公开(公告)号：WO2017075934A1

公开(公告)日：2017-05-11

申请号：PCT/CN2016/077104

申请日：2016-03-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈汉元 ,  秦应雄 ,  彭浩 ,  万辰皓 ,  龙思琛 ,  巫详曦 ,  唐霞辉

IPC: H01S3/0941 ,  H01S3/0977

CPC classification number: H01S3/0323 ,  H01S3/034 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0388 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/0405 ,  H01S3/0407 ,  H01S3/041 ,  H01S3/094084 ,  H01S3/0941 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/0943 ,  H01S3/09713 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/2207

Abstract: 一种半导体激光泵浦放电气体激光器，包括半导体激光器（1），光学整形系统（2），电极对（4），放电管（5），匹配网络（7），射频电源（8），尾镜（9）和输出镜（10）。放电管内充有工作气体，电极对平行对称放置于放电管外，半导体激光为泵浦光，泵浦光中心波长与放电管内工作气体射频放电后产生的气体粒子吸收谱线相匹配，从放电管与电极对之间的侧面注入至放电管内。放电管内腔具有对半导体泵浦激光的高反特性。这样，可以有效克服高功率连续单模激光、高功率皮秒飞秒激光的非线性效应，降低碱金属蒸汽激光器对人和环境的不利影响，同时可以实现具有高脉冲能量、高光束质量、高量子效率、高泵浦效率、良好的大气与光纤传输特性的超高功率激光输出。

公开(公告)号：WO2015192268A1

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：PCT/CN2014/000601

申请日：2014-06-18

Applicant: 徐海军

Inventor： 徐海军

IPC: H01S3/034

CPC classification number: H01S3/034

Abstract: 一种二氧化碳气体激光管及其制备方法，所述二氧化碳气体激光管，包括激光镜片（1，11）和玻璃管（20），其特征在于，所述激光镜片（1，11）通过与所述玻璃管（20）的端口膨胀系数相匹配的金属环固定密封连接至所述玻璃管的端口，所述金属环设置在所述激光镜片与所述玻璃管的端口之间，其中，所述金属环包括固定密封连接的可伐部（14）、镜座部（12）、薄片部（32），可伐部（14）与所述玻璃管（20）的端口密封烧结，激光镜片（1，11）胶粘在薄片部（32）上，薄片部（32）为环状金属薄片结构。

公开(公告)号：WO2013107660A1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：PCT/EP2013/050053

申请日：2013-01-03

Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH

Inventor： DINGER, Udo

IPC: H05G2/00 ,  G02B26/06

CPC classification number: H01S3/034 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  G02B7/008 ,  G02B7/1815 ,  G02B27/0025 ,  G03F7/702 ,  H05G2/008

Abstract: Ein Strahlführungssystem (4) dient zur fokussierenden Führung von Strahlung (3) einer Hochleistungs-Laserlichtquelle (2) hin zu einem Target (5). Das Strahlführungssystem (4) hat mindestens einen Spiegel (7) als reflektive Strahlführungskomponente und mindestens eine für die Strahlung (3) zumindest partiell durchlässige Transmissions-Komponente (9) als refraktive Strahlführungskomponente. Die Anordnung des mindestens einen Spiegels (7) und der mindestens einen Transmissions-Komponente (9) ist derart, dass sich strahlinduzierte Änderungen an den Strahlführungseigenschaften des mindestens einen Spiegels (7) durch strahlinduzierte Änderungen an den Strahlführungseigenschaften der mindestens einen Transmissions-Komponente (9) zumindest teilweise kompensieren. Es resultiert ein Strahlführungssystem, bei dem sich strahlinduzierte Änderungen an den Strahlführungseigenschaften des Strahlführungssystems nicht störend auf die fokussierende Führung der Strahlung der Laserlichtquelle auswirken.

