-
公开(公告)号：CN116669269B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202310748021.0
申请日：2023-06-25
申请人： 中国科学院力学研究所
摘要： 本发明提供一种多点冗余火箭燃烧等离子体诊断方法及系统。实施方式的多点冗余火箭燃烧等离子体诊断方法及系统包括：线性伺服驱动模块，其作为静电探针模块结构载体，以线性移动的形式驱动静电探针多点位采集火箭燃烧等离子体电流，提升系统数据采集多样性；静电探针模块，包括多种朗缪尔探针，用于收集等离子体电流多种朗缪尔探针具有冗余形式，提升系统数据采集完整性；电源模块，为静电探针提供扫描电压及偏置电压；数据采集模块，连接静电探针采集等离子体电流数据；数据处理模块，结合扫描电压和偏置电压与等离子体电流，依据离子运动模型计算等离子体特性；上位机模块，显示其他模块的工作状态，设置控制指令，显示数据与计算结果；触发模块，接收外部系统试验开始统一触发信号，触发系统中相关模块动作。通过本发明，可以直接快速获得火箭燃烧等离子体特性，同时，静电探针的冗余形式可以提升诊断的完整性，配合线性伺服驱动可以提升诊断的多样性，完成在常压下对火箭燃烧等离子体特性进行诊断。
-
公开(公告)号：CN107396526B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201710831581.7
申请日：2012-01-24
申请人： 先进工程解决方案全球控股私人有限公司
摘要： 本发明涉及一种静电远程等离子体源。本公开描述了用于向等离子体内电容耦合能量，从而点着并维持远程等离子体源内的等离子体的系统、方法和设备。通过至少部分包围第二电极或者至少部分被第二电极包围的第一电极提供所述功率。可以使所述第二电极接地或浮置。可以将所述第一和第二电介质部件布置为使所述电极之一或两者与所述等离子体隔开，由此使所述等离子体与所述电极之一或两者DC隔离。
-
公开(公告)号：CN107396526A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710831581.7
申请日：2012-01-24
申请人： 先进能源工业公司
CPC分类号： H01J37/32541 , H01J37/32091 , H01J37/32183 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4675 , H05H1/03
摘要： 本发明涉及一种静电远程等离子体源。本公开描述了用于向等离子体内电容耦合能量，从而点着并维持远程等离子体源内的等离子体的系统、方法和设备。通过至少部分包围第二电极或者至少部分被第二电极包围的第一电极提供所述功率。可以使所述第二电极接地或浮置。可以将所述第一和第二电介质部件布置为使所述电极之一或两者与所述等离子体隔开，由此使所述等离子体与所述电极之一或两者DC隔离。
-
公开(公告)号：CN101297373A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200680039534.9
申请日：2006-10-16
申请人： 史蒂文·阿诺德·瑟斯塞尔曼
发明人： 史蒂文·阿诺德·瑟斯塞尔曼
摘要： 用于产生受控稳态核聚变的方法和装置，其中低原子数的同位素是最有用的反应物，如氘、氚和氦3。该装置由高电压电源和高电压球形电容器组成，其以这样的方式构造，即外壳是阳极并在其内中心包含中空阴极，反应物气体的正离子可通过介电管注入到阴极中，并静电地限制在阴极内，直到达到如此高的温，以致允许核聚变发生。阴极的内室形成贯穿电容器的紧密密封的燃料回路的一部分，涡轮分子泵也与燃料回路一致地连接，以驱动反应物气体通过反应室。因此，主要为高能中子、质子和α粒子的聚变产物在包括在阳极和阴极之间的空间内的介电介质中转变为热能，可容易地排出该热能，并使用已知的方法将该热能转变成有用的能量。
-
公开(公告)号：CN117896887A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311839476.X
申请日：2023-12-26
申请人： 中国科学院近代物理研究所
摘要： 本发明公开了一种电子回旋共振离子源的脉冲离子束波形调制装置及方法，其中脉冲离子束波形调制装置包括调制盘、调制盘装置和微波机，调制盘装置包括兰盘、支撑金属盘和脉冲电压传导件，调制盘设置在支撑金属盘上，且与等离子体弧腔电连接；脉冲电压传导件穿过法兰盘，且外端伸出法兰盘形成操控端，内端穿过支撑金属盘并伸入至调制盘内；法兰盘上设置有微波接口，微波机与微波接口相连通。等离子体弧腔内流动的离子束在脉冲微波的作用下变成脉冲离子束，脉冲离子束轰击调制盘的过程中，高压和脉冲电压分别通过所述支撑金属盘和脉冲电压传导件传导至调制盘，并在调制盘上相互作用，调制出脉冲离子束波形。
