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公开(公告)号：CN112993089B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110505974.5
申请日：2021-05-10
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： H01L31/18 , B23K26/352 , H01L31/0236 , H01L31/028
摘要： 本发明公开一种制备黑硅的方法及装置，密闭气体腔上方设激光通光口用于激光射入，设真空抽气口用于抽真空，设气体输入口用于通入气体，设抽尘输出口用于将含有粉尘的气体抽出，气体输入口、抽尘输出口及外循环管道构成循环通道，并于外循环管道上设置粉尘过滤装置，对抽尘输出口的气体进行粉尘过滤；将硅片置于密闭气体腔内，抽真空并通入气体后，开启循环，启动激光器，使激光聚焦在硅片表面或上方，激光与硅片和气体产生相互作用，在硅片表面形成尖锥状微结构及S原子掺杂；本发明通过调节光斑横纵向搭接率、光斑直径及激光重复频率来调整硅片的蚀刻效率，使得既满足硅材料熔融对光斑能量密度的要求，又满足黑硅产业化对刻蚀效率的要求。
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公开(公告)号：CN112975162B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110431037.X
申请日：2021-04-21
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置及方法，沿激光光束传播路径依次包括：激光器、扩束镜、自适应光学系统、激光切割头和加工平台，所述加工平台上固定有待切割的毛玻璃工件；所述自适应光学系统包括波前探测器、波前控制器和波前校正器，所述波前探测器用于实时检测待切割毛玻璃的表面形貌，并将检测到的表面形貌实时反馈至波前控制器，所述波前控制器根据表面形貌数据控制波前校正器对激光束的相位进行调整。本发明利用不断变化的波前校正量来补偿不断变化的动态波前误差，使得本发明的切割装置在切割过程中可以自动适应毛玻璃表面的形貌变化，调整工作状态和参数，克服动态波前相位畸变导致的聚焦光斑弥散，提高激光能量集中度。
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公开(公告)号：CN112975162A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110431037.X
申请日：2021-04-21
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置及方法，沿激光光束传播路径依次包括：激光器、扩束镜、自适应光学系统、激光切割头和加工平台，所述加工平台上固定有待切割的毛玻璃工件；所述自适应光学系统包括波前探测器、波前控制器和波前校正器，所述波前探测器用于实时检测待切割毛玻璃的表面形貌，并将检测到的表面形貌实时反馈至波前控制器，所述波前控制器根据表面形貌数据控制波前校正器对激光束的相位进行调整。本发明利用不断变化的波前校正量来补偿不断变化的动态波前误差，使得本发明的切割装置在切割过程中可以自动适应毛玻璃表面的形貌变化，调整工作状态和参数，克服动态波前相位畸变导致的聚焦光斑弥散，提高激光能量集中度。
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公开(公告)号：CN112846517A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202011632686.8
申请日：2020-12-31
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： B23K26/36 , B23K26/082 , B23K26/064
摘要： 本发明涉及一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法，其包括：激光器，其用于产生并输出激光光束；振镜，其用于对激光器输出的激光光束进行偏转；透镜组以及聚焦镜组，从振镜中射出的激光光束经透镜组改变角度后进入聚焦镜组，所述聚焦镜组对激光光束进行处理，使得从聚焦镜组中射出的激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。本发明通过对激光进行偏转，使其直接作用于滤波器孔状结构内壁，以实现孔状结构内壁镀层的去除，以此提高去除效率。
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公开(公告)号：CN112719635A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011580836.5
申请日：2020-12-28
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/064
摘要： 本发明涉及一种切割透明脆性材料的装置和方法，其包括如下步骤：S1、激光器产生并输出激光光束；S2、所述激光光束依次经扩束、反射后进行光束整形；以及S3、调整完成光束整形后的激光光束的反射角度，并对反射出的激光光束进行聚焦，使得激光光束聚焦于透明脆性材料内部，以实现对透明脆性材料的切割。其通过对激光光束的光束整形、反射角度调整和聚焦，可实现预定厚度透明脆性材料的扫描式切割，在大幅提高加工效率的同时降低对激光光源的性能要求和使用成本。
