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公开(公告)号：CN114394387B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202111486944.0
申请日：2021-12-07
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于载板储存和转运的小车，包括：密封设置的壳体，所述壳体底部设有移动机构，所述壳体内部设有机架，所述机架上设有动力机构、传送系统、托板机构和加热系统，所述托板机构用于承载载板，所述加热系统用于加热载板，使小车内部保持恒温，所述传送系统与动力机构连接，在动力机构的驱动下，传送系统用于将载板传送至托板机构或带离托板机构，以实现载板在小车上自动装卸。本发明的用于载板储存和转运的小车具有结构紧凑、使用方便、自动化程度高等优点，实现了载板在小车中自动装卸，同时还可以实现载板在小车中密封加热，避免了大气中粉尘颗粒及水汽等杂物对载板的
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公开(公告)号：CN114394387A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111486944.0
申请日：2021-12-07
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于载板储存和转运的小车，包括：密封设置的壳体，所述壳体底部设有移动机构，所述壳体内部设有机架，所述机架上设有动力机构、传送系统、托板机构和加热系统，所述托板机构用于承载载板，所述加热系统用于加热载板，使小车内部保持恒温，所述传送系统与动力机构连接，在动力机构的驱动下，传送系统用于将载板传送至托板机构或带离托板机构，以实现载板在小车上自动装卸。本发明的用于载板储存和转运的小车具有结构紧凑、使用方便、自动化程度高等优点，实现了载板在小车中自动装卸，同时还可以实现载板在小车中密封加热，避免了大气中粉尘颗粒及水汽等杂物对载板的侵入，减少了对硅片的污染，更有利于提升产品质量和性能。
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公开(公告)号：CN115440566A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211078949.4
申请日：2022-09-05
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种PECVD反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；内绝缘座和外绝缘座套设在连接杆上，外锁紧筒套设于接线杆和外绝缘座上，锁紧筒与轴环外侧相抵，锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，第一限位槽内设置有限位板，接线杆的一端设置有第二限位槽，当接线杆的一端螺纹连接至连接杆的螺纹孔后，限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；锁紧筒中间为方形孔，接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，轴肩穿设在锁紧筒的方形孔内。本发明具有结构简单、改造简便、连接可靠等优点。
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公开(公告)号：CN118147607A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410125497.3
申请日：2024-01-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种LPCVD设备在线等离子清洗装置及清洗方法，装置的加热炉体同轴嵌套在石英反应炉外周，石英反应炉的炉口设有炉口门板和炉门，炉门上设有进气孔，炉尾门板上设有抽气管；炉口门板上设有与射频电源组件连接的电极引入插座，炉门上设有相互连接的电极柱和I CP发生器，I CP发生器环绕在石英管进气端的外周，石英管的排气端贯穿炉门；关闭炉门，电极柱插入电极引入插座内，I CP发生器与射频电源组件连接，石英管延伸至石英反应炉内，在石英管内通入氟化物气体，并开启射频电源组件，在I CP发生器的作用下，氟化物气体形成含氟等离子体，以实现石英反应炉在线清洗。本发明具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点。
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公开(公告)号：CN115388661A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210873819.3
申请日：2022-07-21
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： F27D3/12 , F27D21/00 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种用于石英舟进出炉体的小车及石英舟进出炉体的方法，小车包括：车架，以安装在车架上的传动托盘、传动组件和脚轮，所述传动托盘用于承载石英舟，并带动石英舟进出炉体；所述传动组件用于承载传动托盘，并提供传动托盘进出炉体所需的驱动力，以实现传动托盘带动石英舟自动进出炉体；所述脚轮用于实现小车移动。本发明具有结构紧凑、操作简单、传动可靠且定位精准等优点，降低了管式炉体设备生产成本及维护费用，实现了石英舟平稳可靠地进出管式炉体，提高了电池片的生产效率。
