紫外线激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116830018A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202180092630.4

    申请日:2021-03-19

    IPC分类号: G02B27/28

    摘要: 本公开的一个观点的紫外线激光装置在振荡级激光器与放大器之间的光路上配置有光隔离器,该振荡级激光器输出紫外线波长的线偏振的脉冲激光,该放大器对脉冲激光进行放大并输出。光隔离器具有:第1法拉第转子,其通过第1方向的磁场使从振荡级激光器输出的脉冲激光的偏振方向向第1旋转方向旋转第1角度;第1偏振片,其被配置成使从第1法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过;第2法拉第转子,其通过与第1方向相反的方向的磁场使透过第1偏振片后的脉冲激光的偏振方向向与第1旋转方向相反的方向旋转第2角度;以及第2偏振片,其被配置成使从第2法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过。

    静电偏转会聚型能量分析仪、成像型电子光谱装置、反射成像型电子光谱装置以及自旋矢量分布成像装置

    公开(公告)号:CN115803844A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202180049046.0

    申请日:2021-07-09

    IPC分类号: H01J37/252

    摘要: 本发明提供一种静电偏转会聚型能量分析仪,其具有宽的接收角和高的二维会聚性能,可以对二维的实空间图像或发射角度分布进行成像,并能够在相对于入射方向的90°偏转下进行二维会聚和成像。一个或多个外侧电极和多个内侧电极沿着在共同旋转轴的内侧和外侧上形成的两个旋转体的形状色设置。其中,外侧电极的内表面形状是朝向两端直径变小的锥形,内侧电极的外表面形状是朝向两端直径变小的锥形。在旋转轴两端的外侧电极上分别形成有电子的入射孔和出射孔。将用于电子加速和减速的电压与入射电子的能量成比例地施加在外侧电极和内侧电极上。对除了两端的内侧电极以外的一个或多个电极施加电压,该电压是基于形成有入射孔的外侧电极的电势为基准,将电子的能量换算成加速电压得到的换算加速电压2倍以上的电压。

    光振荡器
    4.
    发明公开
    光振荡器 审中-实审

    公开(公告)号:CN112771735A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN201980059475.9

    申请日:2019-09-13

    IPC分类号: H01S3/08 H01S3/113

    摘要: 一实施方式的光振荡器包括:第一反射部,其透射第一波长的光并反射第二波长的光;第二反射部,其与第一反射部一起形成非稳定谐振腔,并反射第二波长的光;激光介质,其配置在第一反射部与第二反射部之间,能够因第一波长的光的入射而发射第二波长的光;和可饱和吸收部,其配置于在上述一个方向上从激光介质看来与第一反射部相反的一侧,第一反射部在与激光介质相反的一侧具有入射面,第一波长的光入射到该入射面,从上述一个方向看来,第二反射部的大小比第一反射部的大小小,可饱和吸收部的与激光介质相反的一侧的面的至少一部分具有向激光介质一侧弯曲的弯曲区域,第二反射部是设置在弯曲区域的表面的电介质多层膜。

    选择放大装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108199250B

    公开(公告)日:2020-03-13

    申请号:CN201810030615.7

    申请日:2018-01-12

    IPC分类号: H01S3/06 H01S3/091

    摘要: 一种选择放大装置,从多模式激光选择特定模式的激光进行放大。将多模式激光(8A)和放大用激发光(34A)这两者以两者的光轴一致的关系向放大用增益介质(62)输入。在放大用增益介质(62)中,设为放大用激发光的实效性的射束直径为特定模式的激光的实效性的射束直径以下的关系。其结果是,在放大用激发光(34A)的照射范围内行进的特定模式以下的激光被选择性地放大。输出进行了模式清理的激光(40A)。