公开(公告)号：CN114975088A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210100725.2

申请日：2022-01-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈宇桓 ,  黄昱智 ,  彭彦安 ,  简上傑 ,  陈立锐 ,  刘恒信

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

Abstract: 一种晶圆台的操作方法，包含将晶圆台移动到微影腔室的桌体上的第一站；将晶圆放置在晶圆台的顶面上；从第一激光发射器向晶圆台的第一侧壁上的第一分光镜发射第一激光，其中第一激光的第一部分被第一分光镜反射以形成第一反射激光，而第一激光的第二部分穿过第一分光镜以形成第一穿透激光；根据第一反射激光计算晶圆台在第一轴上的位置；在计算出晶圆台的位置后，将晶圆台移动到桌体上的第二站；以及当晶圆台位于第二站时，对晶圆进行微影制程。

公开(公告)号：CN114815515A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210210215.0

申请日：2022-03-04

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈宇桓 ,  黄昱智 ,  彭彦安 ,  简上杰 ,  陈立锐 ,  刘恒信

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开实施例提供一种半导体基板台。半导体基板台用于承载基板，半导体基板台包括基层、磁屏蔽层、承载层以及接收器。磁屏蔽层设置于基层上。承载层设置于磁屏蔽层上。接收器设置于承载层上。接收器是配置以接收来自与接收器电性隔离的信号源的微波信号，并且微波信号是用于控制半导体基板台的移动。

公开(公告)号：CN110967940B

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN201910927816.1

申请日：2019-09-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄昱智 ,  杨基 ,  许哲彰 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 揭露了一种用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法。方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。方法通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，以识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。方法亦决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。基于此决定，方法自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据对反射率计算有效。

公开(公告)号：CN114779582A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202210137556.X

申请日：2022-02-15

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄昱智 ,  邱毓凯 ,  郑介任 ,  陈立锐

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种光微影设备及其用于去除污染物的方法，用于EUV晶圆卡盘或夹具的清洁设备去除已在该晶圆卡盘的表面上的瘤节之间积聚的粒子。该设备包括置放在该表面附近的一旋转双极电极，当该晶圆卡盘不使用时，该旋转双极电极可使用其产生的对称电场来自该表面吸引及吸附带电粒子残余物。

公开(公告)号：CN115529707A

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202210102013.4

申请日：2022-01-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈宇桓 ,  黄昱智 ,  蔡明训 ,  简上傑 ,  刘恒信

IPC: H05G2/00

Abstract: 一种极端紫外线辐射源、靶液滴源以及其产生激光电浆的方法，用于极端紫外线源的靶液滴源包括液滴产生器，该液滴产生器用以产生给定材料的靶液滴。液滴产生器包括用以在由腔室封闭的空间中供应靶液滴的喷嘴。在一些实施例中，喷嘴管布置在液滴产生器的喷嘴内，且喷嘴管包括用以向靶液滴提供角动量的结构化喷嘴图案。

公开(公告)号：CN110967940A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201910927816.1

申请日：2019-09-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄昱智 ,  杨基 ,  许哲彰 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 揭露了一种用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法。方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。方法通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，以识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。方法亦决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。基于此决定，方法自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据对反射率计算有效。