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公开(公告)号：CN105008991A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201480013453.6
申请日：2014-03-10
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 詹姆士·科丁力
IPC: G02F1/1362 , G02F1/13
CPC classification number: G01N21/95 , G02F1/1309 , G02F1/133514 , G02F2201/508
Abstract: 公开了一种用于修复包括偏振膜的液晶显示面板的系统。所述系统包括激光修复光学系统、测量光学系统和处理器。所述激光修复光学系统包括偏振单元，其用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振。所述测量光学系统包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源和用于检测反射的测量照明的检测器。所述处理器响应于所述反射的测量照明而调整所述偏振单元。
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公开(公告)号：CN104903044A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201480004050.5
申请日：2014-01-09
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 马克·A·昂瑞斯
IPC: B23K26/062 , B23K26/10 , B23K26/03
CPC classification number: B23K26/0626 , B23K26/03 , B23K26/082 , B23K26/10
Abstract: 系统和方法提供了激光脉冲能量的控制和/或监测。一个示例的激光加工设备包括：激光系统，以产生激光脉冲束；以及脉冲能量控制系统，逐个脉冲地调整束中的每个激光脉冲的脉冲能量。脉冲能量控制系统包括：开环前馈控制路径，其基于绘制激光脉冲能量随脉冲重复频率的变化的校准传输曲线而选择脉冲能量传输值。激光能量监视器测量在激光脉冲束中的每个激光脉冲的激光脉冲能量。功率控制回路可以基于从激光能量监视器的反馈来进一步调整在激光脉冲束中一个或多个激光脉冲的脉冲能量。
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公开(公告)号：CN102918634B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201180026697.4
申请日：2011-03-09
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 安迪·E·虎柏 , 大卫·巴席克 , 柯林特·R·凡德吉亚森 , 张海滨 , 詹姆斯·N·欧布赖恩
IPC: H01L21/301
CPC classification number: H01L21/78 , B23K26/0622 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/172 , B23K2103/52
Abstract: 一种针对由机械半导体工件（10）的机械锯切造成的失效机理的解决方案，需要使用激光束以从切割道（18）切削并移除导电（32）材料层和低k电介质（34）材料层，随后进行锯切割以分开半导体器件（12）。激光束在所述导电和低k电介质材料层中形成诸如沟槽（44）的激光刻划区（44、52），所述沟槽的底部（50）止于位于所述导电和低k电介质材料层（38）中各者下方的氧化硅激光能量穿透停止层（30）。所揭示的工艺需要选择诸如波长、脉冲宽度以及注量等激光参数，这些激光参数协作以保持所述氧化硅停止层完好无损或几乎未损坏。机械锯切削所述氧化硅层和位于所述氧化硅层下方的所有其他材料层（40）以及衬底（16），从而分开所述半导体器件。
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公开(公告)号：CN102481664B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201080023567.0
申请日：2010-05-28
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 马克·A·昂瑞斯 , 威廉·J·乔丹 , 詹姆斯·埃斯梅尔 , 松本久 , 布莱恩·强汉森·莱伯格
IPC: B23K26/03 , B23K26/40 , B23K26/06 , B23K26/08 , B23K26/046 , B23K26/064
CPC classification number: B23K26/032 , B23K26/046 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/50
Abstract: 一种激光处理系统，用于将一工件微机械加工，包括：一激光源，以产生激光脉冲用于处理在该工件中的特征；一电流计驱动(galvo)子系统，用于沿着相对于该工件表面的一处理轨迹，给予激光射束点位置的第一相对移动；以及一声光偏转器(AOD)子系统，其沿着垂直于该处理轨迹的方向，将一激光射束点有效地加宽。该AOD子系统可以包括AOD与电光偏转器的组合。该AOD子系统可以改变该激光脉冲的强度轮廓，作为沿着颤动方向偏转位置的函数，而在该颤动方向中将该特征选择地成形。可以使用该成形将该工件上的特征相交。该AOD子系统亦可提供：扫描、电流计误差位置修正、功率调变及/或透过透镜观看以及对准该工件。
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公开(公告)号：CN103764337A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201180072972.6
申请日：2011-11-17
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC: B23K26/362 , B23K26/18 , B41M5/24
CPC classification number: B41M5/24 , B23K26/0006 , B23K26/0624 , B23K26/0652 , B23K26/082 , B23K26/355 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2101/18 , B23K2101/34 , B23K2103/42 , B23K2103/50