-
公开(公告)号：CN106233393A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580021310.4
申请日：2015-03-11
申请人： 能源物质转换公司
CPC分类号： G21B1/05 , H05H1/11 , Y02E30/126
摘要： 本公开涉及用于利用等离子体引发器、电子注入器和磁线圈尖端约束布置产生核聚变反应的装置和方法。等离子体引发器在反应室内产生高贝塔等离子体，用于在磁尖端布置中进行电子约束。电子注入器在反应室内产生等离子体势阱，以便在反应室内约束离子并将离子加速至聚变相关能量。
-
公开(公告)号：CN103444268A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201280013790.6
申请日：2012-01-24
申请人： 先进能源工业公司
CPC分类号： H01J37/32541 , H01J37/32091 , H01J37/32183 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4675
摘要： 本公开描述了用于向等离子体内电容耦合能量，从而点着并维持远程等离子体源内的等离子体的系统、方法和设备。通过至少部分包围第二电极或者至少部分被第二电极包围的第一电极提供所述功率。可以使所述第二电极接地或浮置。可以将所述第一和第二电介质部件布置为使所述电极之一或两者与所述等离子体隔开，由此使所述等离子体与所述电极之一或两者DC隔离。
-
公开(公告)号：CN102915902A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201110219413.5
申请日：2011-08-02
申请人： 中微半导体设备(上海)有限公司
CPC分类号： H01J37/32669 , H01J37/32091 , H05H1/46 , H05H2001/4675
摘要： 本发明涉及一种电容耦合式的等离子体处理装置，其通过在反应腔内设置电场调节元件——“电场透镜”，从而在反应腔内产生与原射频电场方向相反的再生电场，来消减原有射频电场产生的等离子体在基片表面刻蚀速率分布的不均匀性；电场调节元件——“电场透镜”还降低了反应腔体的等效品质因数Q值，从而展宽了射频频带，并防止高压电弧的产生。本发明还提供了一种利用该处理装置进行基片加工的方法。
-
公开(公告)号：CN116200590A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310226647.5
申请日：2023-03-09
申请人： 上海文景能源科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种微纳脉冲等离子体金属基材料改性系统，包括：束源组件，内部具有束源内腔并能够产生高能束流；真空舱，布置在束源组件的下方，内部为真空空间且真空空间与所述束源内腔连通，真空空间从上到下依次布置有静电聚焦装置、静电偏转装置、运动平台，运动平台上用于固定工件和带动工件运动，进入到真空空间的高能束流经静电聚焦装置聚焦、静电偏转装置偏转调向到达所述工件表面层实现工件表面的微纳层改性；支撑平台，顶部安装所述真空舱，为整个系统提供支撑。本发明采用非接触方式对薄板涂层表面进行改性并用脉冲式等离子体装置作为高能束束源，能耗低且能够产生高频可控的微细电子束或离子束，适于复杂零件的高效表面处理。
-
公开(公告)号：CN111385953A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201811616746.X
申请日：2018-12-28
申请人： 核工业西南物理研究院 , 成都同创材料表面科技有限公司
摘要： 本发明属于离子束控制技术领域，具体涉及一种射频感应耦合线性离子源，包括离子源屏蔽外壳、射频耦合天线、用于传输射频功率并隔离放电室和天线室的电介质耦合窗、用于容纳放电等离子体的等离子体放电室侧壁、用于从等离子体放电室中抽取离子束的多栅极离子束引出系统、向放电室内提供初始电子和向离子束及基材中提供中和电子的射频中和器；它能在较大尺寸范围内产生高均匀性大面积窄长线状离子束流，适用于大面积基材的离子束清洗、刻蚀、薄膜沉积等工艺。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
28 条记录 (耗时 0.025 秒)
