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公开(公告)号：CN115881509A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202210945030.4
申请日：2022-08-08
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/073 , H01J61/52 , H01J9/04
Abstract: 本发明提供放电灯和放电灯用电极的制造方法。在放电灯中，在提高散热性的同时，提高电极表面的耐热性、耐久性。在放电灯(10)的电极(30)中，针对由槽(42)构成的散热构造(40)形成涂层(44)，通过对涂层(44)进行激光照射来形成混合有电极原材料和涂料成分的混合层(43)。
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公开(公告)号：CN111686667B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202010179086.4
申请日：2020-03-12
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 提供紫外线照射装置及臭氧产生器。课题在于在各种各样的使用环境下，也能够实现稳定且高效的紫外线照射处理。在紫外线照射装置(10)中，将轴流风扇(20)与管状流路(30)同轴地配置，来供给流体。并且，在配置有准分子灯(40)的区域(FA)中，在产生以流速(方向和速度)根据场所而大不相同的复杂的流(非均匀湍流)为主导的流场的区域配置准分子灯(40)。
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公开(公告)号：CN114203521A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202110271044.8
申请日：2021-03-11
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J65/04 , H01J61/073 , H01J61/33 , C01B13/11
Abstract: 本发明提供准分子灯、紫外线照射装置以及臭氧产生装置，该准分子灯有效地对被照射物照射紫外线。在具有内侧电极(40)被内侧管(30)包覆的放电容器(10T)的准分子灯(10)中，使内侧管(30)的前端部(31)进入到小径部(21)的内部，另一方面，使内侧电极(40)不进入小径部，使内侧电极(40)的前端部(41)的沿着灯轴(E)的位置位于比小径部(21)靠后端侧(放电容器中央侧)的位置。
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公开(公告)号：CN113448176A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202011470253.7
申请日：2020-12-15
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 奥山隆志
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供曝光装置和曝光方法。在曝光装置中，平滑地形成图案倾斜线。在曝光装置(10)中，矢量数据处理电路(40)将轮廓(BD0)的矢量数据变换为向±X方向(轮廓线外侧和/或在轮廓线内侧方向)移位后的轮廓线校正矢量数据(BD+)，并通过交替使用原始轮廓线矢量数据(BD0)和轮廓线校正矢量数据(BD+)来执行多重曝光动作。
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公开(公告)号：CN111686667A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010179086.4
申请日：2020-03-12
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 提供紫外线照射装置及臭氧产生器。课题在于在各种各样的使用环境下，也能够实现稳定且高效的紫外线照射处理。在紫外线照射装置(10)中，将轴流风扇(20)与管状流路(30)同轴地配置，来供给流体。并且，在配置有准分子灯(40)的区域(FA)中，在产生以流速(方向和速度)根据场所而大不相同的复杂的流(非均匀湍流)为主导的流场的区域配置准分子灯(40)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107015439B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201610865654.X
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 三好久司
Abstract: 曝光装置以及曝光装置的对准方法，即使对配设有众多图案的基板，也迅速且准确地进行对准。曝光装置具有对准所使用的照相机(29)和DMD(22)，能够按照FO‑WLP形成图案，在该曝光装置中，使多个半导体芯片(SC)落在视野内而同时拍摄，从其图像提取各个半导体芯片(SC)的轮廓，将提取了作为标记的连接焊盘(CP)的比较对象区域(TA)的图像与模板图像进行比较，检测各芯片的位置偏差量。
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公开(公告)号：CN109585259A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811105195.0
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/073 , H01J9/18
CPC classification number: H01J61/0732 , H01J9/18 , H01J61/0737
Abstract: 本发明提供放电灯及其制造方法、放电灯用电极及其制造方法。一种在放电灯中接合强度优异并且被固相接合而成的电极。在由以钨为主要成分的前端侧部件(40)和通过纯度99wt％以上的钼(Mo)构成的后端侧部件(50)进行固相接合而成的阴极(20)中，在从后端侧部件(50)的接合面(S)附近到电极支承棒孔中间点(C)附近的范围内，形成比前端侧部件(40)的晶粒(R1)的粒径大的、粗大化的晶粒(R2)。
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公开(公告)号：CN107086167A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201610814228.3
申请日：2013-09-09
Applicant: 株式会社ORC制作所 , 长野县
IPC: H01J9/02 , H01J61/073
Abstract: 放电灯用电极的制造方法以及放电灯。本发明的放电灯用电极的制造方法是利用固相接合来制造放电灯用电极的方法，在本方法中，使柱状的前端固体部件与柱状的主体固体部件经由彼此的接合面进行固相接合，其中，所述前端固体部件构成电极前端部的至少一部分，且含有发射体，所述主体固体部件至少构成电极主体部，且具有直径比前端固体部件的接合面大的接合面，针对通过固相接合而生成的电极材料，以形成锥状的电极前端部的方式实施切削加工。
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公开(公告)号：CN105637614B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201480051902.6
申请日：2014-09-19
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 早川壮则
IPC: H01J61/073 , H01J9/02
CPC classification number: H01J61/0732 , H01J9/04 , H01J61/526 , H01J61/86
Abstract: 目的在于通过固态接合而成型出接合强度高的电极。在短弧型放电灯中，在阳极(30)内设置密闭空间(50)。并且，将传热体(M)封入密闭空间(50)。阳极(30)是具有形成有凹部(50S)的主体部件(32)和覆盖所述主体部件(32)的盖部件(36)且在所述主体部件(32)与所述盖部件(36)之间夹有环状的中间部件(40)的构造，是通过借助放电等离子烧结(SPS)将主体部件(32)、中间部件(40)、盖部件(36)固态接合而成型的。
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公开(公告)号：CN104584187B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201380043468.2
申请日：2013-07-08
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 林武弘
CPC classification number: H01J61/36 , H01J9/323 , H01J61/0732 , H01J61/366 , H01J61/86
Abstract: 提供如下放电灯和放电灯的制造方法：能够简单且可靠地将线圈状限位器安装于电极棒，该线圈状限位器用于在密封管相对于玻璃管的熔接作业中限制玻璃管相对于电极棒朝电极侧滑动。作为其解决手段，线圈状限位器(40)具有：线圈部(41)，其由金属线材的一部分构成，具有与玻璃管(21)抵接的玻璃管侧端部(42)，而且，在从直径小于或等于电极棒(17)的自由状态朝扩径方向进行了弹性变形的状态下，自身的内表面会紧贴于电极棒的外周面；以及一对端部结构部(43、44)，它们分别由金属线材的两端构成，位于比玻璃管侧端部靠电极侧的位置。
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