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公开(公告)号：CN114608482A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210506837.8
申请日：2022-05-11
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/255
摘要： 本发明提供一种曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备，方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于待测晶圆的预设照射位置，并控制待测晶圆进行自转，并获取到待测晶圆整圈的偏移量数据，根据偏移量数据计算出表面倾斜量；对两标准校准片分别按照上述步骤进行处理，以得到两标准校准片的偏移量数据，根据该偏移量数据计算出对应的基值及校准系数；根据基值、校准系数以及表面倾斜量计算得到待测晶圆的曲率值。本发明通过激光发射器照射在转动或自转状态下的待测晶圆，得到整圈的偏移量数据，计算出对应的表面倾斜量，利用两标准校准片来获得基值和标准系数，利用表面倾斜量、两基值和标准系数计算出待测晶圆的曲率值，节省计算成本。
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公开(公告)号：CN115165920B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202211081630.7
申请日：2022-09-06
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种三维缺陷检测方法及检测设备，该方法包括将具有镜面结构的待检测物放置于载台上，并将待检测物的镜面侧朝向网格板具有网格纹的一侧设置；启用照明组件照射网格板具有网格纹的一侧，以使待检测物的镜面侧映照出网格纹的图像；通过拍摄元件获取待检测物的镜面侧的检测图像；获取检测图像中的目标检测区域，并基于预设神经网络模型判断目标检测区域中出现的网格纹的图像是否发生扭曲；若是，则判定当前待检测物的镜面侧具有三维缺陷。通过上述方式在只需要使用网格板、照明组件以及拍摄元件的前提下就能够简单、快速的完成对镜面结构的三维缺陷检测，从而大幅提升了检测效率。
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公开(公告)号：CN115679295B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211713240.7
申请日：2022-12-30
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/52 , H01J37/32
摘要： 本发明公开了一种石墨盘旋转漂移修正方法、装置、存储介质及电子设备，该方法包括：在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号；根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波；获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。本发明解决了现有技术中驱动模块在带动石墨盘在旋转时会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。
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公开(公告)号：CN115077424A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210832532.6
申请日：2022-07-15
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/245 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法，本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光，并通过光路设计，将不同颜色的激光合成为一个合束激光，合束激光投射在被测量晶圆片表面后，形成反射光，反射光再经过设计的光路，形成多个单色激光光束，最终能够使各个PSD位移传感器接收到反射的激光光斑，通过PSD位移传感器监测到的激光光斑的位移变化量，实现被测量晶圆片表面曲率的检测，本发明避免了外延层生长时，反射光干涉对测量的干扰，且本发明能够在高速旋转转盘上实时对晶圆片表面曲率进行准确测量。
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公开(公告)号：CN221707782U
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202420355326.5
申请日：2024-02-26
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本实用新型提供了一种光学元件俯仰角微调机构，包括第一安装座、第二安装座、定位轴、间距调节机构，第一安装座的中部设有第一阶梯轴孔，第二安装座与第一安装座相对设置，第二安装座的中部设有与第一阶梯轴孔位置对应的第二阶梯轴孔，第二安装座远离第一安装座的一侧用于安装光学元件，定位轴设于第一安装座与第二安装座之间，且其两端分别与第一阶梯轴孔和第二阶梯轴孔的大端之间间隙配合，间距调节机构用于调节第一安装座与第二安装座相对端面之间不同位置的间隙，并使第二安装座以定位轴的中轴线为中心相对第一安装座进行偏转。本实用新型能够使光学元件以某一中心点向空间任一方向进行偏转。
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公开(公告)号：CN221684144U
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202420354409.2
申请日：2024-02-26
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型提供一种姿态可调的连接装置，包括基座、倾角调节板、安装法兰和连接板，倾角调节板与基座通过转轴活动连接，且基座上螺接有第一调节螺杆，通过调节第一调节螺杆相对于基座的嵌入深度，可调节倾角调节板的倾角；安装法兰转动活动设置于倾角调节板中，连接板与安装法兰连接，使得连接板的倾角与倾角调节板的倾角一致；倾角调节板周侧设置有旋转角调节机构，通过其第二调节螺杆和拨杆驱动安装法兰转动，实现旋转角的调节。本实用新型的姿态可调的连接装置可实现基座和连接板之间的倾角和旋转角的调节，调节精度可靠性，为光学检测的检测精度和可靠性保障提供了便利。
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公开(公告)号：CN217543492U
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202221885948.6
申请日：2022-07-21
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型提供一种镜头安装装置、镜头及反射率检测装置，该镜头安装装置包括安装框架，安装框架内设有镜头座，镜头座上转动式设有用于固定镜面反射镜头的第一调节架，及用于固定发光镜头的第二调节架，安装框架上开设有定位孔。本实用新型中的镜头安装装置，由于发光镜头的一端需要外接光纤，通过设置定位孔在安装时可通过将光纤穿过定位孔完成发光镜头的初步定位，通过设置另外两个定位孔，具体使用时，可在镜面反射镜头及漫反射镜头的一侧外接光纤，利用开设的定位孔可完成镜面反射镜头及漫反射镜头的初步定位，由于调节架转动式设于镜头座上，通过设置上述三个光纤可便于光学调试时镜头角度的快速调整，从而提高装配效率。
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公开(公告)号：CN215415484U
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202121554202.2
申请日：2021-07-09
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速装置，包括：激光测量探头，安装在MOCVD设备的腔体观察窗上，用于发射激光束到旋转的行星式托盘、卫星盘以及晶圆片上；分光片，用于将反射回的激光分光照射到探测器，将光信号转换成电信号；多通道同步数据采集卡，用于同步读电探测器和Trigger脉冲信号，并送入到计算机中分析计算，得到卫星盘的自转速度。本实用新型适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。
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公开(公告)号：CN217931383U
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202221911091.0
申请日：2022-07-21
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型提供一种反射率测量装置，包括架体及滑动式设于架体上的反射率测量组件，反射率测量组件包括反射率探头，及设于反射率探头及架体之间的手动测角仪，手动测角仪的两端分别设有第一转接板及第二转接板，反射率探头及架体分别通过第一转接板及第二转接板与手动测角仪的两端连接。本实用新型中的反射率测量装置，通过将反射率探头滑动式设于架体，便于对反射率探头及石墨盘之间的高度进行调节，进一步通过在架体与反射率探头之间设置手动测角仪，便于快速精确的对反射率探头的角度进行调节，提高调节效率。
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