（390）在其中阀板（390）覆盖开口（58）并关闭开口（58）的第一位置和第二位置之间移动，在第二位置， 58）至少部分打开。 旋转废气门阀（48）可用于控制通过废气涡轮增压器（1）的涡轮部分（20）的排气流。

公开(公告)号：WO2014072917A1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：PCT/IB2013/059949

申请日：2013-11-06

Applicant: PRONAL

Inventor： ARIAS CUETO, José

IPC: B65D90/58 ,  F16K3/04

CPC classification number: F16K3/06 ,  B65D90/585

Abstract: Réservoir (R) de stockage pour le stockage de liquides, au moins une vanne (1)de remplissage et/ou de vidange étant montée sur le réservoir (R), un dispositif d'obturation (6) étant placé entre le réservoir (R) et la vanne (1).

Abstract translation: 一种用于储存液体的储存容器（R），至少一个安装在容器（R）上的填充和/或排放阀（1），一个装在容器（R）和阀门（1） ）。

公开(公告)号：WO2012105109A1

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：PCT/JP2011/076756

申请日：2011-11-21

Applicant: シーケーディ株式会社 ,  纐纈 雅之 ,  板藤 寛

Inventor： 纐纈　雅之 ,  板藤　寛

IPC: F16K1/32 ,  F16K1/00 ,  F16K31/126 ,  F16K51/02 ,  H01L21/3065

CPC classification number: F16K3/06 ,  F16J1/01 ,  F16K31/1262 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67017

Abstract: 　プラズマを使用する真空容器の気体の流れを制御するポペット方式の真空制御バルブを提供する。本発明は、プラズマを発生させる真空容器と真空ポンプとの間に接続され、弁開度の操作によって真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ１０を提供する。真空制御バルブ１０は、真空流路に形成されている弁座４３を有する制御バルブ本体４０と、直線運動によって弁座４３との間の距離であるリフト量Ｌａを調整して弁開度の操作を行う弁体３３と、駆動力を発生させる直線駆動部からの駆動力を伝達させるロッドと、ロッドを摺動させて真空流路を封止する摺動封止部と、ロッドの摺動範囲を被覆する円筒型部材３２とを備える。摺動範囲は、リフト量の操作によって、バルブボディ流路４６側から外部側に移動可能な範囲を含む。円筒型部材３２は、ロッドの外表面よりも単位面積当たりの作動流体の吸収量が少ない外周面を有する。

Abstract translation: 提供一种提升式真空控制阀，其控制使用等离子体的真空容器内的气体流。 本发明提供一种真空控制阀（10），其连接在产生等离子体的真空容器和真空泵之间，并通过打开阀门的程度来控制真空容器内的真空压力。 所述真空控制阀（10）具有：具有形成在所述真空流路中的阀座（43）的控制阀体（40） 阀元件（33），其通过线性运动来调节阀门打开的程度，提升程度（La），即阀元件（33）和阀座（43）之间的距离， ; 从产生驱动力的线性驱动单元传递驱动力的杆; 滑动密封单元，其使所述杆滑动并密封所述真空流路; 以及套筒的滑动范围的圆柱形构件（32）。 根据提升程度，滑动范围包括从阀体流路（46）侧到外侧的可能的移动范围。 圆柱形构件（32）具有外表面，其每单位面积的工作流体的吸收程度低于杆的外表面。

公开(公告)号：WO2009055507A1

公开(公告)日：2009-04-30

申请号：PCT/US2008/080842

申请日：2008-10-22

Applicant: APPLIED MATERIALS, INC. ,  SICO, Angela, Rose ,  RICE, Michael, R. ,  STRASSNER, James, D.

Inventor： SICO, Angela, Rose ,  RICE, Michael, R. ,  STRASSNER, James, D.

IPC: C23F1/00

CPC classification number: F16K3/06 ,  F16K3/0227 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67772

Abstract: Apparatus, methods and systems are provided for sealing a door of a slit valve. The invention includes a seal, adapted to extend along a perimeter of a slit valve door; and a hard stop, disposed between the seal and an outer edge of the slit valve door, and adapted to extend along at least a portion of the length of the seal, wherein the hard stop and the seal fill at least a portion of a gap between the slit valve door and a substrate sealing surface. Numerous other aspects are provided.

