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公开(公告)号：CN100520657C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200480022484.4
申请日：2004-07-28
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0652 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
摘要： 本发明防止流量的控制精度在小流量域显著降低，在整个流量控制域进行高精度流量控制，同时通过高精度流量控制可以控制宽广的腔室压力范围。具体地说，由并联连接的多台压力式流量控制装置和控制上述多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，向由真空泵排气的腔室流量控制地供给期望的气体的腔室气体供给装置中，令上述一台压力式流量控制装置为控制向腔室供给的最大流量的至多10%的气体流量域的装置，令剩余的压力式流量控制装置为控制剩余的气体流量域的装置。
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公开(公告)号：CN100504697C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200480002284.2
申请日：2004-01-16
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 大见忠弘
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要： 本发明使得能够使用压力式流量控制装置，在3～300SCCM左右的流量范围内，对供给真空腔室等的HF气体等簇化流体高精度地进行流量控制。具体地说，使用压力式流量控制装置的簇化流体的流量控制方法是下述方法，即在节流孔上游侧的气体的压力P1与节流孔下游侧的气体的压力P2之比P2/P1保持在气体的临界压力比以下的状态下，在节流孔中流通的气体的流量Q按照Q＝KP1(其中，K为常数)进行运算，其中，将前述压力式流量控制装置加温到40℃以上，或者向簇化流体中添加稀释气体使之达到分压以下，从而使得缔合的分子离解，之后使得变成了单分子状态的簇化流体通过所述节流孔流通。
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公开(公告)号：CN1285896C
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN02808689.9
申请日：2002-11-22
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 大见忠弘
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要： 一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置，可以自动地修正压力传感器的温度漂移，且即使温度变动，仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用，该压力式流量控制装置在节流装置(4)与控制阀(22)之间设有检测上游侧压力(P1)用的上游侧压力传感器(10)，在根据上游侧压力(P1)运算通过节流装置(4)的流量的同时，还通过控制阀(22)的开闭来控制通过节流装置(4)的流量，该压力式流量控制装置的温度漂移修正装置由测定流体温度的温度传感器(14)、存储流体温度(T)与上游侧压力传感器(10)的输出漂移的关系的存储机构(64)、以及温度漂移修正机构构成，其中，温度漂移修正机构是在流体温度(T)发生变化的情况下，根据存储机构(64)的数据运算上游侧压力传感器(10)的输出漂移量，根据该运算的输出漂移量消除上游侧压力传感器(10)的输出漂移，从而修正温度漂移。利用该结构，可自动地修正压力传感器的温度漂移，进行正确的流量控制。
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公开(公告)号：CN1156738C
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
摘要： 在利用节流孔的压力式流量控制装置上，一面进行流体的流量控制，一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力Pi保持在下游侧压力P2的约2倍以上，按QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QS，根据该计算流量QC与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中，由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅VO的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQS叠加在正常设定流量信号QSO上向控制阀CV输出时，能一面根据正常设定流量信号QSO进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1506607A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： F17D3/00
摘要： 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据Qc＝KP1(K为常数)计算下游侧流量Qc，根据该计算流量Qc与设定流量Qs之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQs，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1145790C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构，把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时，可防止压力检测器的应力引起隔膜变形，避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此，本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触，密封片与隔膜基座的本体部下面接触，同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽，推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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公开(公告)号：CN1320230A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN00801645.3
申请日：2000-07-27
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
摘要： 在利用节流孔的压力式流量控制装置上,一面进行流体的流量控制,一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上,按Qc=KP1(K为常数)计算下游侧流量Qs,根据该计算流量Qc与设定流量Qs的差信号Qy对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中,由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅Vo的检定用信号ΔQs,测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V,当该压力振幅V小于极限振幅Vt时,报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQs叠加在正常设定流量信号Qso上向控制阀CV输出时,能一面根据正常设定流量信号Qso进行流量控制一面检知流量异常。
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公开(公告)号：CN1319181A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：CN00801614.3
申请日：2000-08-03
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
摘要： 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。
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公开(公告)号：CN110017877B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201910001569.2
申请日：2019-01-02
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G01F15/04
摘要： 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。
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公开(公告)号：CN102037423B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN200980118159.0
申请日：2009-03-10
申请人： 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
摘要： 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。
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