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    에피텍셜 웨이퍼 제조 방법 및 장치
    3.
    发明申请
    에피텍셜 웨이퍼 제조 방법 및 장치 审中-公开

    公开(公告)号：WO2018117402A1

    公开(公告)日：2018-06-28

    申请号：PCT/KR2017/012416

    申请日：2017-11-03

    Applicant: 에스케이실트론 주식회사

    Inventor： 김인천

    IPC: H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/683 ,  H01L21/78 ,  H01L21/687 ,  H01L21/306 ,  H01L21/304

    CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/78

    Abstract: 실시 예에 의하면, 서셉터에 웨이퍼가 안착된 상태에서 웨이퍼에 에피층을 형성하는 에피텍셜 웨이퍼 제조 방법은 웨이퍼의 전체 두께 편차를 상쇄시킬 수 있도록 매칭된 두께 프로파일을 갖는 에피층의 에피 공정 조건을 웨이퍼의 두께 타입 별로 미리 설정하는 단계와, 서셉터에 안착된 웨이퍼의 센터 영역에서의 제1 두께 편차와 에지 영역에서의 제2 두께 편차를 이용하여, 웨이퍼의 두께 타입을 결정하는 단계 및 미리 설정된 에피 공정 조건 중에서, 결정된 두께 타입에 해당하는 에피 공정조건으로 웨이퍼에 에피층을 형성하는 단계를 포함하고, 에피 공정 조건은 캐리어 가스의 공급량, 소스 가스의 공급량, 가스 공급 밸브의 개/폐 정도, 서셉터의 회전 속도 또는 서셉터의 높이 중 적어도 하나를 포함한다.

    保持装置、検査装置、検査方法、樹脂封止装置、樹脂封止方法及び樹脂封止品の製造方法
    4.
    发明申请
    保持装置、検査装置、検査方法、樹脂封止装置、樹脂封止方法及び樹脂封止品の製造方法 审中-公开
    检查装置，检查方法，树脂密封装置，树脂密封方法和树脂密封物品的制造方法

    公开(公告)号：WO2018083918A1

    公开(公告)日：2018-05-11

    申请号：PCT/JP2017/035027

    申请日：2017-09-27

    Applicant: TOWA株式会社

    Inventor： 尾張　弘樹 ,  高田　直毅 ,  白澤　賢典 ,  中尾　聡 ,  高田　準子

    IPC: H01L21/683 ,  H01L21/56 ,  H05K13/04 ,  H05K13/08

    CPC classification number: H01L21/56 ,  H01L21/683

    Abstract: 変形した対象物であっても対象物の変形を矯正し安定してテーブルに保持するために、保持装置は、対象物が載置されるテーブルと、テーブルに設けられ対象物を吸引する複数の吸引孔と、テーブルに設けられ複数の吸引孔の周囲を取り囲むシール材と、シール材が配置された位置において、対象物の周囲をテーブルに押圧する押圧部材と、複数の吸引孔に接続される減圧機構とを備える。

    Abstract translation: 为了矫正物体的变形并将其稳定地保持在桌子上，即使是变形的物体，保持装置也设置有放置物体的桌子和桌子 用于吸取物体的多个吸孔，设置在台上的多个吸孔周围的密封部件，用于在设置密封部件的位置处将物体的周边压靠在台上的压紧部件， 以及连接到多个抽吸孔的减压机构。

    貼合デバイスの真空貼り合わせ装置
    5.
    发明申请
    貼合デバイスの真空貼り合わせ装置 审中-公开
    用于粘合装置的真空粘合装置

    公开(公告)号：WO2018074013A1

    公开(公告)日：2018-04-26

    申请号：PCT/JP2017/024492

    申请日：2017-07-04

    Applicant: 信越エンジニアリング株式会社

    Inventor： 佐藤　謙司 ,  大谷　義和

    IPC: B32B37/10 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/683

    CPC classification number: B32B37/10 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/683

