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公开(公告)号：CN108663153A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810155128.3
申请日：2018-02-23
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 林和也
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/0133 , G01L9/0054 , G01L9/0055 , G01L9/0073 , G01L19/04 , G01L9/0051 , G01L9/025 , G01L9/065 , G01L2009/0067 , G01L2009/0069
摘要： 本发明提供一种能够发挥优异的压力检测精度的压力传感器及其制造方法、压力传感器模块、电子设备及移动体。压力传感器具有：基板，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜；侧壁部，其被配置于所述基板的一面侧，并在俯视观察所述基板时包围所述隔膜；密封层，其以隔着空间而与所述隔膜对置的方式被配置，并对所述空间进行密封；金属层，其为框状，且位于所述侧壁部与所述密封层之间，所述密封层具有：第一密封层，其具有面对所述空间的贯穿孔；第二密封层，其相对于所述第一密封层而位于与所述空间相反的一侧，并对所述贯穿孔进行密封，在俯视观察所述基板时，所述金属层的内周端位于所述贯穿孔与所述隔膜的外缘之间。
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公开(公告)号：CN105579819A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201480053329.2
申请日：2014-10-03
申请人： 株式会社藤仓
CPC分类号： G01L9/0042 , G01L9/0051 , G01L9/025 , G01L19/0069 , G01L19/0092 , G01L19/04 , G01L19/0654 , G01L19/145 , H01L23/053 , H01L23/16 , H01L23/4952 , H01L23/49558 , H01L23/49575 , H01L23/49861 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2224/48091 , H01L2224/48106 , H01L2224/48247 , H01L2224/49171 , H01L2224/49175 , H01L2224/73265 , H01L2224/8592 , H01L2924/00014 , H01L2924/152 , H01L2924/181 , H01L2924/1815 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/85399 , H01L2224/05599
摘要： 本发明的半导体压力传感器具备：基体部(1)，其具有引线框(4)和树脂制的支承体(5)，上述引线框(4)具有第一面以及第二面，上述支承体(5)支承上述引线框(4)；压力传感器芯片(2)，其设置于上述引线框(4)的上述第一面；以及控制部(3)，其设置于上述引线框(4)的上述第二面，埋设于上述支承体(5)，以具有多个面的形状形成，包括形成于上述多个面中的至少一面并具有比上述支承体(5)低的杨氏模量的应力缓和层(32、33、34、35、36)，接受从上述压力传感器芯片(2)输出的传感器信号并输出压力检测信号，上述压力传感器芯片(2)与上述控制部(3)在俯视观察时至少一部分重叠。
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公开(公告)号：CN104204759A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380010356.7
申请日：2013-02-20
申请人： 德莱赛公司
IPC分类号： G01L19/04
CPC分类号： G01L9/025 , G01L27/005
摘要： 一种数字压力换能器，包含传感器、存储器组件和微处理器。提供校正算法和一组校正系数，并存储在存储器中。应用应用校正系数以将数字化的值转换为压力值。换能器可以包含适于与计算机终端通信的读/写端口；以及适于与主设备通信的至少一个只读端口。校准数字压力换能器的方法包含：存储校正算法；以及校正从主设备分离的数字压力换能器中的系数。
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公开(公告)号：CN103512683A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310261950.5
申请日：2013-06-27
申请人： 大陆汽车系统公司
发明人： J-H.A.乔
IPC分类号： G01L1/18
CPC分类号： G01L9/025 , G01L9/0052 , G01L9/0054 , G01L9/065 , G01L19/04
摘要： 本发明涉及一种用于最小化热噪声的具有阶梯式空腔的压力传感器件。一种压力传感元件可以包括隔膜和阶梯式空腔。所述压力传感元件可以包括可操作以根据响应于感测到的流体的压力的隔膜的弯曲量来生成电信号的多个压敏电阻器。可以使用粘合剂将所述压力传感元件安装到外壳衬底上，以使粘合剂的一部分附着于第一空腔的壁和阶梯式空腔的阶梯面，以重分布压力传感元件上的热诱导应力。所述阶梯式空腔可以被包含在MEMS压力传感元件中以减小或消除诸如偏移电压输出的温度系数（TCO）之类的热噪声。
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公开(公告)号：CN108604559A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009221.7
申请日：2017-01-30
