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公开(公告)号：CN118595079A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410737555.8
申请日：2024-06-07
摘要： 本发明公开了一种高低不平板材表面的激光清洗装置及其方法，包括：激光器、聚焦机构和光路导向机构；激光器设置于聚焦机构的一侧，激光器发射的光束能够通过聚焦机构聚焦整形，经过聚焦机构聚焦后的光束能够通过光路导向机构照射于清洗物上；激光器、聚焦机构、光路导向机构水平方向逐一设置。该激光清洗装置在激光器的输出光路上设置有可调整的聚焦机构，通过聚焦机构能够对射向待清洗物体的光束焦点位置进行调整，这就使得该激光清洗装置在清洗表面不平整的物体时可以通过对光束焦点的位置调整来避免待清洗物体上焦点位置偏移的问题，使激光作用力度最大化，提高清洗效率及清洗一致性。
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公开(公告)号：CN118616422A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410737771.2
申请日：2024-06-07
摘要： 本发明公开了一种多波长激光复合清洗装置、系统及其方法，包括：壳体、第一光路机构、第二光路机构和光路复合机构；第一光路机构、第二光路机构和光路复合件均设置于壳体内，壳体能够通入和/或射出激光；第一光路机构、第二光路机构均设置于光路复合机构的上方，第一光路机构和第二光路机构均能够将射入的激光传播至光路复合机构上，光路复合机构能够将经第一光路机构和第二光路机构传播的激光射向待清洗物体。该多波长激光复合清洗装置中通过光路复合机构的设置使得两束激光均能够同步射向待清洗物体的同一处或不同处，实现对多束激光的同时利用，在激光清洗的过程中充分发挥了不同波长、不同类型的激光的优势，提高了清洗质量和清洗效率。
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公开(公告)号：CN115478272B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202211066905.X
申请日：2022-09-01
申请人： 中国科学院半导体研究所
IPC分类号： C23C24/10
摘要： 本公开提出一种激光熔覆方法、装置、电子设备和介质，其中，方法包括：同步开启目标送粉器和可移动装置，以通过目标送粉器的多孔送粉喷嘴将熔覆粉末喷送至激光熔覆基材，并通过可移动装置带动激光器移动；其中，激光器的激光光斑为条状光斑，多孔送粉喷嘴中线和激光熔覆基材表面的交点与激光光斑中线和激光熔覆基材表面的交点之间的间距为目标长度；响应于目标送粉器开启目标时长，开启激光器，以通过激光器发射激光光斑，对激光熔覆基材上的熔覆粉末进行激光熔覆。由此，采用条状光斑的激光对熔覆粉末进行激光熔覆，可以有效获得高平整度的激光熔覆层，从而可以降低后期机械加工的工作量，并可以降低熔覆粉末的损耗。
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公开(公告)号：CN117260027A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311220823.0
申请日：2023-09-20
申请人： 中国科学院半导体研究所
IPC分类号： B23K26/402 , B23K26/06 , B23K26/70 , B23K37/04 , B23K26/14
摘要： 本公开提出一种用于脆硬构件分离的激光系统和方法，其中，激光系统包括：载台，载台用于承载脆硬构件；第一光路，第一光路用于载台沿第一路径移动时出射聚焦激光束，以利用聚焦激光束在脆硬构件中形成多个位于同一平面内且间隔分布的空隙；第二光路，第二光路用于沿第二路径出射第二平行激光束，以利用第二平行激光束扩展空隙，从而使多个空隙连通并形成改质层。在本公开的一种用于脆硬构件分离的激光系统和方法中，不仅避免了外部较大载荷的介入，保证了脆硬构件较高的加工质量，而且避免了聚焦控制、精密移动控制等操作，从而有效简化了脆硬构件的分离过程，提高了脆硬构件的加工效率，降低了脆硬构件的加工成本。
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公开(公告)号：CN117140743A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311068728.3
申请日：2023-08-23
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明公开了一种利用聚合物形变对激光改质后脆硬材料剥离的方法。本发明的方法采用聚合物来进行脆硬材料分离，利用聚合物热膨胀系数大的特性，使脆硬材料在低温时实现自动分离，具有分离效率高、成本低和分离厚度可控等优势。本发明的方法可以根据需分离的脆硬材料厚度制备相应的聚合物厚度，以实现任意厚度的脆硬材料分离，由于材料受到应力自动分离，通过这种分离方法，不会有飞溅物影响材料表面质量，有效地提高了分离脆硬材料的良品率，且无需大型设备，无需昂贵耗材即可实现材料的自动分离，节约了分离成本。