    Abstract: 貼り合わせ空間の気圧変化及び温度変化による第一ワークと第二ワークの位置ズレを防止する。第一ワークの第一ワーク保持面を有する第一保持部材と、第一ワーク保持面と貼り合わせ空間を挟んで対向し且つ第二ワークの第二ワーク保持面を有する第二保持部材と、第一保持部材又は第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を相対的に接近移動させる接離用駆動部と、貼り合わせ空間から気体を外部空間に排出して貼り合わせ空間を大気雰囲気から減圧雰囲気まで調整する室圧調整部と、接離用駆動部及び室圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、第一ワーク保持面又は第二ワーク保持面のいずれか一方か若しくは両方は、第一ワーク又は第二ワークのうち一方或いは両方の非貼合面と対向して着脱自在に接触するように形成される複数の凸状部と、複数の凸状部の隣に非貼合面と対向するように形成される複数の凹溝部と、を有し、複数の凸状部及び複数の凹溝部は、第一ワーク保持面又は第二ワーク保持面のいずれか一方か若しくは両方の全体に亘って、複数の凸状部及び複数の凹溝部が非貼合面の交差する方向へ等方性を有する配置に並べられ、複数の凸状部に対する非貼合面の接触状態で、複数の凹溝部が貼り合わせ空間と外部空間をそれぞれ連通する通気路であり、制御部は、室圧調整部による貼り合わせ空間の減圧時及び大気解放時において、通気路により気体を非貼合面の交差する方向へそれぞれ同様に流動させるように制御する。

    Abstract translation:

    结合，以防止第一工件和第二工件的位置偏移由压力变化和在该空间中的温度变化。 具有所述第一工件的第一工件保持表面的第一保持部件，以及具有第二工件保持横跨保持表面接合到所述第一工件的空间面相对，第2工件的第二夹持构件，所述 压力的气氛和一个保持构件或者连接和驱动单元断开任一者或两者的第二保持部件的相对接近运动的，键合到从接合空间气体从环境大气排放到外部空间中的空间 其调整到控制压和分离驱动部及压力调节单元的操作的控制单元的腔室压力调节部分包括一个或两个所述第一工件保持面或第二工件保持面， 第一工件或多个形成为可拆卸地接触相对的一个或两个第二工件的所述非粘结配合面的，非层压表面的凸部的旁边的多个凸部的 多个凹槽部分形成为彼此相对， 有多个凸部和多个凹槽部是在整个之一或两者的第一工件保持面或第二工件保持面，多个凸部和多个凹槽部的 设置在布置在一个方向交叉的非接合的配合表面是各向同性的，与所述非粘结配合表面接触的多个凸部的，对于每一个连通空间和外部空间西装多个凹槽部的通风粘结 路，所述控制单元，压力减小期间和由腔室压力调节装置接合所述空气开口空间中被控制，使得在每一个方向交叉的气体非层压表面通过通风路径类似地流动。

    ウエハ加工用テープ
    8.
    发明申请
    ウエハ加工用テープ 审中-公开
    晶圆加工胶带

    公开(公告)号：WO2017150330A1

    公开(公告)日：2017-09-08

    申请号：PCT/JP2017/006810

    申请日：2017-02-23

    Applicant: 古河電気工業株式会社

    Inventor： 大田　郷史 ,  阿久津　晃

    IPC: H01L21/301 ,  C09J7/02 ,  C09J201/00 ,  H01L21/683

    CPC classification number: H01L21/683 ,  C09J7/20 ,  C09J201/00

    Abstract: プレカット加工されたウエハ加工用テープをロール状態で保管したときに、ラベル部がウエハ加工用テープの背面とブロッキングするのを抑制し、ロール状態からラベル部を良好に繰り出すことができるウエハ加工用テープを提供する。　長尺の離型フィルム１１と、離型フィルム１１の第１の面１１ａ上に設けられたリングフレームＲに対応する所定形状を有するラベル部１２ａと、ラベル部１２ａの外側を囲むような周辺部１２ｂとを有する粘着フィルム１２と、離型フィルム１１の短手方向両端部であって、粘着フィルム１２が設けられた第１の面１１ａとは反対の第２の面１１ｂ上に設けられた支持部材１３とを有し、粘着フィルム１２は離型フィルム１１に接触していない側の算術表面粗さＲａが０．３μｍ以下であり、支持部材１３は厚さが３０～１５０μｍであることを特徴とする。

