公开(公告)号：WO2017010416A1

公开(公告)日：2017-01-19

申请号：PCT/JP2016/070237

申请日：2016-07-08

Applicant: 日本特殊陶業株式会社

Inventor： 山田　達範 ,  津荷　俊介 ,  藤　祐介 ,  岩渕　盾紀 ,  後藤　大希

IPC: G01L23/22

CPC classification number: G01L23/18 ,  F02B77/085 ,  F02F1/24 ,  G01L23/22

Abstract: 測定誤差を小さくできる技術を開示する。　圧力センサは、筐体と、筐体の先端側に接合部を介して接合され圧力に応じて撓むダイアフラムと、圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、ダイアフラムとセンサ部とを接続する接続部と、ダイアフラムの先端側に配置されダイアフラムに直接的または間接的に接続され熱を受ける受熱部と、を備えている。軸線に垂直な断面上で、受熱部からダイアフラムまでの部分の断面を包含し輪郭の全長が最小の仮想的な最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Ｓｎとし、ダイアフラムと受熱部とを軸線に垂直な投影面上に投影する場合の投影面上において、接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Ｓｄとする場合に、（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５、が満たされる。

Abstract translation: 在本发明中，公开了能够减少测量误差的技术。 提供一种压力传感器，包括：壳体; 隔膜通过接头连接到壳体的前端侧，并响应于压力而弯曲; 具有根据压力变化的电特性的传感器单元; 连接所述隔膜和所述传感器单元的连接部; 并且设置在隔膜的前端侧的受热单元直接或间接地连接到隔膜，并且接收热量。 （Sn / Sd）≤0.25满足以下情况：虚拟最小容纳区域的面积的最小值，其中包含从热接收单元到隔膜的横截面垂直截面的横截面 与虚拟最小容纳区域的轮廓的总长度为最小的轴为连接区域Sn; 以及如果隔膜和受热单元投影到垂直于轴线的突出表面上的由投影表面上的连接部分包围的区域的面积是隔膜有效面积Sd。

公开(公告)号：WO2015033669A1

公开(公告)日：2015-03-12

申请号：PCT/JP2014/068528

申请日：2014-07-11

Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社

Inventor： 宮嶋　健太郎 ,  日尾　真之

IPC: G01B7/16 ,  G01L9/00 ,  G01L23/22

CPC classification number: G01L23/18 ,  G01L9/0042

Abstract: 従来以上に高い精度や長期信頼性を有する力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサを提供する。 本発明に係る力学量測定装置は、半導体基板表面に形成された不純物拡散抵抗体によって構成されるひずみ検出領域を備えており、前記ひずみ検出領域は互いに同心状に配設された複数のホイートストンブリッジを有し、前記複数のホイートストンブリッジの内の最内周のホイートストンブリッジは前記同心を軸にした２回対称の形状となる２つの抵抗体群または４回対称の形状となる４つの抵抗体群からなり、前記複数のホイートストンブリッジの内の他のホイートストンブリッジは前記同心を軸にした４回対称の形状となる４つの抵抗体群からなり、前記ホイートストンブリッジを構成する４つのブリッジ抵抗のそれぞれは当該ホイートストンブリッジの前記抵抗体群の数の倍数個の前記不純物拡散抵抗体からなり、前記抵抗体群のそれぞれは前記４つのブリッジ抵抗を構成する前記不純物拡散抵抗体を少なくとも１個ずつ有していることを特徴とする。

Abstract translation: 提供了一种具有比现有技术更高的精度和长期可靠性的机械量测量装置以及使用其的压力传感器。 根据本发明的机械量测量装置设置有由形成在半导体衬底表面上的杂质扩散电阻器构成的应变检测区域，其特征在于：应变检测区域具有围绕其设置的多个惠斯通电桥 中央; 惠斯通电桥中的最内层的惠斯顿电桥包括两个围绕中心的2对称形状的电阻器组或围绕中心的4对称形状的四个电阻器组; 惠斯通电桥中的另一个惠斯登电桥分别包括围绕中心的4对称形状的四个电阻器组; 构成每个惠斯通电桥的四个电阻电阻每个包括许多杂质扩散电阻，这是惠斯通电桥中电阻组数量的倍数; 并且每个电阻器组具有构成四个桥式电阻器的杂质扩散电阻器中的至少一个。

