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公开(公告)号：CN115678060B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202211016500.5
申请日：2022-08-24
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明提供了一种介电薄膜、电容式压力传感器及其制备方法；介电薄膜的制备方法，包括如下步骤：将热膨胀颗粒与PDMS溶液混合，得到混合溶液；将混合溶液涂覆在基材的表面，并加热固化，以在基材表面形成介电薄膜，介电薄膜包括PDMS膜层及凸出于PDMS膜层表面的由热膨胀颗粒形成的空心半球形凸起。相对于传统的模具法、3D打印法和静电纺丝法等电容式压力传感器的制备方法，本发明的制备方法不仅工艺非常简单、成本低、可重复性高、可以实现大面积生产，而且所制备的电容式压力传感器的灵敏度较高。
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公开(公告)号：CN113029348B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202110195899.7
申请日：2021-02-22
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及微纳器件测试技术领域，公开了一种表面温度场信息获取方法。将待测样品安装于实际应用环境中，测试获取待测样品在实际应用环境中的第一频率漂移特性曲线；将待测样品固定于红外成像设备上，测试获取待测样品在红外成像设备上的第二频率漂移特性曲线；根据第一频率漂移特性曲线获取待测样品在第一功率下所对应的第一频率漂移；根据第二频率漂移特性曲线获取待测样品的第一频率漂移所对应的第二功率；对固定于红外成像设备上的待测样品施加第二功率，利用红外成像设备获取待测样品的表面温度场信息。通过建立从实际工作环境到显微红外测试环境的映射，消除了由于显微红外测试环境相对于实际工作环境的热导率存在差异而产生的测试误差。
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公开(公告)号：CN114034416A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111213456.2
申请日：2021-10-19
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01L1/14
Abstract: 本申请涉及一种柔性电容式传感器及其制备方法，包括第一保护层、第一电极层、介电层、第二电极层以及第二保护层，第一保护层与第二保护层相对设置，第一电极层与第二电极层相对设置，介电层设置于第一电极层与第二电极层之间；其中介电层远离第二电极层的表面具有空心凸起状结构。上述柔性电容式传感器制备时，通过在柔性电容式传感器的介电层表面形成具有均匀分布的空心凸起状结构，使得本申请的柔性电容式传感器在受到压力作用时，介电层表面的空心凸起状结构能产生较大的变形，可以改变介电层的有效介电常数，使测试电容迅速增大，从而提高传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118999824B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411464870.4
申请日：2024-10-21
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明公开了一种反射率热成像测试方法和计算机设备，所述方法采用连续波段光源为待测试器件的待测试区域提供入射光，通过热反射校准系数测试步骤获取不同波段光源下器件待测区域所有位置的热反射校准系数；通过反射率测试步骤获取不同波段光源下器件待测区域所有位置的反射率；通过数据处理步骤基于待测试器件所有位置的最大热反射校准系数，以及所有位置在热反射校准系数最大情况下对应波段光源下测试的反射率，计算获得待测试器件所有位置的温度数据，并将温度数据组合形成温度分布。本发明能够解决现有技术中存在的测试时间长、部分区域因材料对光源响应较差而导致温度测试结果出现极大偏离的问题，提高反射率热成像测试的效率和准确度。
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公开(公告)号：CN114371384B
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202111575063.6
申请日：2021-12-21
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01R31/28
Abstract: 本申请提供了一种电迁移测试电路，包括测试模块、数据采集模块及控制模块，其中，测试模块用于根据输出控制信号对待测样品施加预设参数的测试信号；数据采集模块与测试模块连接，用于根据开关动作信号动作，控制待测样品接入对应的测试回路，并采集待测样品的电迁移试验参数信息；控制模块，与测试模块及数据采集模块均连接，用于根据接收的测试触发信号生成输出控制信号，以控制测试模块生成测试信号；及/或根据测试触发信号生成开关动作信号，以控制数据采集模块动作，使待测样品接入对应的测试回路。上述测试电路中，基于控制模块与数据采集模块生成待测样品的寿命预测方程，能相对准确的评估样品使用寿命，大大提高了测试效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113611686B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202110764829.9
