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公开(公告)号:WO2019019204A1
公开(公告)日:2019-01-31
申请号:PCT/CN2017/095534
申请日:2017-08-02
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: F28D20/021 , F28F13/12 , F28F2250/08 , H01S3/0407 , H01S3/041 , Y02E60/145
Abstract: 一种储热单元,至少包括单层封闭壳体(2)。其中,封闭壳体(2)具有至少一个换热面(8,9)和非换热面,泡沫骨架(4)填充在其内部空间中。相变介质(6)均匀分布在泡沫骨架(4)的空隙中,与泡沫骨架(4)形成复合材料,以获得比单纯相变介质更高的导热系数。超声波发生装置(05)发出超声波,诱导由形状记忆合金制成的振动颗粒(3)产生振动,将液态相变介质(6)的流态由自然对流或纯导热转化为强制对流,同时利用超声波的空化和声流效应提高液态相变介质的对流表面传热系数,提高单位体积储热效率。
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公开(公告)号:WO2018218912A1
公开(公告)日:2018-12-06
申请号:PCT/CN2017/114630
申请日:2017-12-05
Applicant: 深圳市创鑫激光股份有限公司
CPC classification number: H01S3/0407 , H01S3/042
Abstract: 一种光纤激光器(200)及其液冷板(100),冷板(100)包括液冷板(100)本体和导向管(30),液冷板(100)本体内设置多个供循环流动冷却液体流动以带走热量的贯孔(10),导向管(30)连接于两个贯孔(10)之间,以使得多个贯孔(10)依次首尾相连,形成循环水道,以供冷却液体流动。由于不采用钻孔技术打通过多水道开口,因此,液冷板不产生水道封堵位置,也不存在封堵件占据过多的水冷板水道上的有效利用空间的问题;液冷板(100)本体一体成型,不采用侧面钻孔方式开设水道,加工较容易,工作量较小。
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3.HIGH-POWER PLANAR WAVEGUIDE (PWG) PUMPHEAD WITH MODULAR COMPONENTS FOR HIGH-POWER LASER SYSTEM 审中-公开
Title translation: 用于大功率激光系统的大功率平面波导(PWG)泵头,配有模块化组件公开(公告)号:WO2017091265A1
公开(公告)日:2017-06-01
申请号:PCT/US2016/049151
申请日:2016-08-26
Applicant: RAYTHEON COMPANY
Inventor: FILGAS, David M. , MCGANTY, Stephen H. , KOONTZ, Christopher R.
IPC: H01S3/063 , G02B6/42 , G02B27/09 , H01S3/094 , H01S3/0941 , H01S3/13 , H01S3/131 , H01S3/23 , H01S3/02 , H01S3/04 , H01S3/042
CPC classification number: H01S5/02423 , G02B6/00 , G02B6/0011 , G02B6/0081 , G02B6/0085 , G02B6/4204 , G02B6/4214 , G02B6/4296 , G02B27/0927 , G02B27/0994 , H01S3/025 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/0632 , H01S3/094057 , H01S3/09415 , H01S3/1301 , H01S3/1305 , H01S3/1307 , H01S3/1312 , H01S3/2308 , H01S5/02236 , H01S5/02296 , H01S5/041 , H01S5/2018
Abstract: A system includes a laser system having a master oscillator (102) and a planar waveguide (PWG) amplifier (104) having one or more laser diode pump arrays (208), a PWG pumphead (204-206, 308), input optics (202), and output optics (213, 214). The PWG pumphead is configured to receive a low-power optical beam (1102) from the master oscillator and generate a high-power optical beam (116). The PWG pumphead includes a laser gain medium (1110), a cartridge (206), and a pumphead housing (204). The cartridge is configured to receive and retain the laser gain medium, and the cartridge includes one or more cooling channels (1106-1108) configured to transport coolant in order to cool the laser gain medium. The pumphead housing is configured to receive and retain the cartridge, where the cartridge is removable from the housing.