公开(公告)号：WO1994011718A1

公开(公告)日：1994-05-26

申请号：PCT/GB1993002175

申请日：1993-10-21

Applicant: INTELLECTUAL PROPERTY HOLDINGS (PTE) LIMITED ,  SPERRING, Christopher

Inventor： INTELLECTUAL PROPERTY HOLDINGS (PTE) LIMITED

IPC: G01L05/24

CPC classification number: G01L5/24 ,  F16B2031/022 ,  G01L23/18 ,  Y10S285/91

Abstract: The joint comprises a first joint component (1) having axial aperture and a second joint component (4) having an axial aperture arranged coaxially with the aperture in the first joint component. Joint components (1) and (2) have a gasket ring (7) interposed therebetween to act as a fluid seal. The components are jointed by bolts (10); within the gasket are a number of stress or strain responsive elements equispaced around the entire periphery of the gasket, each comprising a pair of electrodes sandwiching a stress or strain responsive material. The responsive elements have opposed faces which are spaced from the opposed faces of the gasket and the electrodes and are connected to an output via leads (18, 19) to give an indication of the stress or strain within each individual element corresponding to the torque force applied to a proximate bolt.

Abstract translation: 接头包括具有轴向孔的第一接头部件（1）和具有与第一接头部件中的孔同轴布置的轴向孔的第二接头部件（4）。 接头部件（1）和（2）之间具有垫圈环（7）以用作流体密封。 组件通过螺栓（10）连接; 垫圈内的是多个应力或应变响应元件围绕垫圈的整个周边等间隔，每个包括一对电极，夹持应力或应变响应材料。 响应元件具有与垫圈和电极的相对面间隔开的相对面，并且经由引线（18,19）连接到输出端，以给出对应于扭矩力的每个单独元件内的应力或应变的指示 应用于近似螺栓。

公开(公告)号：WO2009096056A1

公开(公告)日：2009-08-06

申请号：PCT/JP2008/063544

申请日：2008-07-29

Applicant: 日本特殊陶業株式会社 ,  樋口 雄三 ,  辻村 善徳

Inventor： 樋口 雄三 ,  辻村 善徳

IPC: G01L23/10 ,  F02D45/00 ,  G01L23/22

CPC classification number: F02D35/023 ,  F02D41/107 ,  F02D41/2474 ,  F02D2041/281 ,  F02D2250/14 ,  F02P19/028 ,  G01L19/0092 ,  G01L23/18 ,  G01L23/225

Abstract: 　筒内圧センサのオフセットドリフトを補正できる出力補正装置、及びこれを用いて内燃機関の筒内圧を精度良く検出できる筒内圧検出装置を提供する。筒内圧検出装置１２は、ピエゾ抵抗素子１３８の抵抗の変化を電気信号として検出する検出回路部２００と、この電気信号を増幅して出力する増幅回路部２０１と、この出力値を補正する補正回路部２０２とを備えている。補正回路部２０２は、増幅回路部２０１の出力値を基準値にリセットするリセット制御部２０５と、そのタイミングを求めるリセットタイミング検出部２０６とから構成される。リセットタイミング検出部２０６は、増幅回路部２０１から出力される出力波形を基にその波形周期を測定し、この波形周期を基にリセットタイミングを算出し、このタイミングにおいてリセット制御部２０５に対しリセット信号を出力する。

Abstract translation: 可补偿缸内压力传感器偏移漂移的输出补偿器，以及可使用该输出补偿器精确检测内燃机内缸内压力的缸内压力检测器。 缸内压力检测器（12）包括：检测作为电信号的压阻元件（138）的电阻变化的检测器电路部（200）;放大电路部（201），放大该电信号以输出 放大信号和补偿电路部分（202）以补偿该输出值。 补偿电路部分（202）包括复位控制部分（205），用于将来自放大器电路部分（201）的输出值复位到参考值;以及复位定时检测器部分（206）来确定复位定时。 复位定时检测部（206）基于从放大电路部（201）输出的输出波形来测量波形周期，根据波形周期计算复位定时，并将复位信号输出到复位控制部（205） 计算时间。

公开(公告)号：WO2005014878A1

公开(公告)日：2005-02-17

申请号：PCT/DE2004/001448

申请日：2004-07-07

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  HENN, Ralf ,  SCHARPING, Armin

Inventor： HENN, Ralf ,  SCHARPING, Armin

IPC: C23C14/50

CPC classification number: C23C16/458 ,  C23C14/50 ,  G01L23/18

Abstract: Mit der vorliegenden Erfindung wird eine Trägervorrichtung für magnetisierbare Substrate, wie z.B. Edelstahlsubstrate, vorgeschlagen, die sich insbesondere zur Prozessierung von Dünnschichtsubstraten eignet Dazu umfasst die erfindungsgemäße Trägervorrichtung mindestens ein magnetisch wirkendes Grundelement (1) mit mindestens einer Aufnahme (7) für ein Substrat (2).

