一种立式石墨舟清洗设备及清洗方法
摘要:
本发明公开了一种立式石墨舟清洗设备及清洗方法,设备包括:清洗腔室、放电单元、真空单元、进气单元、旋转运动单元和升降运动单元,立式石墨舟放置在清洗腔室内部进行清洗;清洗腔室顶部与真空单元连接,以实现清洗腔室内部抽真空;清洗腔室侧部均布有多组放电单元,用于实现工艺气体在清洗腔室内部电离,以清洗立式石墨舟;清洗腔室底部设有进气单元、旋转运动单元和升降运动单元,进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部,旋转运动单元用于实现立式石墨舟固定在清洗腔室内部,并带动立式石墨舟在清洗腔室内部旋转;升降运动单元用于辅助立式石墨舟进出清洗腔室。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够实现石墨舟均匀清洗等优点。
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