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 一种设备包含：衬底；嵌套式壳体组合件，其包含外部壳体及内部壳体，其中所述外部壳体围封所述内部壳体且所述内部壳体至少围封电子组合件。绝缘介质安置于所述内部壳体的外部表面与所述外部壳体的内部表面之间的腔内，且系统包含通信地耦合到所述电子组合件的传感器组合件。所述传感器组合件包含经配置以在所述衬底的一或多个位置处获取一或多个测量参数的一或多个传感器。所述电子组合件经配置以从所述一或多个传感器接收所述一或多个测量参数。
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公开(公告)号：CN106370326A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610575723.3
申请日：2016-07-21
申请人： 旺玖科技股份有限公司 , 联兴微系统科技股份有限公司
CPC分类号： G01L9/025 , G01L9/0052 , G01L1/18 , G01L9/065
摘要： 本发明提供一种阻抗式传感器及应用其的电子装置。阻抗式传感器包括桥式阻抗电路、补偿电路以及信号处理电路。桥式阻抗电路具有输入侧以及输出侧，用以反应于物理压力产生第一阻抗变化。补偿电路并接于桥式阻抗电路的输入侧，用以反应于环境温度产生第二阻抗变化。信号处理电路用以分别检测第一与第二阻抗变化，并据以产生指示第一阻抗变化的第一感测信号与指示第二阻抗变化的第二感测信号。信号处理电路依据第一与第二感测信号进行信号处理，借以利用第二感测信号补偿第一感测信号的温度偏移部分，并且据以产生压力感测信号。因此，本申请可通过检测补偿电路的阻抗变化来补偿桥式阻抗电路的温度偏移，进而不受环境温度变化影响。
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公开(公告)号：CN102364305A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201110165725.2
申请日：2011-06-14
申请人： 株式会社山武
发明人： 佐佐木友寿
IPC分类号： G01D3/028
摘要： 本发明提供一种物理量传感器。其包括：压力检测部，其检测冷水或温水的压力；温度检测部，其检测压力传感器的温度；修正式存储部，作为在从压力检测部的检出信号中除去温度变化引起的变动量的修正处理中使用的修正式的信息，其存储在温度检测部的检出温度包含在冷水的温度范围中时应用的冷水用的修正式信息、和在温度检测部的检出温度包含在温水的温度范围中时应用的温水用的修正式信息；温度范围决定部，其决定冷水的温度范围或温水的温度范围中的任一个作为温度检测部的检出温度所属于的温度范围；以及修正运算部，其使用与由温度范围决定部决定的温度范围对应的修正式，修正压力检测部的检出信号，并将该修正后的信号作为测定信号输出。
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公开(公告)号：CN108871633A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201710324073.X
申请日：2017-05-10
申请人： 盾安传感科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种压力传感器的信号调理电路。该压力传感器的信号调理电路包括压力传感器芯体(1)以及串联的第一运算放大器(2)和第二运算放大器(3)，压力传感器芯体(1)的差分信号正输出端连接至第一运算放大器(2)的同相输入端，压力传感器芯体(1)的差分信号负输出端连接至第二运算放大器(3)的同相输入端，第一运算放大器(2)的反相输入端连接至第二运算放大器(3)的反馈端，第一运算放大器(2)的输出端为信号输出端。根据本发明的压力传感器的信号调理电路，以解决现有技术中压力信号通过数字ASIC进行信号调理，而导致的高成本，精度漂移，较高的输出纹波与噪声的问题。
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公开(公告)号：CN104204759B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201380010356.7
申请日：2013-02-20
申请人： 德莱赛公司
IPC分类号： G01L19/04
CPC分类号： G01L9/025 , G01L27/005
摘要： 一种数字压力换能器，包含传感器、存储器组件和微处理器。提供校正算法和一组校正系数，并存储在存储器中。应用应用校正系数以将数字化的值转换为压力值。换能器可以包含适于与计算机终端通信的读/写端口；以及适于与主设备通信的至少一个只读端口。校准数字压力换能器的方法包含：存储校正算法；以及校正从主设备分离的数字压力换能器中的系数。
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公开(公告)号：CN101443642B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200780010473.8
申请日：2007-03-08
申请人： 罗斯蒙德公司
发明人： 大卫·A·布罗登
IPC分类号： G01L19/04
CPC分类号： G01L19/0681 , G01L9/025 , G01L13/025 , G01L19/0046
摘要： 一种隔离组件，用于连接到过程变送器(50)以及减轻过程流体的高温效应，其包括具有被配置为接触过程流体的隔离膜(72，74)的过程连接面(70)。变送器连接件(124)具有被配置为连接到过程变送器(50)的压力端的压力连接件。温度隔离流体导管(120，122)在过程连接面(70)和变送器连接件(124)之间延伸，并承载有隔离流体，用于将施加到隔离膜(74)的压力连接到压力连接件上，以最小化过程变送器(50)上过程流体的高温效应。
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