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公开(公告)号:CN105830198A
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201480068191.3
申请日:2014-11-14
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: M·P·C·范赫尤门
CPC分类号: H05G2/008 , G03F7/70016 , G03F7/70191 , G03F7/70616 , H01J61/045 , H01J61/523 , H01J61/526
摘要: 一种辐射源设备,包括:容器,其包括用于限定用于容纳气体介质的空间的壁,其中发射等离子体发射辐射的等离子体在通过驱动辐射激发气体介质之后生成;和热负荷施加器,其适于将热负荷应用到容器的壁的至少一部分以减少壁中的应力。
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公开(公告)号:CN105700298A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201510882884.2
申请日:2015-12-04
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: H01J61/526 , G03F7/20 , G03F7/32 , G03F7/70016 , G03F7/70891 , H01J61/86 , H01L21/30
摘要: 本申请涉及冷却装置、照明光学系统、曝光装置和制造物品的方法,并具体提供一种用于冷却光源单元的冷却装置。冷却装置包括:被设置在来自光源单元的光的路径外面的冷却单元;和被配置为连接光源单元的发热部分与冷却单元的热导管。热导管还用作光源单元的电极线。
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公开(公告)号:CN105405739A
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201510558206.0
申请日:2015-09-06
申请人: 波音公司
发明人: 道格拉斯·R·琼沃思 , 安东·M·鲍克尔特 , 克里斯蒂娜·弗拉斯泰利察
IPC分类号: H01J61/52
CPC分类号: H01J61/523 , H01J61/025 , H01J61/30 , H01J61/526 , H01J61/86
摘要: 本发明涉及高强度放电灯组件和方法。一种灯组件包括:壳体,限定内部容积;以及灯,放置在内部容积中,灯包括第一电极和第二电极,其中,第一电极热耦接且电耦接至壳体,并且其中,第二电极通过导热电绝缘材料和传热元件热耦接至壳体。
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公开(公告)号:CN101725865A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200910207045.5
申请日:2009-10-27
申请人: 精工爱普生株式会社
CPC分类号: H01J61/523 , G03B21/16 , G03B21/2026 , G03B21/2066 , H01J61/025 , H01J61/526 , H01J61/86 , H04N9/3144
摘要: 本发明提供可恰当地冷却发光管的光源装置及投影仪。光源装置(5)具备:发光管(51),其具有发光部(511)及第一密封部(512);第一反射镜(52),其具有近似凹曲面状的反射面(5221);和收容它们的收容体(6)。收容体具有管道部(7),该管道部位于发光管的上方,沿着被反射面反射的光束的中心轴延伸,使冷却空气向与被反射面反射的光的行进方向相反方向流通。管道部具有:第一开口部(6134),其比第一反射镜的开口端靠向上述行进方向前端侧;壁部,其形成第一开口部的上述行进方向基端侧的端缘,成为管道部的终端;和倾斜部(6132),其使冷却空气向与形成了第一开口部的面相反侧的面倾斜。
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公开(公告)号:CN100380565C
公开(公告)日:2008-04-09
申请号:CN200410033040.2
申请日:2004-02-28
申请人: 松下电器产业株式会社
CPC分类号: H01J61/327 , H01J61/526
摘要: 一种紧凑型自镇流荧光灯具有一个双螺旋形的电弧管,该电弧管通过围绕一个螺旋轴线弯曲一个玻璃管直至该玻璃管的两端部来形成,还具有一个由树脂制成,保持这个电弧管的支持架。电极,每个电极配备有一个灯丝线圈,它们在玻璃管的各个端部密封。支持架由一个圆筒形的底部封闭的树脂保持件和一个圆锥形的树脂罩构成,该支持架包括一个周壁和一个端壁,该端壁处于周壁的边缘。在保持树脂件内设置有一个热量消散板,其所处位置与灯丝在玻璃管内的地方相应。