申请日：2021-07-06
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: H01L23/544 , H01L21/66 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及半导体技术领域，公开了一种半导体测试结构及其制造方法、测试方法。半导体测试结构包括基底，包括半导体衬底以及介质层，所述基底内具有至少两个间隔设置的通孔；硅通孔结构，形成于所述通孔内；至少两个焊盘，分别位于所述硅通孔结构上，所述焊盘靠近所述基底的一侧与所述硅通孔结构相连接。通过设置两个硅通孔结构，从而利用一个硅通孔代替传统绝缘层测试结构中的导电材料层形成电容式测试结构。在制造该半导体测试结构时只需改变掩模板即可，不需要如传统测试结构中一样向衬底嵌入环绕着硅通孔的导电材料层。使用上述半导体测试结构对TSV绝缘层的可靠性进行测试时，制造整个测试结构所需的工艺步骤少，且结构简单、易于测试。
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公开(公告)号：CN115711677A
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202211108819.0
申请日：2022-09-13
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01K7/00
Abstract: 本申请涉及一种柔性温度传感器的制备方法及柔性温度传感器。所述方法包括：将聚乙烯醇和去离子水按预设比例混合，并置于第一预设温度下搅拌，得到澄清聚乙烯醇溶液，将氢氧化钾和去离子水按预设比例混合，逐步滴入聚乙烯醇溶液并搅拌，得到柔性混合溶液，将多孔结构的第一电极固定于模具底部，将柔性混合溶液导入模具并静置第二预设时间，得到柔性离子膜，第一电极与柔性离子膜的第一面贴合，使用绝缘胶水作为介电层，将第二电极通过绝缘胶水与柔性离子膜的第二面贴合。提高电极与柔性离子膜的接触面积，使得第一电极所产生的电势更高，从而达到准确测量温度的效果。
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公开(公告)号：CN115678060A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211016500.5
申请日：2022-08-24
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明提供了一种介电薄膜、电容式压力传感器及其制备方法；介电薄膜的制备方法，包括如下步骤：将热膨胀颗粒与PDMS溶液混合，得到混合溶液；将混合溶液涂覆在基材的表面，并加热固化，以在基材表面形成介电薄膜，介电薄膜包括PDMS膜层及凸出于PDMS膜层表面的由热膨胀颗粒形成的空心半球形凸起。相对于传统的模具法、3D打印法和静电纺丝法等电容式压力传感器的制备方法，本发明的制备方法不仅工艺非常简单、成本低、可重复性高、可以实现大面积生产，而且所制备的电容式压力传感器的灵敏度较高。
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公开(公告)号：CN113948497A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111027584.8
申请日：2021-09-02
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: H01L23/544 , H01L21/66
Abstract: 本发明涉及半导体测温技术领域，公开了一种反射率热成像仪测试模块及测试方法，包括第一测试样品区域，所述第一测试样品区域包括以不同间隔距离排布的多条金属线，每条所述金属线的两端都设有焊盘，且每条所述金属线的尺寸均相同；第一功率模块，与任意两条相邻的所述金属线的焊盘相连接，用于向任意两条相邻的所述金属线提供第一测试电信号。利用本公开提供的反射率热成像仪测试模块可以实现对反射率热成像仪的关键指标进行测试验证，从而可以对反射率热成像仪的测试性能进行进一步研究与提高。
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公开(公告)号：CN113029348A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110195899.7
申请日：2021-02-22
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及微纳器件测试技术领域，公开了一种表面温度场信息获取方法。将待测样品安装于实际应用环境中，测试获取待测样品在实际应用环境中的第一频率漂移特性曲线；将待测样品固定于红外成像设备上，测试获取待测样品在红外成像设备上的第二频率漂移特性曲线；根据第一频率漂移特性曲线获取待测样品在第一功率下所对应的第一频率漂移；根据第二频率漂移特性曲线获取待测样品的第一频率漂移所对应的第二功率；对固定于红外成像设备上的待测样品施加第二功率，利用红外成像设备获取待测样品的表面温度场信息。通过建立从实际工作环境到显微红外测试环境的映射，消除了由于显微红外测试环境相对于实际工作环境的热导率存在差异而产生的测试误差。
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