Abstract translation: 光束导引系统（4）用于引导辐射的聚焦的高功率激光源（2）到目标（3）（5）。 光束导引系统（4）具有至少一个反射镜（7），其为波束反射导引元件与该辐射（3）至少部分可渗透传输部件（9），其为波束折射率导引元件中的至少一个。 所述至少一个反射镜（7）和所述至少一个传输部件的装置（9）是这样的，在光束射线诱导的变化引导通过光束引导所述至少一个传输部件的性能射线诱导的变化的至少一个反射镜（7）的性质（9 ）至少部分地补偿。 其结果是光束引导系统，其中，在所述光束导向光束导引系统的性能射线引起的变化不与辐射的聚焦干扰引导激光光源。

公开(公告)号：WO2012025836A2

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：PCT/IB2011002842

申请日：2011-07-11

Applicant: CHIVEL YURI ALEKSANDROVICH

Inventor： CHIVEL YURI ALEKSANDROVICH

IPC: H01S3/097

CPC classification number: H01S3/034 ,  H01S3/03 ,  H01S3/07 ,  H01S3/0813 ,  H01S3/082 ,  H01S3/09775 ,  H01S3/2232 ,  H01S3/2383

Abstract: The invention relates to the field of laser physics and laser technology and can be used in the development and production of laser-based plasma chemical systems. The method for obtaining an optical discharge in a gas comprises the optical breakdown of a gas to produce an absorbing plasma region and the maintaining of said region in the beam of a laser throughout the active period thereof. The method is novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in a laser resonator. The method is also novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in an additional resonator of a three-mirror laser resonator. The method is also novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in the focal region of a focused conical laser beam. The method is also novel in that the breakdown of a gas to produce a plasma region and the maintaining of said region is carried out in the focal region of a three-dimensional laser beam. The device for obtaining an optical discharge in a gas comprises a laser which is optically coupled to a focusing lens. The device is novel in that it additionally comprises a laser which is optically coupled to a focusing lens and a system for generating a circular beam in the form of a reflective axicon and a conical mirror, as well as a conical swivel mirror, wherein the angle of convergence of the conical beam is equal to 180°. The device is also novel in that it additionally comprises a laser in the form of a set of disk or diode laser segments situated on the surface of a sphere with a centre at the point at which the optical axes of said laser segments intersect.

Abstract translation: 本发明涉及激光物理和激光技术领域，可用于开发和生产基于激光的等离子体化学系统。 用于获得气体中的光放电的方法包括气体的光学击穿以产生吸收等离子体区域，并且在其整个活动时段内保持激光束中的所述区域。 该方法的新颖之处在于，产生等离子体区域的气体的分解和所述区域的维持在激光谐振器中进行。 该方法的新颖之处在于，在三镜式激光谐振器的附加谐振器中进行产生等离子体区域的气体的击穿和所述区域的维持。 该方法的新颖之处在于，在聚焦的圆锥形激光束的聚焦区域中进行气体的击穿以产生等离子体区域和所述区域的维持。 该方法还是新颖的，即在三维激光束的焦点区域中进行气体的分解以产生等离子体区域和维持所述区域。 用于获得气体中的光放电的装置包括光学耦合到聚焦透镜的激光器。 该装置是新颖的，其还包括光学地耦合到聚焦透镜的激光器和用于产生呈反射轴向晶圆和锥形反射镜形式的圆形光束的系统以及锥形旋转镜，其中角度 锥形束的会聚等于180°。 该器件还是新颖的，其还包括位于球体表面上的一组盘或二极管激光器段形式的激光器，其中心在所述激光器段的光轴相交的点处。

公开(公告)号：WO2009125745A1

公开(公告)日：2009-10-15

申请号：PCT/JP2009/057064

申请日：2009-04-06

Applicant: ギガフォトン株式会社 ,  永井 伸治 ,  吉田 文香 ,  若林 理 ,  柿崎 弘司

Inventor： 永井 伸治 ,  吉田 文香 ,  若林 理 ,  柿崎 弘司

IPC: H01S3/034 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01S3/034 ,  G02B1/02 ,  G02B5/3091 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/08054 ,  H01S3/0816 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251

Abstract: 　機械応力（ウインドウホルダやレーザガス圧力）及び光の吸収による熱応力等により破損する現象を低減し、出力レーザの直線偏光度を高くすると共に、強い紫外線（特にＡｒＦ）レーザ光照射による劣化を抑制するフッ化カルシウム結晶を用いたガス放電チャンバを提供する。ガス放電チャンバの第１ウィンドウ（２）及び第２ウィンドウ（３）は、入射平面及び射出平面がフッ化カルシウム結晶の（１１１）結晶面に平行であり、チャンバ（１）内部から見て、フッ化カルシウム結晶内に入射したレーザ光が、第１ウィンドウ（２）及び第２ウィンドウ（３）それぞれの＜１１１＞軸と＜００１＞軸を含む面を通過する配置に対して、第１ウィンドウ（２）及び第２ウィンドウ（３）は、＜１１１＞軸を中心として同じ角度回転した位置に設置されることを特徴とする。