Abstract translation: 提供了用于密封狭缝阀的门的装置，方法和系统。 本发明包括适于沿着狭缝阀门的周边延伸的密封件; 以及设置在所述密封件和所述狭缝阀门的外边缘之间并且适于沿着所述密封件的所述长度的至少一部分延伸的硬止动件，其中所述硬止动件和所述密封件填充至少一部分间隙 在狭缝阀门和基板密封面之间。 提供了许多其他方面。

公开(公告)号：WO2004074720A3

公开(公告)日：2005-03-10

申请号：PCT/US0341268

申请日：2003-12-24

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： LUCAS PAUL D

IPC: F16K3/06 ,  F16K3/10 ,  F16K51/02 ,  F16K25/00

CPC classification number: F16K3/06 ,  F16K3/10 ,  F16K51/02

Abstract: A valve assembly including a housing having a flow channel, a slide plate movable between a closed position and an opened position, and a seal ring surrounding the flow channel and engaging the slide plate in the closed position and disengaging the slide plate in the opened position. The seal ring has a plurality of bores aligned, respectively, with holes formed in an adjacent surface of the housing. Each bore includes an undercut defining a lip. A plurality of fasteners are arranged in the holes of the annular surface of the housing and extend into the corresponding bores of the seal ring. Side walls of the fasteners include slots, which catch on the lips of the bores of the seal ring when the fasteners are inserted into the bores of the seal ring, and the seal ring is rotated.

Abstract translation: 一种阀组件，包括具有流动通道的壳体，在关闭位置和打开位置之间可移动的滑动板，以及环绕流动通道并且将滑动板接合在关闭位置的密封环，并将滑板与打开位置分离 。 密封环具有分别与形成在壳体的相邻表面中的孔对准的多个孔。 每个孔包括限定唇缘的底切。 多个紧固件布置在壳体的环形表面的孔中并延伸到密封环的相应的孔中。 紧固件的侧壁包括槽，当紧固件插入到密封环的孔中时，其卡紧在密封环的孔的唇缘上，并且密封环被旋转。

公开(公告)号：WO2004074720A2

公开(公告)日：2004-09-02

申请号：PCT/US2003/041268

申请日：2003-12-24

Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC.

Inventor： LUCAS, Paul, D.

IPC: F16K

CPC classification number: F16K3/06 ,  F16K3/10 ,  F16K51/02

Abstract: A valve assembly including a housing having a flow channel, a slide plate movable between a closed position and an opened position, and a seal ring surrounding the flow channel and engaging the slide plate in the closed position and disengaging the slide plate in the opened position. The seal ring has a plurality of bores aligned, respectively, with holes formed in an adjacent surface of the housing. Each bore includes an undercut defining a lip. A plurality of fasteners are arranged in the holes of the annular surface of the housing and extend into the corresponding bores of the seal ring. Side walls of the fasteners include slots, which catch on the lips of the bores of the seal ring when the fasteners are inserted into the bores of the seal ring, and the seal ring is rotated.

Abstract translation: 一种阀组件，包括具有流动通道的壳体，在关闭位置和打开位置之间可移动的滑动板，以及环绕流动通道并且将滑动板接合在关闭位置的密封环，并将滑板与打开位置分离 。 密封环具有分别与形成在壳体的相邻表面中的孔对准的多个孔。 每个孔包括限定唇缘的底切。 多个紧固件布置在壳体的环形表面的孔中并延伸到密封环的相应的孔中。 紧固件的侧壁包括槽，当紧固件插入到密封环的孔中时，其卡紧在密封环的孔的唇缘上，并且密封环被旋转。

公开(公告)号：WO02001035A2

公开(公告)日：2002-01-03

申请号：PCT/US2001/019765

申请日：2001-06-21

IPC: F04B39/10 ,  F16K3/04 ,  F16K3/06 ,  F16K3/10 ,  F16K31/04 ,  F16K31/524 ,  F16K31/53 ,  E21B

CPC classification number: F16K3/06 ,  F16K3/10 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/86083 ,  Y10T137/87917 ,  Y10T137/87981