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公开(公告)号:CN1762038A
公开(公告)日:2006-04-19
申请号:CN200480007501.7
申请日:2004-03-24
申请人: 精工爱普生株式会社
发明人: 竹泽武士
CPC分类号: F21V7/0025 , H01J61/025 , H01J61/526
摘要: 本发明提供一种照明装置,其将第二反射镜(30)使其反射面(32)包围发光部(11)的前侧大致一半地安装到密封部(13a),使由第二反射镜(30)包围的前侧的电极(12a)的热容量比后侧的电极(12b)的热容量大,使支承由第二反射镜(30)包围的前侧的电极(12a)的电极轴(16)比支承后侧的电极(12b)的电极轴(16b)粗和/或长,使安装有第二反射镜(30)的前侧的密封部(13a)比后侧的密封部(13b)粗,在安装有第二反射镜(30)的前侧的密封部(13a)上覆膜热传导性比该密封部(13a)的材料好的散热材料(17)。
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公开(公告)号:CN1171278C
公开(公告)日:2004-10-13
申请号:CN00117874.1
申请日:2000-03-15
申请人: 松下电器产业株式会社
IPC分类号: H01J61/067 , H01J61/04
CPC分类号: H01J61/526 , H01J61/0732
摘要: 一种金属卤化物灯,由于能够防止电极温度过度升高,因此具有较长的寿命。该金属卤化物灯具有一个由发光部分1和在发光部分的每一端的密封部分2构成的电弧放电管3。一对电极4从电弧放电管3端部伸出,伸入发光部分1的放电室,以便电极4的放电侧端彼此面对。电极4的其它端连接密封在密封部分2内的导线5。电极4密封在密封部分2内的一部分称为电极密封部分L,该部分从发光部分1和密封部分2之间的边界到导线5的放电侧端。金属元件7部分地覆盖电极密封部分L。金属元件7的重量(mg)与电极密封部分L的重量B(mg)之比满足不等式0.2≤A/B≤1.6。
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公开(公告)号:CN105405739B
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201510558206.0
申请日:2015-09-06
申请人: 波音公司
发明人: 道格拉斯·R·琼沃思 , 安东·M·鲍克尔特 , 克里斯蒂娜·弗拉斯泰利察
IPC分类号: H01J61/52
CPC分类号: H01J61/523 , H01J61/025 , H01J61/30 , H01J61/526 , H01J61/86
摘要: 本发明涉及高强度放电灯组件和方法。一种灯组件包括:壳体,限定内部容积;以及灯,放置在内部容积中,灯包括第一电极和第二电极,其中,第一电极热耦接且电耦接至壳体,并且其中,第二电极通过导热电绝缘材料和传热元件热耦接至壳体。
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公开(公告)号:CN105164785B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201480022914.6
申请日:2014-04-24
申请人: 株式会社ORC制作所
IPC分类号: H01J61/073
CPC分类号: H01J61/0732 , H01J61/526 , H01J61/86
摘要: 本发明的放电灯具备:放电管;以及配置在放电管内的一对电极,至少一个电极具有:密闭空间,其封入有灯点亮时熔融而对流的传热体;以及中空状的整流体,其在密闭空间内沿着电极轴配置,且具有密闭空间底面侧开口部及密闭空间上表面侧开口部。整流体被配置成,在密闭空间底面侧开口部与密闭空间上表面侧开口部之间形成传热体的流路,而且使电极轴经过流路。
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公开(公告)号:CN104584186B
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201380044279.7
申请日:2013-09-20
申请人: 株式会社ORC制作所
IPC分类号: H01J61/073
CPC分类号: H01J61/86 , H01J61/0732 , H01J61/526
摘要: 本发明的放电灯具有放电管以及配置在所述放电管内的一对电极,至少一个电极具有导热体,该导热体被封入到在电极内部形成的密闭空间中。在灯点亮时,所述导热体为液体状态,在灯熄灭后,所述导热体凝固并以朝向与电极前端侧相反的电极支承棒侧的方式形成凹部。通过形成凹部来降低应力。
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