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    荷電粒子線装置
    2.
    发明申请
    荷電粒子線装置 审中-公开
    充电粒子装置

    公开(公告)号：WO2015068717A1

    公开(公告)日：2015-05-14

    申请号：PCT/JP2014/079308

    申请日：2014-11-05

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 池上　明 ,  土肥　英登 ,  数見　秀之 ,  小瀬　洋一 ,  鈴木　直正 ,  圓山　百代

    IPC: H01J37/153 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J3/12 ,  H01J37/14 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2814

    Abstract: 荷電粒子線のエネルギーと開き角が一定でなく分布していることによって発生する複数の収差を同時に打ち消すことができる荷電粒子線装置を提供する。 荷電粒子線装置は、荷電粒子線が軸外を通過することによって収差を発生させる収差発生レンズ（１３）と、荷電粒子線のエネルギーによらずその軌道を対物レンズ（１２）の主面上に集束させる補正レンズ（１５）とを備え、補正レンズ（１５）の主面は、開き角がそれぞれ異なる複数の荷電粒子線が収差発生レンズ（１３）を通過した後に集束するクロスオーバー位置（Ｐ３）に配置されている。

    Abstract translation: 提供一种带电粒子束装置，其能够同时消除由打开角度的非均匀分布和带电粒子束的能量引起的多个像差。 带电粒子束装置设置有用于产生由于穿过离轴的带电粒子束产生像差的像差产生透镜（13），以及用于使带电粒子束的轨迹收敛的校正透镜（15） 在物镜（12）的主表面上，与带电粒子束的能量无关。 校正透镜（15）的主表面设置在交叉位置（P3），在该交叉位置处，具有不同开口角度的多个带电粒子束在通过像差产生透镜（13）之后会聚。

    X-RAY TUBE PROVIDING VARIABLE IMAGING SPOT SIZE
    6.
    发明申请
    X-RAY TUBE PROVIDING VARIABLE IMAGING SPOT SIZE 审中-公开
    X射线管提供可变成像尺寸

    公开(公告)号：WO00025342A1

    公开(公告)日：2000-05-04

    申请号：PCT/US1999/025239

    申请日：1999-10-27

    IPC: G21K5/02 ,  H01J3/12 ,  H01J35/04 ,  H01J35/06 ,  H01J35/14

    CPC classification number: H01J35/06 ,  H01J3/12 ,  H01J35/14

    Abstract: A variable spot size x-ray tube comprises a cathode having an electron emitting surface providing an electron beam that travels essentially along the tube axis of symmetry to an anode. The anode, spaced from the cathode, includes a target, the front surface of which is disposed at an oblique angle with respect to the axis of symmetry. The potential of the anode is generally positive with respect to that of the cathode. The cathode is heated to a temperature at which electrons are emitted by the thermionic emission process. Current from the cathode can be controlled by varying the cathode temperature if the cathode is operated in the temperature limited region. The incident electron beam forms a spot on the target surface (38) whereupon x-rays are produced in response to impingement of the electron beam on the target. The x-rays propagate outwardly from the target spot through a vacuum window (42) to form a beam of x-radiation outside the x-ray tube. An aperture grid (18) is disposed between the cathode and the anode, and has a central aperture permitting the electron beam to pass therethrough. The aperture grid further has a variable voltage applied to it which may be positive, negative, or equal to the potential of the cathode. The voltage on the control grid is used to control the diameter of the electron beam which impinges upon the target. Specifically, the electron beam diameter varies in correspondence with the variable aperture grid voltage, and selective variation of the electron beam diameter results in a corresponding variation in size of the x-ray imaging spot.

    Abstract translation: 可变点尺寸x射线管包括具有电子发射表面的阴极，该电子发射表面提供基本上沿着管对称轴线向阳极行进的电子束。 与阴极间隔开的阳极包括靶，其前表面相对于对称轴线倾斜设置。 阳极的电位通常相对于阴极的电位为正。 将阴极加热到通过热离子发射过程发射电子的温度。 如果阴极在温度限制区域中运行，则可以通过改变阴极温度来控制来自阴极的电流。 入射电子束在目标表面（38）上形成一个点，随后响应于电子束撞击目标物而产生X射线。 x射线从目标点向外传播通过真空窗（42），以在x射线管外部形成x辐射束。 孔栅格（18）设置在阴极和阳极之间，并且具有允许电子束通过的中心孔。 孔径栅格还具有施加到其上的可变电压，其可以是正的，负的或等于阴极的电位。 控制网格上的电压用于控制撞击目标的电子束的直径。 具体地，电子束直径与可变孔径栅极电压相对应地变化，并且电子束直径的选择性变化导致x射线成像光斑的尺寸的相应变化。

    CATHODE ASSEMBLY FOR A LINE FOCUS ELECTRON BEAM DEVICE
    7.
    发明申请
    CATHODE ASSEMBLY FOR A LINE FOCUS ELECTRON BEAM DEVICE 审中-公开
    用于线聚焦电子束装置的CATHODE组件

    公开(公告)号：WO1997027612A1

    公开(公告)日：1997-07-31

    申请号：PCT/US1996020703

    申请日：1996-12-26

    Applicant: AMERICAN INTERNATIONAL TECHNOLOGIES, INC.

