光致抗蚀剂剥离装置、再循环光致抗蚀剂剥离剂的方法

    公开(公告)号:CN101051190A

    公开(公告)日:2007-10-10

    申请号:CN200710089842.9

    申请日:2007-04-05

    IPC分类号: G03F7/42

    CPC分类号: G03F7/422

    摘要: 本发明提供一种光致抗蚀剂PR剥离装置,其可以再循环光致抗蚀剂剥离剂且在过滤器操作期间实现连续的过滤动作。该PR剥离装置包括:PR剥离槽,用于接收具有PR图案的基板且用于该PR图案的剥离;PR剥离剂回收管,用于接收来自PR剥离槽的PR剥离剂;两个或更多过滤器单元,用于过滤通过PR剥离剂回收管返回的PR剥离剂;以及PR剥离剂供给管,用于向PR剥离槽供给过滤的PR剥离剂。所述两个或更多过滤器单元彼此并联连接在PR剥离剂回收管和PR剥离剂供给管之间。