压电/电致伸缩装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1839487A

    公开(公告)日:2006-09-27

    申请号:CN200480023896.X

    申请日:2004-08-23

    Abstract: 压电/电致伸缩装置10包含固定部11;固定部支撑的薄板部12;由交替层叠在一起的多个电极和多个压电/电致伸缩层组成的压电/电致伸缩元件14。压电/电致伸缩装置10的制造过程如下:首先,在成为薄板部12的薄板体表面形成压电/电致伸缩层叠片,该层叠片由层叠的电极和压电/电致伸缩层组成;接着,切割该薄板体和压电/电致伸缩层叠片;对切割形成的切割面(侧端面)进行抛光处理,从而使其表面粗糙度的算术平均值为0.05μm或更小。该抛光过程可在侧端面附近得到均匀残留应力,同时消除上述切割时在侧端面附近产生的微裂纹,从而有效避免侧端面的粒子分离。

    压电/电致伸缩元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1784792A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200480012072.2

    申请日:2004-06-04

    CPC classification number: H01L41/0831 H01L41/0946

    Abstract: 对于每一个压电/电致伸缩元件(18a和18b),电极层(24和26)的端部(24a和26a)从位于压电/电致伸缩层(22)和电极层(24和26)的层叠结构所面对的侧表面150上的压电/电致伸缩层(22)的端面(22a)向外突出。突出的距离(t)小于或等于电极层(24和26)之间的压电/电致伸缩层(22)的厚度(Ld)的一半。期望突出的距离(t)在0.5μm和 2μm之间。

    压电/电致伸缩器件
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101065854A

    公开(公告)日:2007-10-31

    申请号:CN200580040231.4

    申请日:2005-10-17

    Abstract: 一种压电/电致伸缩器件,具有固定部、由固定部支撑的薄板部以及通过交替层压多个电极和多个压电/电致伸缩层而形成的压电/电致伸缩元件。压电/电致伸缩器件通过切割后来构成下述薄板部的薄板体和包括压电/电致伸缩层的层压主体,且随后对所述切割平面(侧端面)进行规定的特定处理(例如热处理)来制造。这样,压电/电致伸缩元件的侧端面的实际表面积与压电/电致伸缩元件的侧端面的正投影面积的比率为四或以下,并且在侧端面上沉积的水分被抑制到基本上不产生漏电或离子迁移的程度。结果,可提供高耐久的压电/电致伸缩器件。

    压电/电致伸缩器件的制作方法

    公开(公告)号:CN1586018A

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN02822353.5

    申请日:2002-09-11

    Abstract: 一种压电/电致伸缩器件(10)的制造方法,该压电/电致伸缩器件(10)包括相对的一对薄板部(12a,12b);支承这些薄板部(12a,12b)的固定部(14);活动部(22a,22b),该活动部(22a,22b)位于上述一对薄板部(12a,12b)的前端部分,该制造方法包括下述步骤:对在之后构成上述薄板部(12a,12b)的第1陶瓷坯片(60A,60B)的一个主面,进行至少1次的厚膜形成处理,形成在之后形成活动部(22a,22b)的突起部(72);将上述第1陶瓷坯片(60A,60B)与在之后构成上述固定部(14)的第2陶瓷坯片(64)叠置,形成陶瓷叠置坯体(50);对上述陶瓷叠置坯体(50)进行烘焙,使其形成一体,形成陶瓷叠层体(52);在上述陶瓷叠层体(52)上,形成压电/电致伸缩元件(18a,18b),对其进行烘焙,然后,切除不需要的部分,制作压电/电致伸缩器件(10)。

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