公开(公告)号：WO2017180680A1

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：PCT/US2017/027093

申请日：2017-04-12

申请人： THE BOARD OF REGENTS OF THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM

发明人： FIOLKA, Reto, P.

IPC分类号： G01N21/64 ,  G02B21/06 ,  G02B21/02 ,  G02B21/36

CPC分类号： G01N21/6458 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2201/061 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008 ,  G02B21/16 ,  G02B21/367 ,  G02B27/1066 ,  G02B27/144

摘要： This disclosure includes an imaging system that is configured to image in parallel multiple focal planes in a sample uniquely onto its corresponding detector while simultaneously reducing blur on adjacent image planes. For example, the focal planes can be staggered such that fluorescence detected by a detector for one of the focal planes is not detected, or is detected with significantly reduced intensity, by a detector for another focal plane. This enables the imaging system to increase the volumetric image acquisition rate without requiring a stronger fluorescence signal. Additionally or alternatively, the imaging system may be operated at a slower volumetric image acquisition rate (e.g., that of a conventional microscope) while providing longer exposure times with lower excitation power. This may reduce or delay photo-bleaching (e.g., a photochemical alteration of the dye that causes it to no longer be able to fluoresce), thereby extending the useful life of the sample.

摘要翻译： 本公开包括成像系统，该成像系统被配置成将样本中的多个焦平面唯一地成像到其对应的检测器上，同时减少相邻图像平面上的模糊。 例如，焦平面可以是交错的，使得由焦平面之一的检测器检测到的荧光未被检测到，或者被另一个焦平面的检测器检测到强度显着降低。 这使得成像系统能够增加体积图像采集速率而不需要更强的荧光信号。 另外或可选地，成像系统可以以较慢的体积图像采集速率（例如，常规显微镜的图像采集速率）运行，同时以较低的激励功率提供较长的曝光时间。 这可以减少或延迟光漂白（例如，使染料不再能够发荧光的染料的光化学改变），从而延长样品的使用寿命。

公开(公告)号：WO2017052701A1

公开(公告)日：2017-03-30

申请号：PCT/US2016/037122

申请日：2016-06-12

申请人： UBIQD, LLC

发明人： MCDANIEL, Hunter

IPC分类号： G01N21/64

CPC分类号： C09D5/22 ,  B41M3/144 ,  C09D11/037 ,  C09D11/322 ,  C09D11/50 ,  G01N21/6408 ,  G01N21/643 ,  G01N21/6489 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/062 ,  G07D7/1205

摘要： A security ink is provided which includes a liquid medium having a plurality of quantum dots disposed therein. Upon excitation with a suitable light source, the ink exhibits a quantum yield greater than 30%, and a photoluminescence which has a lifetime of more than 40 nanoseconds and which varies by at least 5% across the emission spectrum of the quantum dots. Also disclosed are apparatuses for using the same for anti-counterfeit or authentication purposes, which uniquely identifying the presence of photoluminescent materials by spectrally resolving their photoluminescence lifetime.

摘要翻译： 提供一种安全油墨，其包括其中设置有多个量子点的液体介质。 当用合适的光源激发时，油墨显示出大于30％的量子产率，以及寿命大于40纳秒并且在量子点的发射光谱上变化至少5％的光致发光。 还公开了将其用于防伪或认证目的的装置，其通过光谱解析其光致发光寿命来唯一地识别光致发光材料的存在。