Abstract: 本发明是关于对对象进行激光标记。详细的说，本发明是关于以激光剥蚀对象的外加被覆层，从而露出该对象在该被覆层下方的表面，如此一来，该对象的外露表面与相邻剩余被覆层间的对比外观即形成标记，因而达成对该对象实施激光标记的目的。激光参数是经挑选，以提供均匀且符合市售水平的外观，并避免下层表面受损，同时维持可接受的单位时间系统产出量。在此需特别一提的是，激光脉冲包络线是经量身订做，故一方面可提供理想的外观，一方面则可维持可接受的单位时间系统产出量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102365795B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201080014097.1
申请日：2010-03-17
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: H01S3/109 , G02F2001/354 , H01S3/09415
Abstract: 一种配置以用于第二级(342)及更高级(352、552、652、782)谐波激光束能量的腔内谐波产生的激光(300、500、600、700、800、900)包含像是曲面映镜的模式-匹配光学组件(360、670、910)以用于回收一中级谐波激光束能量的未经使用部分，藉此改善更高级谐波激光束能量产生效率性(即如第三级或更高级谐波激光束能量产生效率性)，而无须牺牲该更高级谐波激光束能量的光束质量。该曲面映镜可经设置于该激光的一共振激光腔(306)之外。该曲面映镜的曲率半径和位置是经选定，因而该所回收之第二级谐波激光束能量的光束半径及光束发散性在沿一入方第二级谐波激光束之光束路径上各处基本上是与该入方第二级谐波激光束能量的光束半径及光束发散性相同。
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公开(公告)号：CN103493313A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280014952.8
申请日：2012-03-30
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: H01S3/10015 , B23K26/0622 , B23K26/355 , B23K26/389 , H01S3/0064 , H01S3/0085 , H01S3/0092 , H01S3/06754 , H01S3/1618 , H01S3/1673 , H01S3/2316 , H01S3/2375 , H01S5/0428 , H01S5/06216 , H01S5/0622 , H01S5/0654
Abstract: 包括脉冲种子激光源（12）、激光放大器（20）和光功率放大器（30）的可编程量身定做的激光脉冲发生器（10）产生响应于施加到种子激光（第一实施方案）或连续波种子激光输出的外部调制器（第二实施方案）的可编程模拟量身定做的脉冲信号而成形的高功率量身定做的激光脉冲（32）。所述可编程模拟量身定做的脉冲信号是通过组合由多通道信号发生器（18）产生的多个单独可编程模拟脉冲来产生的。施加到所述脉冲种子激光源的偏置产生预发射激光，然后产生量身定做的激光脉冲，使得所述种子激光源谱线和谱线宽度稳定在固态激光放大器的窄增益谱线宽度内，从而给予所述激光输出的脉冲峰值稳定。所述量身定做的激光脉冲发生器允许产生较短波长的谐波并向各种微加工应用提供经济、可靠的激光源。
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公开(公告)号：CN103447689A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310297086.4
申请日：2009-09-17
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: B23K26/03
Abstract: 一种激光处理系统，包含一射束定位系统以相对于一工件对齐射束投送坐标。上述的射束定位系统产生对应于该对齐的定位数据。此系统亦包含一脉冲激光源以及一子束产生模块以自该脉冲激光源接收一激光脉冲。子束产生模块自该激光脉冲产生一子束阵列。该子束阵列包含多个子束脉冲。此系统更进一步包含一子束调变器以选择性地调变该子束阵列中每一子束脉冲的振幅，以及子束投送光学模块以将调变后的子束阵列聚焦至工件上对应至上述定位数据的位置的一或多个标的。
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公开(公告)号：CN101448603B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN200780017817.8
申请日：2007-05-21
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: H05K3/0035 , B23K26/0624 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2101/35 , B23K2101/40 , B23K2103/08 , B23K2103/10 , B23K2103/12 , B23K2103/14 , B23K2103/172 , B23K2103/26 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , B23K2103/52 , H05K3/0038 , H05K3/28
Abstract: 在一些具体实施例里，含有至少一具有短于400微米的波长并且具有一小于1,000微微秒(picosecond)的脉冲宽度的激光脉冲(32)的激光输出可提供数个(δN)脉冲，以清洁一通孔的底部表面或一焊接区的表面，借此提高工艺产量。可利用一与一放大模块(16)共同运作的震荡器模块(12)以产生该激光输出。
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公开(公告)号：CN102066036B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200980122370.X
申请日：2009-06-15
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
CPC classification number: B23K26/046 , B23K26/0604
Abstract: 所揭示的实施例提出用以在具有两个或多个处理头的激光机械加工系统中修正头对头偏差的系统及方法，其中，一聚焦透镜连接至每一处理头，并用以沿一传导入射光轴接收一入射激光束，所述传导入射光轴自聚焦透镜的主轴偏移，所述聚焦透镜进一步用来以所述传导入射光轴为中心旋转，以相对于一工件操控入射激光束的路径。
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