    Abstract translation: 当预切割处理的晶片处理带以卷绕状态存储时，可以防止标签部分与晶片处理带的后表面阻塞， 哪些可以送出。 细长脱模的脱模膜11和具有对应于设置在膜11上，围绕标签部12a的外侧周边部分的R中的第一表面11a上的环帧中的规定形状的标签部12a 在剥离膜11的短边方向的两端设置有粘接膜12的第一面11a的相反侧的第二面11b上设置的粘接膜12 和部件13，粘接膜12位于不与离型膜11的下方0.3μm的接触的一侧的算术表面粗糙度Ra，其特征在于，所述支撑部件13是为30〜150微米厚的 到。

    静電チャック装置
    9.
    发明申请
    静電チャック装置 审中-公开
    静电吸盘装置

    公开(公告)号：WO2017130827A1

    公开(公告)日：2017-08-03

    申请号：PCT/JP2017/001703

    申请日：2017-01-19

    Applicant: 住友大阪セメント株式会社

    Inventor： 伊藤　智海 ,  三浦　幸夫

    IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

    CPC classification number: B23Q3/15 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

    Abstract: 本発明は、一主面を、板状試料を載置する載置面とするとともに静電吸着用内部電極を内蔵した静電チャック部２と、静電チャック部２の前記載置面と反対側の面に間隙を有するパターンで接着された加熱部材５０と、シート材６と、静電チャック部２を冷却する機能を有するベース部１０とをこの順に備え、静電チャック部２と加熱部材５０との間に、層厚が１０μｍ以上２００μｍ未満であり、かつショア硬度（Ａ）が１０～７０であるシリコーン樹脂シート５２を有する静電チャック装置１００である。

    Abstract translation: 本发明的特征在于，一个主面是放置板状样品的载置面和内置有静电吸附用内部电极的静电吸盘部2，静电吸盘部 如图2所示，加热构件50以与载置面相反侧的面具有间隙的方式粘接，薄片构件6和具有依次冷却静电吸盘部2的功能的基部10， 静电吸盘装置100在静电吸盘部2与加热部件50之间具有层厚10μm以上且小于200μm且肖氏硬度（A）为10〜70的硅树脂片52。

    載置部材
    10.
    发明申请
    載置部材 审中-公开
    安装件

    公开(公告)号：WO2017122619A1

    公开(公告)日：2017-07-20

    申请号：PCT/JP2017/000437

    申请日：2017-01-10

    Applicant: 日東電工株式会社

    Inventor： 増田　将太郎 ,  市川　智昭 ,  前野　洋平

    IPC: H01L21/677 ,  B82Y30/00 ,  C01B32/152 ,  C01B32/158 ,  H01L21/683

    CPC classification number: B82Y30/00 ,  C01B32/152 ,  C01B32/158 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683

    Abstract: グリップ力および耐熱性に優れながら、かつ、低発塵性に優れ、被載置物を汚染しがたい載置部材を提供する。　１つの実施形態においては、本発明の載置部材は、載置面が、カーボンナノチューブの集合体から構成され、該カーボンナノチューブの直径の標準偏差が、３ｎｍ以下である。１つの実施形態においては、本発明の載置部材は、載置面が、カーボンナノチューブの集合体から構成され、該カーボンナノチューブ集合体が多層構造のカーボンナノチューブを含み、該カーボンナノチューブの層数の標準偏差が、３以下である。

    Abstract translation: 提供一种握持力和耐热性优异，低发尘性优异，不易污染放置物的载置部件。 在一个实施方案中，本发明的安装构件，所述安装表面是由碳纳米管的集合体，直径的碳纳米管的的标准偏差是3纳米或更小。 在一个实施方案中，本发明的安装构件，所述安装表面是由碳纳米管的集合体，该碳纳米管集合体包括一个多层结构的碳纳米管，碳纳米管的层数 标准偏差为3或更小。

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