公开(公告)号：WO2017046597A1

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：PCT/GB2016/052890

申请日：2016-09-16

申请人： THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM

发明人： DAFFORN, Timothy ,  HICKS, Matthew

IPC分类号： G01N21/19 ,  G01N33/53 ,  C12Q1/68

CPC分类号： G01N33/542 ,  C12Q1/6816 ,  G01N21/19 ,  G01N2201/061

摘要： Provided is a method that utilises linear dichroism (LD) to identify the presence of a target molecule (L) in a sample. The method comprises providing an alignable scaffold (20), preferably biomolecular fibre M13, comprising a first binding region and having a high aspect ratio of greater than 5:1, providing a substrate (e.g. a substantially spherical non-alignable moiety (12)) comprising a second binding region which binds the first binding region in the absence of the target molecule in such a way that the LD signal of the alignable scaffold is reduced or minimised relative to the unbound and aligned scaffold, wherein one of the first and second binding regions is a receptor capable of binding the target molecule, exposing the substrate-bound scaffold to the sample such that binding of the target molecule, if present, to the receptor releases the scaffold from the substrate, and measuring the LD signal of the scaffold before and after exposure to the sample. A reagent and an apparatus for use in the method are also provided. A reagent (10) and an apparatus for use in the method are also disclosed.

摘要翻译： 提供了利用线性二色性（LD）来鉴定样品中目标分子（L）的存在的方法。 该方法包括提供可对准的支架（20），优选生物分子纤维M13，其包含第一结合区并具有大于5:1的高纵横比，提供底物（例如基本上为球形的不可校准部分（12）） 包括第二结合区，其在不存在靶分子的情况下结合第一结合区，使得相对于未结合和排列的支架减少或最小化可对准支架的LD信号，其中第一和第二结合之一 区域是能够结合靶分子的受体，将底物结合的支架暴露于样品，使得目标分子（如果存在）与受体的结合从基质释放支架，并测量支架的LD信号 并暴露于样品后。 还提供了一种用于该方法的试剂和装置。 还公开了一种试剂（10）和用于该方法的装置。

公开(公告)号：WO2017000926A1

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：PCT/CN2016/091901

申请日：2016-07-27

申请人： 上海睿钰生物科技有限公司

发明人： 罗浦文

IPC分类号： G01N21/64 ,  G01N21/01

CPC分类号： G01N21/6458 ,  G01N21/01 ,  G01N21/64 ,  G01N2021/6471 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/062

摘要： 一种集成式荧光激发光源装置，包括光源架（1）、1个垂直设置于光源架（1）中心的透射明场光源（6）及2个以上环绕光源架（1）的中心倾斜设置于光源架（1）上的荧光激发光源（5），荧光激发光源（5）所发光束与透射明场光源（6）所发光束在某一位置形成交汇，透射明场光源（6）与荧光激发光源（5）通过控制电路控制，以实现单一光源顺序间隔开启和关闭、多种光源同时开启或关闭的不同光源组合，及实现光源光强可调整。本装置以简洁的方式实现对检测目标的多波段同时激发；通过电路开关控制即可实现不同激发光源的切换，更为简便和经济；可通过增加相同波段光源数量的方式来突破激发光功率的上限；可根据需要灵活调节荧光激发光源的入射距离和角度，避免了斜射光源照明激发导致的像差和杂散光干扰。

公开(公告)号：WO2017000701A1

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：PCT/CN2016/082768

申请日：2016-05-20

申请人： 上海睿钰生物科技有限公司

发明人： 罗浦文 ,  夏浩涵

IPC分类号： G01N21/64

CPC分类号： G01N21/6458 ,  G01N21/01 ,  G01N21/64 ,  G01N2021/6471 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/062

摘要： 一种荧光显微成像方法和装置，包括：根据实验要求在多个单色荧光激发光源(101)中点亮至少一个相同颜色的单色荧光激发光源(101)为目标光源，其中，每个单色荧光激发光源(101)所发出的单色荧光激发光均倾斜射入待测样品板的预设检测区域；在待测样品板背离目标光源一侧，收集预设检测区域内的颗粒受目标光源发出的单色荧光激发光的照射而激发的荧光，并将预设检测区域放大至预设倍数；对预设检测区域内的颗粒激发的荧光进行滤光处理；获取预设检测区域的荧光图像。无需设置二色相镜，使得荧光显微装置结构简单且成本低，避免了光能损耗的情况。由于单色荧光激发光倾斜照射至待测样品板，使得单色荧光激发光透过待测样品板后少量射入物镜中。

