分光装置和分光方法
    146.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1514930A

    公开(公告)日:2004-07-21

    申请号:CN02811479.5

    申请日:2002-08-13

    Inventor: 山内一德

    CPC classification number: G01N21/255 G01J3/26 G01J3/36 G01J3/51 G01J3/513

    Abstract: 从光源(3)中发出的光线L传输通过样品单元(S)并且射入分光部分(13)。所述分光部分(13)包括传输不同波长的光组份的干涉滤光器(31-39),以及相应于各自的干涉滤光器的光电二极管(41-49)。组成一个干涉滤光器的非传导性薄膜具有相对令人满意的特性来反射非被传输的波长的光组份的那些光组份。在每个干涉滤光器中,一入射光被分成一传输光组份和一反射光组份。通过把反射光变成入射光射入下一级的干涉滤波器中,就可以探测具有九种波长类型的光组份。

    用于测量流体浓度的传感器装置和该传感器装置的应用

    公开(公告)号:CN107835939A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201680040504.3

    申请日:2016-05-25

    Abstract: 本发明涉及一种传感器装置,具有:处于至少部分闭合的试样空间(400)中的吸收段(408),用于接收待分析的流体;处于所述吸收段(408)的一端部上的辐射源(405),用于将红外线辐射发射到所述吸收段(408)中;其中,发射到所述吸收段(408)中的所述红外线辐射能够指向处于所述吸收段(408)的另一端部上的传感器单元(409)的上侧(409a);其中,所述传感器单元(409)具有:分别具有至少一个像素的多个像素组件(102、103),所述像素组件布置在处于所述传感器单元的下侧(409b)上的衬底(101)的衬底上侧(101a)上,布置在所述衬底上侧(101a)上的罩(104),该罩覆盖所述像素组件(102、103),其中,在所述衬底上侧(101a)与所述罩(104)之间形成空腔(105);多个过滤器(106、107),所述过滤器对于至少部分不同的波长范围而言是能穿透的,其中,每个过滤器(106、107)配属有刚好一个像素组件(102、103),并且其中,所述过滤器(106、107)如此布置在所述罩(104)上,使得经过所述吸收段(408)和所述传感器单元的所述上侧(409a)传播的红外线辐射能够穿过相应的过滤器(106、107)被配属于相应的过滤器(106、107)的所述像素组件(102、103)探测;并且其中,在所述罩(104)的未被所述过滤器(106、107)覆盖的部分上至少区段式地构造有由吸收光的和/或反射光的材料构成的涂层(201;301)。

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