Abstract translation: 系统包括具有主振荡器(102)和具有一个或多个激光二极管泵阵列(208)的平面波导(PWG)放大器(104)的激光系统,PWG泵头(204- 输入光学器件(202)和输出光学器件(213,214)。 PWG泵头配置为接收来自主振荡器的低功率光束(1102)并且生成高功率光束(116)。 PWG泵头包括激光增益介质(1110),盒(206)和泵头壳体(204)。 盒构造成接收和保持激光增益介质,并且盒包括构造成传输冷却剂以冷却激光增益介质的一个或多个冷却通道(1106-1108)。 泵头壳体构造成接收和保持墨盒,其中墨盒可从壳体移除。 p>
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公开(公告)号:WO2017075934A1
公开(公告)日:2017-05-11
申请号:PCT/CN2016/077104
申请日:2016-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/0941 , H01S3/0977
CPC classification number: H01S3/0323 , H01S3/034 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0388 , H01S3/0404 , H01S3/0405 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/094084 , H01S3/0941 , H01S3/09415 , H01S3/0943 , H01S3/09713 , H01S3/0975 , H01S3/2207
Abstract: 一种半导体激光泵浦放电气体激光器,包括半导体激光器(1),光学整形系统(2),电极对(4),放电管(5),匹配网络(7),射频电源(8),尾镜(9)和输出镜(10)。放电管内充有工作气体,电极对平行对称放置于放电管外,半导体激光为泵浦光,泵浦光中心波长与放电管内工作气体射频放电后产生的气体粒子吸收谱线相匹配,从放电管与电极对之间的侧面注入至放电管内。放电管内腔具有对半导体泵浦激光的高反特性。这样,可以有效克服高功率连续单模激光、高功率皮秒飞秒激光的非线性效应,降低碱金属蒸汽激光器对人和环境的不利影响,同时可以实现具有高脉冲能量、高光束质量、高量子效率、高泵浦效率、良好的大气与光纤传输特性的超高功率激光输出。
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公开(公告)号:WO2017005463A1
公开(公告)日:2017-01-12
申请号:PCT/EP2016/063621
申请日:2016-06-14
Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: JANSSEN, Franciscus, Johannes, Joseph , DE LA ROSETTE, Johannes, Paul, Marie , KADIJK, Edwin, Cornelis , LALLEMANT, Nicolas, Alban , LIEFOOGHE, Jan , MATTHES, Markus, Rolf, Werner , MUITJENS, Marcel, Johannus, Elisabeth, Hubertus , STEIJNS, Hubert, Matthieu, Richard , VAN DE VELDE, André, Gillis , VAN DEN BRINK, Marinus, Aart
IPC: G03F7/20 , B23K26/14 , H01S3/097 , H01S3/134 , H01S3/223 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/04 , H01S3/041
CPC classification number: G03F7/70891 , F28C1/08 , G03F7/70025 , G03F7/70033 , G03F7/708 , G03F7/70858 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/2232 , H01S3/2308 , H05G2/008
Abstract: A lithographic apparatus comprising an illumination system configured to condition a radiation beam, a support structure constructed to support a patterning device, the patterning device being capable of imparting the radiation beam with a pattern in its cross-section to form a patterned radiation beam, a substrate table constructed to hold a substrate, and a projection system configured to project the patterned radiation beam onto the substrate, the lithographic apparatus being provided with a first cooling fluid circuit which is configured to cool components to a first temperature, and provided with a second cooling fluid circuit which is configured to cool components to a second temperature that is lower than the first temperature.
Abstract translation: 一种光刻设备,包括被配置为调节辐射束的照明系统,构造成支撑图案形成装置的支撑结构,所述图案形成装置能够在其横截面中赋予辐射束图案以形成图案化的辐射束, 衬底台,其被构造成保持衬底;以及投影系统,被配置为将所述图案化的辐射束投影到所述衬底上,所述光刻设备设置有第一冷却流体回路,所述第一冷却流体回路被配置为将部件冷却至第一温度, 冷却流体回路,其构造成将部件冷却至低于第一温度的第二温度。
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公开(公告)号:WO2016143033A1
公开(公告)日:2016-09-15
申请号:PCT/JP2015/056831
申请日:2015-03-09
Applicant: ギガフォトン株式会社
Inventor: 梅田 博
CPC classification number: H01F27/322 , H01F27/12 , H01F27/16 , H01F27/324 , H01F38/023 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/225
Abstract: 磁気回路の小型化を図る。 高電圧パルス発生装置は、ガスレーザ装置のレーザチャンバ内に配置された1対の放電電極間にパルス状の高電圧を印加する高電圧パルス発生装置であって、磁気コアと、内部に冷媒流路を含み前記磁気コアの周囲を覆う絶縁部材と、前記絶縁部材の周囲に巻かれる巻線と、を含む磁気回路を備えてもよい。
Abstract translation: 本发明能够实现磁路的小型化。 提供一种高压脉冲发生装置,其在设置在气体激光装置的激光室内的一对放电电极之间施加脉冲高压,其中,高压脉冲发生装置也可以设置有磁路 包括:磁芯; 绝缘构件内部包括制冷剂通道并覆盖磁芯的周围; 以及缠绕在绝缘构件上的绕组。
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7.SYSTEM AND METHOD FOR COOLING A LASER GAIN MEDIUM USING AN ULTRA-THIN LIQUID THERMAL OPTICAL INTERFACE 审中-公开
Title translation: 使用超薄液体热光学接口冷却激光增益介质的系统和方法公开(公告)号:WO2016093944A1
公开(公告)日:2016-06-16
申请号:PCT/US2015/055014
申请日:2015-10-09
Applicant: RAYTHEON COMPANY
Inventor: FILGAS, David, M. , KOONTZ, Christopher, R.