公开(公告)号：WO2016141237A1

公开(公告)日：2016-09-09

申请号：PCT/US2016/020772

申请日：2016-03-03

申请人： KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： LIANG, Ardis ,  PLIHAL, Martin ,  BABULNATH, Raghav ,  VENKATARAMAN, Sankar

IPC分类号： G01N21/956 ,  G01R31/26 ,  G06T7/00

CPC分类号： G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N23/20008 ,  G01N2021/8809 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0683

摘要： Methods and systems for generating inspection results for a specimen with an adaptive nuisance filter are provided. One method includes selecting a portion of events detected during inspection of a specimen having values for at least one feature of the events that are closer to at least one value of at least one parameter of the nuisance filter than the values for at least one feature of another portion of the events. The method also includes acquiring output of an output acquisition subsystem for the sample of events, classifying the events in the sample based on the acquired output, and determining if one or more parameters of the nuisance filter should be modified based on results of the classifying. The nuisance filter or the modified nuisance filter can then be applied to results of the inspection of the specimen to generate final inspection results for the specimen.

摘要翻译： 提供了用于生成具有自适应干扰过滤器的样本的检查结果的方法和系统。 一种方法包括选择在检查样本期间检测到的事件的一部分，所述事件具有与所述事件的至少一个特征相比更接近于所述烦扰滤波器的至少一个参数的至少一个值的至少一个特征的值 另一部分事件。 该方法还包括获取事件样本的输出采集子系统的输出，基于获取的输出对样本中的事件进行分类，并且基于分类的结果确定是否应当修改干扰过滤器的一个或多个参数。 然后可以将干扰过滤器或修改过的干扰过滤器应用于样本检查结果以生成样本的最终检查结果。

公开(公告)号：WO2016134382A1

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：PCT/US2016/018985

申请日：2016-02-22

申请人： KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： VELDMAN, Andrei

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G05B19/406 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/255 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/12 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G05B2219/45031

摘要： Methods and systems for solving measurement models of complex device structures with reduced computational effort and memory requirements are presented. The computational efficiency of electromagnetic simulation algorithms based on truncated spatial harmonic series is improved for periodic targets that exhibit a fundamental spatial period and one or more approximate periods that are integer fractions of the fundamental spatial period. Spatial harmonics are classified according to each distinct period of the target exhibiting multiple periodicity. A distinct truncation order is selected for each group of spatial harmonics. This approach produces optimal, sparse truncation order sampling patterns, and ensures that only harmonics with significant contributions to the approximation of the target are selected for computation. Metrology systems employing these techniques are configured to measure process parameters and structural and material characteristics associated with different semiconductor fabrication processes.

摘要翻译： 提出了减少计算量和存储要求的复杂器件结构测量模型的方法和系统。 基于截断空间谐波序列的电磁仿真算法的计算效率对于表现出基本空间周期和基本空间周期的整数分数的一个或多个近似周期的周期性目标进行了改进。 空间谐波根据显示多个周期的目标的每个不同周期进行分类。 为每组空间谐波选择明显的截断顺序。 这种方法产生最优的稀疏截断序列采样模式，并确保仅选择具有对目标近似值的重要贡献的谐波进行计算。 采用这些技术的计量系统被配置为测量与不同半导体制造工艺相关联的工艺参数和结构和材料特性。

公开(公告)号：WO2016133991A1

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：PCT/US2016/018228

申请日：2016-02-17

申请人： XYLEM IP UK SARL ,  XYLEM IP HOLDINGS LLC

发明人： VESMA, Valdis R.

IPC分类号： G01N21/03

CPC分类号： G01N21/0332 ,  G01N21/21 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/062

摘要： Apparatus features a sample tube adapter made of conductive material, having a first part to contain and touch a sample tube having a sample therein, and a second part to provide a thermal path for heat transfer to/from the sample tube and a thermal assembly for performing a sample analysis; and sample support rails to receive the sample tube adapter to provide physical support for the sample tube, orient the sample tube adapter in relation to the thermal assembly so there is contact between the sample tube adapter and the thermal assembly to provide the thermal path for heat transfer to/from the sample tube and the thermal assembly, and align the sample tube adapter in relation to a light source so there is a registration between the sample tube and a light beam provided by the light source, all for performing the sample analysis.