Abstract translation: 公开了一种使用氟化钙晶体的气体放电室，减少了机械应力（窗口支架或激光气体压力）的损伤和光吸收的热应力，增加了输出激光器的线性极化，并抑制了强烈的紫外线 （特别是ArF）激光照射。 气体放电室的第一窗口（2）和第二窗口（3）的入射面和出射面与氟化钙晶体的（111）晶面平行。 对于进入氟化钙晶体内部的激光穿过包括第一窗口（2）和第二窗口（3）的<111>轴和<001>轴的平面的布置，从内部观察 （1），第一窗口（2）和第二窗口（3）设置在以<111>轴为中心的相同角度旋转的位置。

公开(公告)号：WO2008010927A2

公开(公告)日：2008-01-24

申请号：PCT/US2007/015653

申请日：2007-07-09

Applicant: CYMER, INC. ,  MELCHIOR, John, T. ,  UJAZDOWSKI, Richard, C. ,  HOWEY, James, K.

Inventor： MELCHIOR, John, T. ,  UJAZDOWSKI, Richard, C. ,  HOWEY, James, K.

IPC: H01S3/08

CPC classification number: H01S3/034 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/225

Abstract: A window assembly for a pressurized laser discharge chamber is disclosed and may include a housing that is formed with a recess. The assembly may also include an optic having a first side that is exposed to chamber pressure and an opposed second side, and a compliant member that may be positioned in the recess to space the second side of the optic from the housing under normal chamber operating pressures. For the assembly, the compliant member may be compressible to allow the optic to mechanically abut the assembly housing during a chamber overpressure.

Abstract translation: 公开了一种用于加压激光放电室的窗组件，其可以包括形成有凹部的壳体。 该组件还可以包括具有暴露于腔室压力的第一侧和相对的第二侧的光学部件，以及柔性构件，该柔性构件可以定位在凹槽中以在正常室操作压力下将光学器件的第二侧与壳体隔开 。 对于该组件，柔性构件可以是可压缩的以允许光学元件在腔室超压期间机械地邻接组件壳体。

公开(公告)号：WO2005070160A2

公开(公告)日：2005-08-04

申请号：PCT/US2005/000882

申请日：2005-01-12

Applicant: LITELASER L.L.C. ,  MONTY, Nathan, Paul

Inventor： MONTY, Nathan, Paul

IPC: H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/038 ,  H01S3/063 ,  H01S3/07 ,  H01S3/097

CPC classification number: H01S3/0315 ,  H01S3/034 ,  H01S3/038 ,  H01S3/076 ,  H01S3/0804 ,  H01S3/0971

Abstract: A laser chamber is provided that increases power, initiation, and discharge efficiency over single chamber lasers by providing a multi-fold laser chamber, protrusions, discharge segmentation and inversion techniques.

Abstract translation: 提供了通过提供多重激光室，突起，放电分割和反转技术来增加单室激光器的功率，启动和放电效率的激光室。

公开(公告)号：WO02071555A9

公开(公告)日：2003-12-18

申请号：PCT/US0206235

申请日：2002-03-01

Applicant: CORNING INC

Inventor： PELL MICHAEL A ,  SMITH CHARLENE M ,  THEN PAUL M ,  SPARROW ROBERT W

IPC: C30B29/12 ,  C30B11/00 ,  H01S3/02 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  H01S3/225

CPC classification number: H01S3/225 ,  C30B11/00 ,  C30B29/12 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106

Abstract: The invention provides a greater than or equal to 4 khz repetition rate argon fluoride excimer laser system for providing a uv 193 nm wavelength output. The greater than or equal to 4 khz repetition rate argon fluoride excimer laser system includes an argon fluoride excimer laser chamber (22) for producing a 193 nm discharge at a pulse repetition rate greater than or equal to 4 khz. The greater than or equal to 4 khz repetition rate argon fluoride excimer laser chamber (22) includes magnesium fluoride crystal optic windows (20) for outputting the 193 nm output (24) with the magnesium fluoride crystal optic windows (20) having a 255 nm induced absorption less than .08 Abs/42mm when exposed to 5 million pulses pfd 193 nm light at a fluence greater than or equal to 40 mj/cm/pulse and a 42 mm crystal 120nm transmission of at least 30%.