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公开(公告)号：CN111992911A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010920084.6
申请日：2020-09-04
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
摘要： 本发明公开一种基于旁轴视觉结构振镜拼图加工的视觉定位方法，首先校正振镜精度并生成振镜校正文件，通过振镜校正文件来校正视觉误差；然后进行图档分割，在加工前计算好分割后每个区块需要加工的路径，加工过程中只需要进行方向偏移和角度旋转；接着进行视觉定位，找到基准点坐标，及对应的偏移旋转量；基于所述的基准点及偏移旋转量进行图形变换，将运动平台坐标系上的点转换成振镜坐标系下的坐标值，加工时可将这些坐标值直接发送给振镜系统进行加工；将运动控制平台移动都平台坐标系下的中心点坐标位置，将加工路径线段特征点的坐标值发送给振镜系统，进行加工，并在当前区块加工完成后，依次加工其他区块，直至所有区块加工完成。
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公开(公告)号：CN111922513A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010717706.5
申请日：2020-07-23
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： B23K26/064
摘要： 本发明公开了一种激光焊接光束整形优化装置，包括准直镜组、整形镜组、聚焦镜组，所述准直镜组用于将激光器出射的激光变成平行光，并出射至整形镜组，所述整形镜组用于匀化准直的高斯光束，将具有高斯分布的光束调制成能量均匀分布的光束，并将调制后的光束出射至聚焦镜组，所述聚焦镜组用于将调制光汇聚到待焊接表面上，聚焦镜组可以补偿匀化后的光束，使得在最后聚焦状态下的聚焦光束更均匀，同时聚焦镜组是具备可调节功能的，使得聚焦镜组可以改变激光光斑的大小。本发明可以将光斑进行平顶整形，且光斑大小可调。
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公开(公告)号：CN111112859A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911326165.7
申请日：2019-12-20
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： B23K26/384 , B23K26/142 , B23K26/08 , B23K26/70
摘要： 本发明公开一种透明脆性材料零锥度通孔工艺方法，包括：设置螺旋加工图档；设置激光器参数；调整激光光束的倾斜角度，将激光聚焦到待加工样品表面；对待加工样品进行分段加工。本发明采用相同内半径、不同外半径的螺旋线同圆心交错叠加形成加工路径，提高了加工效率，同时，不同螺旋线可任意组合，为无锥度加工提供优化；采用振镜与聚焦镜的组合改变激光光束的入射角度，降低了应用过程中的装置成本，适应于各种无锥度加工，同时，激光光束与待加工样品表面成一定角度可改善激光入口样品表面热损伤；采用分段加工，不同阶段匹配不同的激光加工参数，使得加工过程与需求灵活可控。
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公开(公告)号：CN110987378A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911336652.1
申请日：2019-12-23
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明提供了一种振镜幅面校正方法及标准校正板，涉及振镜校正技术领域。该振镜幅面校正方法包括：初步校正振镜，以使经过振镜反射的激光能照射于标刻平面。关闭激光将标准校正板放置于标刻平面，使校正平面与标刻平面重合。将振镜反射至校正平面的坐标点校正到与相对应的特征点的坐标重合。取下标准校正板，将第一工件模板放于标刻平面，使第一加工面与标刻平面重合。开启激光，以多个特征点在第一加工面对应的位置进行标刻。将振镜反射激光至第一加工面的坐标校正到与相对应的特征点的坐标重合。本发明提供的振镜幅面校正方法及标准校正板能实现不需要人工量测及不需要借用专用振镜校正的设备或者仪器，并高效地完成振镜的校正工作。
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公开(公告)号：CN107252971B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201710260863.6
申请日：2017-04-20
申请人： 武汉华工激光工程有限责任公司
IPC分类号： B23K26/21 , B23K26/60 , B23K101/16
摘要： 本发明涉及镀锌板焊接，提供一种镀锌板激光叠焊方法，取待焊接的两块镀锌板，在其中一镀锌板上开设有若干焊接通孔，各焊接通孔离散分布；将两块镀锌板叠合，各焊接通孔均位于两块镀锌板之间的重合部位；采用激光器焊接两块镀锌板，且激光器的发出光位于具有焊接通孔的镀锌板一侧；激光器的发出光依次射入各焊接通孔内以焊接两块镀锌板。本发明中，在其中一镀锌板上预先开设焊接通孔，激光器的激光束照射至各焊接通孔内，进而可以使得两块镀锌板在各焊接通孔对应位置处形成焊接效果，在该过程中产生的锌蒸汽可以由通孔及时扩散排除，可以有效解决气孔以及飞溅问题，焊接后良率在99.8％以上，同时能够满足拉力要求。
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