IPC: H01S3/04
CPC classification number: H01S3/042 , H01S3/0407 , H01S3/1643
Abstract: A heat sink (106, 106a, 106b) for cooling a laser gain medium (102) includes a coolant channel (112, 112a, 112b), an inlet pore (118, 118a, 118b), an outlet pore (120, 120a, 120b), and a thermal optical interface (TOI) channel (114, 114a, 114b). The coolant channel is configured to receive a coolant for removing heat from the heat sink. The TOI channel is coupled to the coolant channel by the inlet pore and the outlet pore. The TOI channel is configured to receive a portion of the coolant through the inlet pore. The received portion forms an ultra-thin liquid TOI. The TOI channel is further configured to return a portion of the TOI through the outlet pore to the coolant channel.
Abstract translation: 用于冷却激光增益介质(102)的散热器(106,106a,106b)包括冷却剂通道(112,112a,112b),入口孔(118,118a,118b),出口孔(120,120a, 120b)和热光学接口(TOI)通道(114,114a,114b)。 冷却剂通道构造成接收用于从散热器移除热量的冷却剂。 TOI通道由入口孔和出口孔耦合到冷却剂通道。 TOI通道构造成通过入口孔接收一部分冷却剂。 接收的部分形成超薄液体TOI。 TOI通道还被配置成将TOI的一部分通过出口孔返回到冷却剂通道。
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公开(公告)号:WO2015186480A1
公开(公告)日:2015-12-10
申请号:PCT/JP2015/063602
申请日:2015-05-12
Applicant: ギガフォトン株式会社
CPC classification number: H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0384 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/09702 , H01S3/09713 , H01S3/134 , H01S3/225
Abstract: 放電効率を向上させる。 レーザチャンバは、第1空間と前記第1空間に連通する第2空間とを含むレーザチャンバであって、前記第1空間内に配置された第1放電電極と、前記第1空間内で前記第1放電電極に対向して配置された第2放電電極と、前記第1空間内に配置され、前記第1放電電極と前記第2放電電極との間にレーザガスを流すファンと、前記第2空間内に配置されたピーキングコンデンサと、前記第1空間と前記第2空間とを区切る電気絶縁部材であって、前記第1空間と前記第2空間との間を前記レーザガスが通気可能に配置された電気絶縁部材と、を備えてもよい。
Abstract translation: 本发明提高了排出效率。 一种激光室,包括与第一空间连通的第一空间和第二空间。 激光室还可以包括布置在第一空间内的第一放电电极,布置在第一空间内部以与第一放电电极相对的第二放电电极,布置在第一空间内的风扇, 第一放电电极和第二放电电极之间的激光气体,布置在第二空间内的峰值电容器,以及分隔第一空间和第二空间并且被配置为使得激光气体可以通过的电绝缘构件 在第一空间和第二空间之间。
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公开(公告)号:WO2015146317A1
公开(公告)日:2015-10-01
申请号:PCT/JP2015/053476
申请日:2015-02-09
Applicant: 富士フイルム株式会社
CPC classification number: H01S3/025 , A61B5/0095 , H01S3/0407 , H01S3/061 , H01S3/093 , H01S3/0931
Abstract: 固体レーザ装置及び固体レーザ装置を含む光音響計測装置において、レーザロッド中心とフラッシュランプ中心との距離を狭める。遮蔽蓋119は、ミラー114、115やレーザ光の光路を外部から遮蔽する。レーザチャンバの枠体の第1の部分151aは、遮蔽蓋119から露出する。レーザチャンバの枠体151に収容されるフラッシュランプは、枠体の第1の部分151aに対して抜き差し可能である。遮蔽蓋119の、レーザチャンバの枠体の第1の部分151aよりも長手方向外側で、レーザロッドから出射した光ビームの光路を覆う領域のうちの少なくとも一部に、厚みが遮蔽蓋119の他の部分の厚みよりも薄い薄膜部分120を有する。
Abstract translation: 公开了一种固体激光装置和包括固体激光装置的光声测量装置,其中激光棒中心和闪光灯中心之间的距离减小。 屏蔽罩(119)从外部屏蔽反射镜(114,115)和激光的光路。 激光室的框体的第一部分(151a)从屏蔽罩(119)露出。 容纳在激光室的框体(151)中的闪光灯可以从框体的第一部分(151a)中移除并插入到框体的第一部分(151a)中。 屏蔽罩(119)至少在屏蔽盖区域的一部分中具有厚度小于其它屏蔽罩(119)部分的厚度的薄膜部分(120),所述屏蔽盖区域在另一侧 朝向激光室框体的第一部分(151a)的纵向方向的外侧,并且覆盖从激光棒输出的光束的光路。
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公开(公告)号:WO2015068205A1
公开(公告)日:2015-05-14
申请号:PCT/JP2013/079912
申请日:2013-11-05
Applicant: ギガフォトン株式会社
CPC classification number: H01S3/036 , H01S3/03 , H01S3/0404 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/08009 , H01S3/08031 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/104 , H01S3/1306 , H01S3/134 , H01S3/2258
Abstract: レーザ装置は、前記レーザ装置によって消費される電力及び前記レーザ装置によって消費される電力量の少なくとも一つを表示するように構成されたディスプレイを含む、レーザ装置であってもよい。
Abstract translation: 激光装置可以包括被配置为显示由激光装置消耗的电功率和激光装置消耗的电能量中的至少一个的显示器。
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