Abstract translation: 本发明提供大于或等于4khz的重复率氩氟化物准分子激光系统，用于提供193nm波长的紫外输出。 大于或等于4khz的重复率氩氟化物准分子激光系统包括用于以大于或等于4khz的脉冲重复率产生193nm放电的氟化氢准分子激光室（22）。 大于或等于4khz的重复率氩氟化物准分子激光室（22）包括氟化镁晶体光学窗口（20），用于输出具有255nm的氟化镁晶体光学窗口（20）的193nm输出（24） 诱导吸收小于.08 Abs / 42mm，当暴露于500万脉冲pfd 193nm光时，注量大于或等于40mj / cm /脉冲，42mm晶体120nm透射率至少为30％。

公开(公告)号：WO2002075865A2

公开(公告)日：2002-09-26

申请号：PCT/US2002/008108

申请日：2002-03-18

Applicant: NUTFIELD TECHNOLOGIES, INC. ,  MORROW, Clifford, E.

Inventor： MORROW, Clifford, E.

IPC: H01S

CPC classification number: H01S3/0305 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0813 ,  H01S3/0815 ,  H01S3/0816 ,  H01S3/2222 ,  H01S3/2232 ,  Y10T156/1064

Abstract: A monolithic ceramic waveguide laser body is made by forming and grinding two or more plates of alumina ceramic to produce internal and external features otherwise impossible to fabricate in a single ceramic body. The plates are bonded together by use of glass frit or by self-friting (diffusion bonding) methods to achieve a vacuum tight enclosure. The ceramic surfaces to be bonded have an "as ground" finish. One internal structure created by this method includes a channel of dimensions from 8 to 1.5 mm square or round that confines an RF or DC electrical discharge and comprises a laser resonator cavity. The channel can be ground to form a "V", "U" or "Z" shape folded cavity. Another internal structure is a gas reservoir connected to the resonator cavity. Various other important features are described that can only be created by this method of building a laser. The plates are bonded together in a furnace at temperatures ranging between 450 °C and 1700 °C, depending on the method used.

Abstract translation: 通过形成和研磨两个或更多个氧化铝陶瓷的平板1,2来制造单片陶瓷波导激光器体，以产生内部的5,6,7,8和外部特征，否则其不可能在单个陶瓷体中制造。 这些板通过使用玻璃料或通过自熔混合扩散接合方法结合在一起以实现真空密封外壳。 要结合的陶瓷表面具有“一样接地”的表面。 通过该方法产生的一个内部结构包括尺寸为8至1.5mm正方形或圆形的通道6，其限定RF或DC放电并且包括激光谐振腔。 通道可以被研磨以形成“V”，“U”或“Z”形折叠腔。 另一内部结构是连接到谐振器腔的气体储存器7。 描述了只能通过这种建立激光的方法创建的各种其它重要特征。 根据使用的方法，将板在炉中在450摄氏度和1700摄氏度之间的温度下结合在一起。

公开(公告)号：WO0195441A9

公开(公告)日：2002-02-14

申请号：PCT/GB0102616

申请日：2001-06-08

Applicant: RENISHAW PLC ,  PRATT ROLAND HENRY

Inventor： PRATT ROLAND HENRY

IPC: G01B11/00 ,  G01B9/02 ,  H01S3/034 ,  H01S3/104 ,  H01S3/22

CPC classification number: H01S3/034 ,  G01B9/02003 ,  H01S3/104 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2222

Abstract: An optical apparatus e.g. an interferometric displacement determination device; spectroscopic analysis apparatus; polarisation measurement apparatus; or a heterodyne frequency measurement device has a linear HeNe gas laser having an Ne content of an Ne isotope and an Ne isotope in substantially equal proportions, the apparatus in use having optical feedback toward the laser causing, 0.1 % or more of the light output of the laser to be returned toward the laser (1). Use of this type of laser provides good polarisation stability even though excessive backreflection may occur, and hence the laser's frequency can be readily controlled.

Abstract translation: 光学装置 干涉位移确定装置; 光谱分析仪器; 极化测量装置; 或外差频测量装置具有基本上相等比例的具有Ne含量的Ne 20同位素和Ne 22族同位素的线性HeNe气体激光器，所述使用的装置具有朝向激光器的光学反馈，0.1％或 更多的激光的光输出将朝向激光器（1）返回。 使用这种类型的激光器即使发生过度的背反射也提供良好的极化稳定性，因此可以容易地控制激光器的频率。