Abstract: A dual pendulum valve assembly (100) including a housing (112) having an interior space (14) and first and second openings (22, 24) through which fluid can enter and exit the interior space; valve seats disposed in the interior space around the edges of the openings; and first and second pendulum valves (16, 116) for opening and closing, respectively, the first and second openings. Each pendulum valve is independently movable and includes a valve body (26, 126) mounted relative to the housing so that the valve body is movable between a completely opened position wherein fluid is allowed to pass through its respective opening and a completely closed position wherein the valve body seals the opening so that fluid can not pass therethrough. Each pendulum valve also includes a shaft fixedly (28, 128) coupled to the valve body through at least one pivot arm (30, 130) and at least partially mounted within the housing so that the valve body can rotate about a longitudinal axis (32) of the shaft between a first angular position where the first valve body is in the completely opened position and a second angular position where the valve body is substantially axially aligned with its respective opening, and move substantially parallel to the longitudinal axis of the shaft, so that the valve body can move between the second angular position and the completely closed position as the pendulum valve continues to rotate. The present disclosure also provides a method of precisely controlling vacuum pressure within a process chamber of a semi-conductor wafer fabricator.

Abstract translation: 一种双摆阀组件（100），包括具有内部空间（14）和第一和第二开口（22,24）的壳体（112），流体可通过该第一和第二开口进入和离开内部空间; 围绕开口边缘设置在内部空间中的阀座; 以及分别用于打开和关闭第一和第二开口的第一和第二摆动阀（16,116）。 每个摆阀是可独立移动的，并且包括相对于壳体安装的阀体（26,126），使得阀体可以在允许流体通过其相应开口的完全打开位置和完全关闭位置之间移动，其中， 阀体密封开口，使得流体不能通过。 每个摆阀还包括通过至少一个枢转臂（30,130）联接到阀体并且至少部分地安装在壳体内的固定的轴（28,128），使得阀体可绕纵向轴线（32 ）在第一阀体处于完全打开位置的第一角位置和阀体与其相应开口基本上轴向对准的第二角位置之间并且基本上平行于轴的纵向轴线移动， 使得当摆阀继续旋转时，阀体可以在第二角位置和完全关闭位置之间移动。 本公开还提供了精确控制半导体晶片制造器的处理室内的真空压力的方法。

公开(公告)号：WO2018071321A1

公开(公告)日：2018-04-19

申请号：PCT/US2017/055701

申请日：2017-10-09

Applicant: SHELL OIL COMPANY ,  SHELL INTERNATIONALE RESEARCH MAATSCHAPPIJ B.V.

Inventor： BOND, David Headspeath ,  DARILMAZ, Ilkay ,  SMART, Tony ,  WHITAKER, Gregory

IPC: F16K41/02 ,  E21B34/04 ,  F16K3/06

CPC classification number: F16K3/06 ,  E21B34/04 ,  F16K41/026

Abstract: A subsea rotary gate valve comprising a valve body (110), wherein the valve body defines a fluid flow pathway (101), a closure member cavity (102), and a stem cavity (103), a closure member (120) disposed in the closure member cavity, and a stem (130) disposed in the stem cavity, wherein the stem is connected to the closure member and associated systems.

Abstract translation: 一种包括阀体（110）的海底旋转闸阀，其中所述阀体限定流体流动路径（101），闭合构件腔体（102）和杆腔体（103），其中， 布置在封闭构件空腔中的封闭构件（120），以及布置在杆空腔中的杆（130），其中杆连接到封闭构件和相关系统。

公开(公告)号：WO2016156001A1

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：PCT/EP2016/055136

申请日：2016-03-10

Applicant: VAT HOLDING AG

Inventor： ALBRECHT, Klaus

IPC: F16K3/12 ,  F16K3/18 ,  F16K3/06 ,  F16K51/02 ,  F16K25/00 ,  F16K3/02

CPC classification number: F16K3/0236 ,  F16K1/12 ,  F16K3/0263 ,  F16K3/029 ,  F16K3/04 ,  F16K3/06 ,  F16K3/12 ,  F16K3/18 ,  F16K3/188 ,  F16K25/005 ,  F16K51/02

