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公开(公告)号：CN102190286B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201110057805.6
申请日：2011-03-04
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN102190285B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201110043033.0
申请日：2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , Y10T428/24521 , Y10T428/24562
Abstract: 本发明公开一种制造MEMS器件的方法以及为此使用的衬底。一种用于制造MEMS器件的方法，包括：制备具有第一衬底和第二衬底的衬底，其中在第一衬底中形成腔体，第二衬底被结合到第一衬底的、其上形成腔体的那一侧，并且包括在与腔体相对应的位置对可移动部分进行划界的狭缝，第二衬底包括面向第一衬底的第一表面并且设置有选择性地在与移动部分相对应的位置中形成在第一表面上的热氧化膜；在第二表面上形成第一电极层，该第二表面与其上形成用于可移动部分的热氧化膜第一表面相反；在第一电极层和第二衬底上形成牺牲层；在牺牲层上形成第二电极层；以及在形成第二电极层之后移除牺牲层和热氧化膜。
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公开(公告)号：CN103430260A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201180069245.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有：给予物理性支承的支承基板；一对固定部件，其被形成在支承基板上，并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部；可动电极，其被一对固定部件的支承部支承，对置的第一侧面和第二侧面构成电极面，并且至少一部分能够弹性变形；第一固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面；以及第二固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。
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公开(公告)号：CN101515503B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200910007666.9
申请日：2009-02-20
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01G5/16
CPC classification number: H01G5/16
Abstract: 本发明提供一种可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备。可变电容器包括衬底、信号线，其设置在衬底的表面上用于馈送信号、接地电极，其设置在衬底的表面上、以及可动电极，其设置成与信号线和接地电极相对，可动电极可操作地朝着信号线和接地电极和远离信号线和接地电极移动。可动电极能被可动电极和信号线之间和可动电极和信号线之间的静电吸引移位，静电吸引由施加到可动电极的电压产生，并且可动电极的移位量根据电压量变化。
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公开(公告)号：CN101295809B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200810094844.1
申请日：2008-04-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2013 , H01G5/40 , H01P1/203 , H01P11/007 , H03H7/0123 , H03H7/0153 , H03H7/175 , H03H7/1775
Abstract: 本发明提供一种适用于降低驱动电压的可变滤波器元件和可变滤波器模块。该可变滤波器元件包括衬底、两条地线和位于所述两条地线之间的信号线，其中这些线被设置为在所述衬底上平行延伸。该滤波器元件还包括：可移动电容器电极，其桥接在所述两条地线之间，并具有面对所述信号线的部分；驱动电极，其位于所述信号线和地线之间，并对所述可移动电容器电极产生静电引力；以及设置在所述衬底中的地线，其具有面对所述信号线的部分，并接地。所述可移动电容器电极和所述地线构成地互连部，而所述信号线和所述地互连部构成分布常数传输线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101521198B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910118211.4
申请日：2009-02-25
IPC: H01L25/16 , H01L23/498
Abstract: 本发明提供了一种电子器件。这种电子器件包括：绝缘基板；螺旋电感器，其由设置在绝缘基板的第一表面上的互连层形成；第一芯片，其安装在该绝缘基板的与第一表面相对的第二表面上，并且电连接到包括该螺旋电感器的无源电路，第一芯片具有导电基板；以及第一突起，其设置在该绝缘基板的第一表面和第二表面中的一个表面上，并且从该表面突起，第一突起将该无源电路与第一芯片中的一个电连接到外部电路。
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公开(公告)号：CN101276691B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
Abstract: 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流的正侧和负侧，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取所述微机械装置的电容的时间常数或用于识别出所述电容的时间常数所需的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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公开(公告)号：CN101136397B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200710147162.8
申请日：2007-08-30
Abstract: 本发明公开了一种电子部件模块及其制造方法。该电子部件模块包含：布线衬底；形成于布线衬底上的多个无源器件的无源器件组；以及安装于布线衬底上的器件芯片。上述电子部件模块以如下方式制造：首先，制造包含多个电子部件模块形成区域的布线衬底晶片；随后，在布线衬底晶片上的每一个电子部件模块形成区域中形成多个无源器件；随后，在布线衬底晶片上的每一个电子部件模块形成区域上安装器件芯片；最后，分割布线衬底晶片。
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公开(公告)号：CN102194572A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110049686.X
申请日：2011-02-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18
Abstract: 一种MEMS设备，包括：衬底；固定电极，其被设置在该衬底上并且允许信号通过其中；可移动电极，其以面向该固定电极的方式设置在该衬底上方并且允许信号通过其中；驱动线，其被设置在该衬底内部并且被用作施加驱动电极以移置该可移动电极；以及第一电阻，其被设置在形成于该衬底内部的第一过孔中，并且被用作切断信号。通过第一电阻将固定电极或者可移动电极连接到驱动线。
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公开(公告)号：CN102190275A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110043026.0
申请日：2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00698 , B81B2201/0221 , H01G5/18
Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
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