    Inventor： AMERICAN INTERNATIONAL TECHNOLOGIES, INC. ,  WAKALOPULOS, George

    IPC: H01J29/70

    CPC classification number: H01J3/12 ,  H01J33/02

    Abstract: An electron beam device (10) has a cathode (34) that generates a fan-shaped electron beam. A first focusing lens (44, 46, 48, 50) includes first (48) and second (50) plates on opposed sides of a filament. The edges of the plates closest to a positively charged anode (20) are arcuate, so that as individual electrons are accelerated normal to the edge of the charged plates, the beam (60) increases in length with departure from the filament. A second focusing lens includes third (44) and fourth (46) plates on opposed sides of the first focusing lens. Each of the third and fourth plates has an arcuate edge proximate to the positively charged anode. The plates of the first and second focusing lenses provide focusing in a widthwise direction, while defining the increase in the lengthwise direction. The curvature of the plates of the first focusing lens defines a common radius with the plates of the second focusing lens.

    Abstract translation: 电子束装置（10）具有产生扇形电子束的阴极（34）。 第一聚焦透镜（44,46,48,50）包括在灯丝的相对侧上的第一（48）和第二（50）板。 最接近正电荷的阳极（20）的板的边缘是弧形的，使得随着各个电子垂直于带电板的边缘被加速，梁（60）的长度随灯丝的长度而增加。 第二聚焦透镜在第一聚焦透镜的相对侧上包括第三（44）和第四（46）板。 第三和第四板中的每一个具有靠近带正电的阳极的弧形边缘。 第一和第二聚焦透镜的板在宽度方向上提供聚焦，同时限定长度方向上的增加。 第一聚焦透镜的板的曲率与第二聚焦透镜的平板形成共同的半径。

    電子銃、電子銃の制御方法および制御プログラム並びに３次元造形装置
    8.
    发明申请
    電子銃、電子銃の制御方法および制御プログラム並びに３次元造形装置 审中-公开
    电子枪，电子枪控制方法和控制程序，以及三维扫描装置

    公开(公告)号：WO2016110996A1

    公开(公告)日：2016-07-14

    申请号：PCT/JP2015/050460

    申请日：2015-01-09

    Applicant: 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構

    Inventor： 佐藤　崇

    IPC: H01J37/06 ,  H01J37/04

    CPC classification number: H01J37/065 ,  B22F3/1055 ,  B22F2003/1056 ,  B22F2003/1057 ,  B22F2999/00 ,  B33Y30/00 ,  H01J3/08 ,  H01J3/12 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/0653 ,  Y02P10/295 ,  B22F2203/03 ,  B22F2202/06 ,  B22F2202/11

    Abstract: 　エミッション電流を変化させた場合に、電子ビームの輝度の低下を防止することを目的とする。電子銃であって、熱電子を放出するカソード（１１１）と、前記熱電子を集束するウェネルト電極（１１２）と、前記カソード（１１１）の先端から前記熱電子を引き出す制御電極（１１３）と、前記熱電子を加速して、電子ビームとして粉体に照射するアノード（１１４）と、前記ウェネルト電極（１１２）に印加するバイアス電圧および前記制御電極（１１３）に印加する制御電極電圧の少なくともいずれか一方を変化させることにより、前記電子ビームの輝度がピークを形成する、前記バイアス電圧と前記制御電極電圧との組合せを決定する最適条件収集制御手段（１０５）と、を備えた。

    Abstract translation: 本发明的目的是防止当发射电流改变时电子束的亮度降低。 电子枪包括用于发射热电子的阴极（111），用于聚焦热电子的Wehnelt电极（112），用于从阴极（111）的前端拉出热电子的控制电极（113）， 阳极（114），其中热电子被加速并作为电子束照射到粉末上，以及最佳条件收集控制装置（105），其改变施加到Wehnelt电极（112）的偏置电压和 施加到控制电极（113）的控制电极电压，以便确定偏置电压和电子束的亮度形成峰值的控制电极电压的组合。

    収差補正装置およびそれを用いた荷電粒子線装置
    10.
    发明申请
    収差補正装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 审中-公开
    剥离校正装置和充电的粒子束装置

    公开(公告)号：WO2012014870A1

    公开(公告)日：2012-02-02

    申请号：PCT/JP2011/066919

    申请日：2011-07-26

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  平山 陽一

    Inventor： 平山　陽一

    IPC: H01J37/153 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J3/12 ,  H01J37/153 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2802

    Abstract: 　透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）／走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）で共用可能な収差補正装置およびそれを用いた荷電粒子線装置を提供するために、収差補正装置１において、ＴＥＭ用対物レンズ６ａとＳＴＥＭ用対物レンズ６ｂとの間に、ＴＥＭ用対物レンズ６ａのコマフリー面１１を多極子レンズ３に転写するための転写レンズ群４、５と、ＴＥＭ用対物レンズのコマフリー面１１を多極子レンズ２に転写するための転写レンズ群７、８と、ＳＴＥＭ用対物レンズ６ｂの５次の球面収差を補正するための転写レンズ１３とを備える。

    Abstract translation: 为了提供与隧道电子显微镜（TEM）和扫描隧道电子显微镜（STEM）共同使用的使用其的像差校正装置和带电粒子束装置，像差校正装置（1）包括在TEM物镜 （6a）和STEM物镜（6b）：用于将TEM物镜（6a）的无消耗表面（11）传送到多极透镜（3）的转印透镜组（4,5）; 用于将TEM物镜的无彗形面传递到多极透镜的转印透镜组（7,8）; 以及用于校正STEM物镜（6b）的五阶球面像差的转印透镜（13）。

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