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公开(公告)号：CN104941961B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201510376011.4
申请日：2015-07-01
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供了一种采用激光清洗金属管道的机器人，所述的机器人包括轮式小车、连接部件、机柜。轮式小车包含激光输出部件、摄像部件、吸尘机构；连接部件包含光纤、电缆、数据线、吸尘管；机柜包含激光器、光纤耦合器、电源驱动部件、水冷机、吸尘器、工业计算机。激光从激光器输出，经光纤耦合器耦合进光纤，通过光纤传输至轮式小车搭载的激光输出部件中的光纤准直系统后，再通过激光输出部件中的扫描振镜及旋转辅助部件从而输出可360°旋转的线形光斑。利用线形光斑360°旋转扫描金属管道内壁，达到清洗管道的目的。本发明用于对金属管道进行在线洁净处理，从而实现对金属管道的在线洁净维持。
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公开(公告)号：CN105750272A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610245993.8
申请日：2016-04-20
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号： B08B7/0007 , B08B7/0021 , B08B13/00
摘要： 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。
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公开(公告)号：CN118175674A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410286006.3
申请日：2024-03-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开一种用于真空环境的激光加热装置，涉及激光技术应用领域，包括激光器、穿壁式耦合器、高温计、可编程控制器、上位机、传能光纤、透镜I、透镜II和套筒；透镜I位于穿壁式耦合器内部的后端，套筒安装在穿壁式耦合器前端，透镜II位于套筒内部；激光器输出的激光经传能光纤进入穿壁式耦合器；透镜I用于准直传能光纤输出的激光，使其成为平行光；透镜II用于聚焦平行光；平行光聚焦后照射在被加热物体上，给该物体加热；高温计用于测量该物体的温度；可编程控制器用于接收高温计传输的该物体的温度，并将该物体的温度传输给上位机。本发明结构简单，容易在科学仪器中放置，且不会给周围物体加热，适用于真空环境中的小体积物体加热。
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公开(公告)号：CN118084340A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410205512.5
申请日：2024-02-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及应用光学技术领域，尤其涉及一种用于光斑强度调控的光学元件的制备方法。本发明提供了一种用于光斑强度调控的光学元件的制备方法，包括以下步骤：将熔石英光学元件置于模具中进行等离子体刻蚀，得到刻蚀后的光学元件；所述模具的顶盖设置有透过等离子体刻蚀的孔。所述制备方法制备的光学元件抗光损伤能力强。
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公开(公告)号：CN112608035B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202011542250.X
申请日：2020-12-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 本发明公开了一种熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法，包括损伤点尺寸测量、飞秒激光改性、溶液腐蚀和残液清洗的步骤。采用以上技术方案的熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法，先利用飞秒激光改性装置对熔石英元件需要去除的部分勾勒轮廓改性，再利用化学溶剂进行去除，不仅能够快速地去除包含损伤点的熔石英块体，完成对损伤点的复合修复，具有高效稳定的特点，而且可以避免热应力的残留，不影响熔石英元件的阈值。
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公开(公告)号：CN112608035A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011542250.X
申请日：2020-12-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 本发明公开了一种熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法，包括损伤点尺寸测量、飞秒激光改性、溶液腐蚀和残液清洗的步骤。采用以上技术方案的熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法，先利用飞秒激光改性装置对熔石英元件需要去除的部分勾勒轮廓改性，再利用化学溶剂进行去除，不仅能够快速地去除包含损伤点的熔石英块体，完成对损伤点的复合修复，具有高效稳定的特点，而且可以避免热应力的残留，不影响熔石英元件的阈值。
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公开(公告)号：CN109277372A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811337942.3
申请日：2018-11-12
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种道路交通标线的激光清洗方法，该方法包括：对激光清洗机进行预热，调节所述激光清洗机输出激光的平均功率、重复频率和脉冲宽度；调节作用于道路交通标线上的激光光斑直径和激光光斑线长；将吸尘器的吸气嘴倾斜放置于距离激光作用点5cm-10cm处；打开所述激光清洗机光闸，打开所述吸尘器，沿垂直于光斑线长方向同时水平移动所述激光清洗机输出头和所述吸尘器吸气嘴。本发明具有在不损伤路基的前提下有效去除道路交通标线，且清洗后的产物便于收集，对环境污染小的优点。
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公开(公告)号：CN105750272B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610245993.8
申请日：2016-04-20
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。
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公开(公告)号：CN105241224B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510730105.7
申请日：2015-11-02
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： F26B23/06
摘要： 本发明提供了一种箱体内壁红外烘烤机，该红外烘烤机的底座下安装有四个万向轮；底座上面的一侧安装有电机，电机上安装有螺杆，灯架Ⅰ上的内螺纹套筒套在螺杆上并与螺杆形成螺纹‑螺杆运动副，螺杆与底座上面的轨道平行，灯架Ⅰ在轨道上滑动；底座上面还布置有棘轮‑滑轮机构控制灯架Ⅱ的升降；灯架Ⅰ与灯架Ⅱ固连，灯架Ⅰ和灯架Ⅱ上布置有红外烘烤灯。本发明的箱体内壁红外烘烤机可在箱体内的四个维度上运动调整，烘烤效率高且不会对箱体外表面喷漆造成损坏，能够满足为大型激光装置下架洁净清洗后的箱体加快残留水分蒸发和防锈的需求，结构简单，烘烤快速，方便宜行，操作容易。
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