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公开(公告)号：CN116371825A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310249532.8
申请日：2023-03-15
申请人： 北京工业大学 , 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明公开了一种基于羽流角度的热塑性树脂激光清洗质量监测方法及系统，属于激光清洗技术领域；包括：依据预设的工艺参数，对热塑性树脂漆进行激光清洗；对羽流和激光清洗区域进行图像采集，获取包含羽流角度全貌和清洗表面飞溅物的图像；基于图像中羽流角度和清洗过后的表面区域灰度值变化，判断是否清洗合格；其中，若羽流角度大于45°且清洗过的表面灰度值不随时间变化，则清洗合格；否则，清洗不合格；若清洗不合格，则调整工艺参数，并再次进行激光清洗；若清洗合格，则控制除尘设备自动移动至羽流传播方向，将污染物吸入。本发明通过对羽流角度的监控，使清洗表面无飞溅物的粘性附着、飞溅物均被吸尘装置收集，无环境污染。
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公开(公告)号：CN110970794B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201911334588.3
申请日：2019-12-20
申请人： 中国科学院半导体研究所 , 长沙航空职业技术学院
摘要： 一种用于提高激光器功率的声光Q开关、谐振腔及脉冲激光器，该声光Q开关包括透明光学元件，用于形成对激光起到衍射作用的相位光栅；压电换能器，设置在透明光学元件的一端，用于将电能转换成超声波能使透明光学元件内形成相位光栅；以及吸收体，设置在透明光学元件的另一端，用于吸收超声波能。本发明的声光Q内部光学晶体入射面设计成凹型曲面，可以对谐振腔内部振荡的聚焦光束进行扩束，使穿过声光Q光学晶体内部的光束体积变大，实现间接提高穿过振荡光束的光栅数目的，由于声光Q对振荡级激光关断激光能力与穿过其光栅数成正比，因此本发明可以提高声光Q开关关断振荡级激光的能力。
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公开(公告)号：CN108931429B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201810774454.2
申请日：2018-07-13
申请人： 中国科学院半导体研究所
IPC分类号： G01N3/08
摘要： 本公开提出一种激光熔覆层与基体结合强度的测试方法，包括：制作圆形试样，试样包括基体及基体上的激光熔覆层；在基体上形成一第一孔，第一孔为圆孔，与圆形试样同轴，圆孔深度等于基体厚度；在基体上形成多个第二孔，多个第二孔关于第一孔对称，且各第二孔与第一孔的中心距均为△；通过管路将泵连接到圆孔，启动泵，开始加压，当压力加载到一定值时，压力发生震荡，激光熔覆层与基体开始分离，确定此时压力P1；当激光熔覆层与基体分离至多个第二孔处时，压力瞬时下降，确定此时压力P2；以及根据压力P1、压力P2、圆孔直径、圆形试样直径及中心距△计算激光熔覆层与基体结合强度。采用本方法可以定量地获得基体与结合强度的结合强度。
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公开(公告)号：CN107248694B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201710323556.8
申请日：2017-05-09
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 一种激光清洗用高功率脉冲光纤激光器，包括：多个声光调Q脉冲光纤激光器；多根光纤；一合束器，该合束器的输入端通过多根光纤分别与多个声光调Q脉冲光纤激光器连接；一输出光纤，其一端连接合束器的输出端；一清洗头，其输入端与输出光纤的另一端连接；多根声光Q连接线，其一端分别与多个声光调Q脉冲光纤激光器的输入端连接；一声光Q驱动，其输出端与多根声光Q连接线的另一端连接。本发明可使其整体机器小型化，高功率输出，工作效率提高，而且软光路的实现使操作更加灵活。
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公开(公告)号：CN108816964A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810984404.7
申请日：2018-08-27
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明公开了一种随机激光清洗装置与方法，该装置包括：一激光器，该激光器中存在声光调Q并与声光调Q驱动电源相连，还存在激光模块并与激光模块驱动电源相连，同时激光器与一水冷机相连，用于激光器中激光模块、声光调Q和镜片的冷却；一激光清洗头，通过一传能光纤与激光器相连；一执行机构，激光清洗头安装在该执行机构上，用于控制激光清洗头的运动路径；一执行机构伺服控制系统，与执行机构相连，用于控制执行机构实现运动；一随机信号发生器，连接执行机构伺服控制系统与声光调Q驱动电源，控制激光清洗过程。通过本技术方案，可实现清洗后的工件表面无规则清洗痕迹，表面均匀，美观度较传统激光清洗高，大大提高激光清洗的实用性。
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