Abstract translation: 利用本发明，用于磁化的基底，例如一个支撑装置 不锈钢衬底已经被提出，它是特别适合于薄膜的基板的由本发明的承载装置的处理包括：（1）具有至少一个容器的至少一个磁性地作用基座构件（7），用于在衬底（2）。

公开(公告)号：WO03036252A3

公开(公告)日：2003-09-25

申请号：PCT/FR0203523

申请日：2002-10-15

Applicant: THALES SA ,  LEVERRIER BERTRAND ,  JULLIEN CLAUDE

Inventor： LEVERRIER BERTRAND ,  JULLIEN CLAUDE

IPC: G01L9/00 ,  G01L23/18

CPC classification number: G01L19/003 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/147 ,  G01L23/18

Abstract: The invention concerns physical quantity sensors operating at high temperature, such as sensors used for measuring pressure inside heat engines in vehicles, aircraft or even rockets. The sensor (10) is a micro-machined sensor comprising at least a wafer (22) provided with electrical bond pads (18). In order to mount said sensor sealingly in a wall bushing likely to be brought to a temperature of about 200 DEG C at least, the method consists in connecting the sensor to the end of a cable (30) resistant at said high temperature, the cable comprising several electric conductors (36) embedded in an insulation (34) maintained in a sheath (32), the sheath passing in the wall bushing, the electrical conductors extending beyond the end of the sheath and being directly soldered on the bond pads of the wafer (22). The sheath is sealingly mounted in the wall bushing.

Abstract translation: 本发明涉及在高温下操作的物理量传感器，诸如用于测量车辆，飞机甚至火箭中的热机内的压力的传感器。 传感器（10）是微加工传感器，其至少包括设有电接合垫（18）的晶片（22）。 为了将所述传感器密封地安装在至少可能达到约200℃温度的壁衬套中，该方法在于将传感器连接到在所述高温下耐受的电缆（30）的端部，电缆 包括嵌入在保持在护套（32）中的绝缘体（34）中的若干电导体（36），所述护套穿过所述壁衬套，所述电导体延伸超出所述护套的端部并直接焊接在所述 晶片（22）。 护套密封地安装在壁衬套中。

公开(公告)号：WO1992001912A1

公开(公告)日：1992-02-06

申请号：PCT/DE1991000523

申请日：1991-06-27

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BENEDIKT, Walter ,  VOGEL, Manfred ,  HERDEN, Werner ,  KONRAD, Johann ,  SCHMIDT, Wolfgang ,  TOSCH, Josef ,  KUESELL, Matthias ,  STANGLMEIER, Frank

Inventor： ROBERT BOSCH GMBH

IPC: G01L09/00

CPC classification number: G01L23/18 ,  F02D35/023 ,  G01L1/18 ,  G01L9/0052

Abstract: In the pressure sensor proposed, the pressure is transmitted through a diaphragm (14) and a punch (18) to a piezo-resistive sensor element (19). The sensor element (19) is printed on the substrate of a hybrid circuit (22) and comprises several resistance tracks (38, 39) disposed one above the other in layers, in particular in the form of a pyramid. This makes it particularly simple to transmit the pressure into the sensor in a controlled fashion. In addition, the hybrid circuit is located at one end of the punch stop (23). The compact mounting of the hybrid circuit (22) and piezo-resistive sensor element (19) gives a relatively small, inexpensive design, but a large and relatively error-free sensor signal.

Abstract translation: 在提出的压力传感器中，压力通过隔膜（14）和冲头（18）传递到压电传感器元件（19）。 传感器元件（19）被印刷在混合电路（22）的基板上，并且包括多个电阻轨道（38,39），这些电阻轨道（38,39）特别是以金字塔形式层叠在一起。 这使得以受控的方式将压力传递到传感器中变得特别简单。 此外，混合电路位于冲头停止件（23）的一端。 混合电路（22）和压阻式传感器元件（19）的紧凑安装提供了相对较小的廉价设计，但是具有大且相对无差错的传感器信号。

公开(公告)号：WO2016047408A1

公开(公告)日：2016-03-31

申请号：PCT/JP2015/075003

申请日：2015-09-02

Applicant: 株式会社アドバンテスト

Inventor： 三瓶　広和 ,  加藤　耕平

IPC: A61B5/0245 ,  G01L9/00

CPC classification number: A61B5/02438 ,  A61B5/02108 ,  A61B5/0245 ,  A61B5/6832 ,  A61B2562/0247 ,  G01L9/0054 ,  G01L23/18

Abstract: 脈波センサユニット１０は、圧力センサ２０と、圧力センサ２０を被測定部位１０１に固定する粘着テープ８０と、を備え、圧力センサ２０は、ダイアフラム部２１と、ダイアフラム部２１を支持すると共に、ダイアフラム部２１を被測定部位１０１に対向させる開口２２３を有する環状の支持部２２と、を有しており、粘着テープ８０により圧力センサ２０を被測定部位１０１に固定することで、ダイアフラム部２１と被測定部位１０１との間に密閉空間２８を形成する。