摘要翻译： 仪器具有由导电材料制成的样品管适配器，其具有第一部分以容纳和接触其中具有样品的样品管，以及第二部分，以提供用于传热到样品管的热路径和用于 进行样本分析; 和样品支撑轨道以接收样品管适配器以为样品管提供物理支撑，使样品管适配器相对于热组件定向，使得样品管适配器和热组件之间存在接触以提供热路径 转移到样品管和热组件上，并将样品管适配器相对于光源对准，使得样品管与由光源提供的光束之间存在对准，全部用于进行样品分析。

公开(公告)号：WO2016045945A1

公开(公告)日：2016-03-31

申请号：PCT/EP2015/070287

申请日：2015-09-04

申请人： ASML NETHERLANDS B.V.

发明人： VAN DER ZOUW, Gerbrand

IPC分类号： G03F7/20 ,  G01N21/956 ,  G01N21/47

CPC分类号： G01N21/4738 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0636 ,  G01N2201/12 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

摘要： An inspection apparatus comprises an illumination system (12) for illuminating a target structure with illuminating radiation and a collection system for collecting the illuminating radiation after it has been scattered by the target structure. A programmable spatial light modulator (713) comprises an array of movable mirror elements (742) in a conjugate pupil plane (P") of the illumination system. Between the array of mirror elements and the target a common optical path is defined forming part of the illumination system and the collection system. Each mirror element is movable between a first position where it reflects illuminating radiation into the common optical path and a second position where it reflects radiation from the common optical path toward a detector (19, 23). Various combinations of illumination aperture and collection aperture can be defined without the light losses associated with beam splitters and transmissive spatial light modulators.

摘要翻译： 一种检查装置，包括：照明系统（12），用于照射具有照射辐射的目标结构;以及收集系统，用于在由所述目标结构散射之后收集照射辐射。 可编程空间光调制器（713）包括在照明系统的共轭光瞳平面（P“）中的可移动镜元件阵列（742），在镜阵列与目标之间，公共光路被定义为 照明系统和收集系统，每个镜元件可在其将照射辐射反射到公共光路的第一位置和其中将来自公共光路的辐射反射到检测器（19,23）的第二位置之间移动。 可以定义照明孔径和收集孔径的组合，而不会与分束器和透射空间光调制器相关联的光损失。

公开(公告)号：WO2016033300A1

公开(公告)日：2016-03-03

申请号：PCT/US2015/047139

申请日：2015-08-27

申请人： KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： CHEN, Hong ,  WU, Kenong ,  SHIFRIN, Eugene ,  YAMAOKA, Masatoshi ,  SIVARAMAN, Gangadharan ,  BABULNATH, Raghav ,  KURADA, Satya ,  SUN, Alfonso

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/00 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10

摘要： Systems and methods for detecting defects on a wafer are provided. One method includes generating test image(s) for at least a portion of an array region in die(s) on a wafer from frame image(s) generated by scanning the wafer with an inspection system. The method also includes generating a reference image for cell(s) in the array region from frame images generated by the scanning of the wafer. In addition, the method includes determining difference image(s) for at least one cell in the at least the portion of the array region in the die(s) by subtracting the reference image from portion(s) of the test image(s) corresponding to the at least one cell. The method further includes detecting defects on the wafer in the at least one cell based on the difference image(s).

摘要翻译： 提供了用于检测晶片上的缺陷的系统和方法。 一种方法包括从通过用检查系统扫描晶片产生的帧图像为晶片上的晶片中的晶片的阵列区域的至少一部分生成测试图像。 该方法还包括从通过晶片扫描生成的帧图像生成阵列区域中的单元的参考图像。 另外，该方法包括通过从测试图像的一部分中减去参考图像来确定模具中的阵列区域的至少一部分中的至少一个单元的差分图像， 对应于至少一个小区。 该方法还包括基于差分图像来检测至少一个单元中的晶片上的缺陷。