Abstract: Ventil (1), insbesondere Vakuumventil, mit zumindest einem Ventilgehäuse (2) und zumindest einem Verschlussorgan (3) und zumindest einem Ventilsitz (4), wobei der Ventilsitz (4) zumindest eine Ventilöffnung (5) des Ventils (1) umgibt und das Verschlussorgan (3) von zumindest einem Verschlussorganantrieb (6, 7) zwischen zumindest einer Öffnungsstellung, in der das Verschlussorgan (3) die Ventilöffnung (5) zumindest teilweise freigibt, und einer Schließstellung, in der das Verschlussorgan (3) mit einer Dichtfläche (8) des Verschlussorgans (3) zum Verschließen der Ventilöffnung (5) an den Ventilsitz (4) angedrückt ist, hin und her bewegbar ist, wobei zumindest eine Oberfläche (9) des Ventils (1) eine gemittelte Rautiefe RZ kleiner oder gleich 0,4 um, vorzugsweise kleiner oder gleich 0,25 um, aufweist.

Abstract translation: 阀（1），尤其是真空阀，其具有至少一个阀壳体（2）以及至少一个关闭构件（3）和至少一个阀座（4），其中，所述阀座（4）围绕所述至少一个阀开口（5）的阀（1）和 封闭构件（3）至少一个闭合元件驱动的（6,7）的至少一个打开位置之间，其中所述封闭构件（3），所述阀开口（5）释放至少部分地，和一个闭合位置，其中所述封闭构件（3）具有密封表面（8 ），用于封闭所述开口阀（5）上的阀座（4）被按压所述封闭构件（3）的，被来回移动，其中，至少一个表面（9）的阀（1）的平均粗糙度RZ等于或小于0.4 微米，优选小于或等于0.25，具有。

公开(公告)号：WO2011149490A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：PCT/US2010/056192

申请日：2010-11-10

Applicant: CONFLUENCE SOLAR INCORPORATED ,  WILLIAMS, Dick, S. ,  LUTER, William, L.

Inventor： WILLIAMS, Dick, S. ,  LUTER, William, L.

IPC: F16K51/02 ,  F16K3/28 ,  F16K31/64 ,  F16K3/30

CPC classification number: F16K3/06 ,  F01L2003/25 ,  F16K3/10 ,  F16K51/02 ,  Y10T137/6579

Abstract: A pendulum gate valve (10) including an expandable gate (12) which pivots when unexpanded to selectively block a vacuum or other pressure-differential passage (20). The valve includes a valve plate (56) sealing one side of the passage and a ring (88) or barrier plate (154) abutting an opposed side of the passage when the gate member is expanded. A compression spring (106) biases apart the valve plate and ring to close the valve by means of respective two-stage hangers attached thereto, extending along the spring, and having distal ends capturing the spring. Pneumatic pressure (116) applied to a pneumatic cavity (114) formed between the middles of the two-stage hangers (66, 102) and accommodating the spring forces apart the valve plate and ring to open the valve in the blocking position. Thereby if pressure fails, the valve fails to a sealed state. The axially movable valve or barrier plate is advantageously water cooled (60) to allow use with a heated processing chamber.

Abstract translation: 摆闸闸阀（10）包括可膨胀闸门（12），当可膨胀闸门（12）在未膨胀时枢转以选择性地阻挡真空或其它压差通道（20）。 阀门包括密封通道的一侧的阀板（56）和当门构件膨胀时邻接通道的相对侧的环（88）或阻挡板（154）。 压缩弹簧（106）使阀板和环分开偏压，通过附接到其上的相应的两级悬挂器来弹簧关闭阀门，弹簧沿弹簧延伸，并具有捕获弹簧的远端。 施加到形成在两级衣架（66,102）的中间之间的气动空腔（114）的气动压力（116），并且将弹簧力容纳在阀板和环上，以将阀门打开在阻挡位置。 因此，如果压力失效，则阀门不能成为密封状态。 可轴向移动的阀或阻挡板有利地是水冷却（60）以允许与加热的处理室一起使用。