Abstract translation: 脉波传感器单元10设置有用于将压力传感器20固定到测量位置101的压力传感器20和粘合带80.压力传感器20具有隔膜21和支撑隔膜21的环状支撑部22， 其具有使隔膜21与测量部位101相对的开口223.使用粘合带80将压力传感器20固定到测量部位101在隔膜21和测量部位101之间形成封闭空间28 。

公开(公告)号：WO2012085147A3

公开(公告)日：2012-11-15

申请号：PCT/EP2011073683

申请日：2011-12-21

Applicant: HIDRIA AET DRUZBA ZA PROIZV VZIGNIH SISTEMOV IN ELEKTRONIKE D O O ,  RATOSA GVERINO ,  GOLOB JURE

Inventor： RATOSA GVERINO ,  GOLOB JURE

IPC: F23Q7/00

CPC classification number: F23Q7/001 ,  F23Q2007/002 ,  G01L23/18

Abstract: The invention concerns a glow plug comprising a heating rod (11), a plug body (13), a mounting device (48) for mounting the heating rod, permitting axial translation movements of the heating rod relative to the plug body and ensuring impermeability between the heating rod and the plug body, and a load sensor (17) which is interposed in a proximal zone between the heating rod and the plug body. The plug body is composed of multiple distinct metal tubes (45, 95) which are rigidly assembled and extend each other axially, comprising, around said mounting device and the load sensor, a metal distal tube (45) extending a metal proximal tube (95), said distal tube having a lesser thickness than that of said proximal tube.

Abstract translation: 本发明涉及一种电热塞，其包括加热棒（11），塞体（13），用于安装加热棒的安装装置（48），允许加热棒相对于塞体进行轴向平移运动，并确保不可渗透性 加热棒和塞体，以及介于加热棒和塞体之间的近侧区域中的载荷传感器（17）。 所述塞体由刚性组装且彼此轴向延伸的多个不同的金属管（45,95）组成，所述金属管围绕所述安装装置和所述载荷传感器包括金属远侧管（45），所述金属远侧管延伸金属近侧管（95 ），所述远侧管具有比所述近侧管更小的厚度。

公开(公告)号：WO2010149501A1

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：PCT/EP2010/058163

申请日：2010-06-10

Applicant: TRAFAG AG ,  STAIGER, Ulrich ,  DIAS-LALCACA, Peter ,  HAURI, Peter ,  ZEISEL, Dieter

Inventor： STAIGER, Ulrich ,  DIAS-LALCACA, Peter ,  HAURI, Peter ,  ZEISEL, Dieter

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/06 ,  G01L23/18

CPC classification number: G01L9/006 ,  G01L19/0645 ,  G01L19/0681 ,  G01L23/18

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Drucksensormesselement (26) für einen Drucksensor (10) zur Druckerfassung in einem Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine während deren Betrieb, mit einer Trennmembran (54), einem Stößel (56) zum Übertragen von Auslenkungen der Trennmembran (54) auf ein Kraftmesselement (32) und einer den Stößel (56) aufnehmenden Hülse (36), die an einem dem Brennraum zuzuwendenden ersten Ende (12) durch die Trennmembran (54) verschlossen ist und an dem entgegen gesetzten zweiten Ende (16) zum Halten des Kraftmesselements (32) ausgebildet ist. Um das Drucksensormesselement (26) bei gleicher Funktionalität kostengünstiger herstellen zu können, wird vorgeschlagen, dass der Stößel (56) einstückig mit der Trennmembran (54) als Membran-Stößel-Einheit (38) ausgebildet ist, wobei die Hülse (36) und die Membran-Stößel-Einheit (38) aus dem gleichen Metall-Material gebildet sind.

Abstract translation: 本发明涉及一种压力传感器，其测量元件（26），用于压力传感器（10），用于在操作期间在所述的内燃机的燃烧室内感测压力体，具有用于力测量元件上传送分离膜（54）的位移分离膜（54），柱塞（56）（ 接收32）和柱塞（56）套筒（36），其是面对到燃烧室第一端部（12）（通过分离膜54）是封闭的，和（在相对的第二端（16），用于保持力测量元件32 ）形成。 为了制造具有相同功能成本效益的压力传感器的测量元件（26）中，提出的是，柱塞（56）一体地分离膜（54），其为膜-RAM单元（38）形成，所述套筒（36）和所述 膜片柱塞单元（38）由相同的金属材料形成。