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公开(公告)号：CN118904829A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411176998.0
申请日：2024-08-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种远程等离子体清洗设备及清洗方法，清洗设备包括清洗腔室、腔门、第一远程等离子体源、第二远程等离子体源和真空单元，第一远程等离子体源和第二远程等离子体源分别与清洗腔室的第一端和第二端连接，清洗腔室的第一端和第二端分别设有第一抽真空口和第二抽真空口，第一抽真空口和第二抽真空口与真空单元连接。该设备利用两个远程等离子体源与两个抽真空口配合，实现正向、方向交替进气和抽气的多次循环清洗，清洗速度快、均匀性好、效率高，且气耗量低，成本低。本发明采用炉口进气炉尾抽气和炉尾进气炉口抽气的循环清洗方法，可有效提高较长载具的清洗均匀性和清洗速率，提高载具流转速度，减少过度刻蚀，降低含氟气体用量。
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公开(公告)号：CN116618384A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310618373.4
申请日：2023-05-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种立式石墨舟清洗设备及清洗方法，设备包括：清洗腔室、放电单元、真空单元、进气单元、旋转运动单元和升降运动单元，立式石墨舟放置在清洗腔室内部进行清洗；清洗腔室顶部与真空单元连接，以实现清洗腔室内部抽真空；清洗腔室侧部均布有多组放电单元，用于实现工艺气体在清洗腔室内部电离，以清洗立式石墨舟；清洗腔室底部设有进气单元、旋转运动单元和升降运动单元，进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部，旋转运动单元用于实现立式石墨舟固定在清洗腔室内部，并带动立式石墨舟在清洗腔室内部旋转；升降运动单元用于辅助立式石墨舟进出清洗腔室。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够实现石墨舟均匀清洗等优点。
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公开(公告)号：CN115354284A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210840044.X
申请日：2022-07-15
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种旋转阴极及靶基距在线调节方法，旋转阴极包括：阴极腔底板、靶材、传动模组、第一端头和第二端头；所述传动模组安装在阴极腔底板上，且穿过阴极腔底板伸入真空腔体内；所述靶材位于在真空腔体内，靶材的两端分别通过第一端头和第二端头与传动模组连接；在传动模组的带动下，靶材在真空腔体内沿竖直方向进行往复升降运动。本发明在上述旋转阴极的基础上实现了靶基距的在线调节。本发明具有结构紧凑、操作简单、调节精准且密封性好等优点，靶基距的调节过程无需将镀膜设备由真空状态恢复至常压状态，且对操作人员的专业技能要求较低。
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公开(公告)号：CN218471893U
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202222356793.3
申请日：2022-09-05
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种PECVD反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；内绝缘座和外绝缘座套设在连接杆上，外锁紧筒套设于接线杆和外绝缘座上，锁紧筒与轴环外侧相抵，锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，第一限位槽内设置有限位板，接线杆的一端设置有第二限位槽，当接线杆的一端螺纹连接至连接杆的螺纹孔后，限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；锁紧筒中间为方形孔，接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，轴肩穿设在锁紧筒的方形孔内。本实用新型具有结构简单、改造简便、连接可靠等优点。
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公开(公告)号：CN220103757U
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202320981383.X
申请日：2023-04-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种具有多重冷却功能的真空排气管道，包括：第一冷却水管、真空主管道、真空分管道、真空法兰、多个安装法兰和多根包覆冷却管；真空主管道的一端设有真空法兰，用于连接真空泵，真空主管道的另一端设有安装法兰，第一冷却水管穿设在安装法兰上，并延伸至真空主管道内部，用于冷却真空主管道内的气体；真空分管道的一端与真空主管道侧部连通，另一端设有安装法兰，用于连接真空加热炉的排气口，真空泵将真空加热炉内的高温气体经由真空分管道和真空主管道抽出；包覆冷却管包裹在真空主管道和真空分管道的外周，用于冷却真空主管道和真空分管道内的气体。本实用新型具有结构紧凑、换热面积大、冷却效果显著且便于维护等优点。
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