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公开(公告)号:CN107086181A
公开(公告)日:2017-08-22
申请号:CN201710254487.X
申请日:2017-04-18
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
IPC分类号: H01L21/336 , H01L29/786 , H01L27/12
CPC分类号: H01L29/66742 , H01L27/1214 , H01L29/78609 , H01L29/78633
摘要: 本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示器,该薄膜晶体管的制作方法,包括:提供基板;在所述基板上通过一次构图工艺形成有源层和覆盖所述有源层的遮光层,所述遮光层由光刻胶材料形成;以及形成源漏电极层和覆盖所述源漏电极层的钝化层。本发明提供的薄膜晶体管及其制作方法,在有源层上制作遮光层,以减少有源层受到光照而产生的漏电流,提升显示品质,且遮光层为光刻胶材料,在制备有源层的过程中,采用光刻胶层为掩模,制作完成有源层之后,保留的光刻胶层即用作覆盖有源层的遮光层,遮光层与有源层通过一次构图工艺制作出来,无需增加构图工序,能够简化工艺流程,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN106129188B
公开(公告)日:2017-08-08
申请号:CN201610810604.1
申请日:2016-09-08
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
IPC分类号: H01L31/18 , H01L31/0445 , H01L31/0749
CPC分类号: Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要: 本发明提供一种薄膜太阳能电池的制作方法,包括利用干法成膜工艺进行的以下步骤:在基底上形成背电极层;在所述背电极层上形成吸收层;在所述吸收层上形成缓冲层;在所述缓冲层上形成窗口层。相应地,本发明还提供一种由上述制作方法制成的薄膜太阳能电池。本发明能够提高薄膜太阳能电池的生产效率,减少膜层缺陷。
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公开(公告)号:CN105974740A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610579302.8
申请日:2016-07-21
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种光刻胶图形的成形方法、膜层制作方法、基板及其制作方法、显示装置、光刻胶喷涂装置,本发明通过喷涂的方式在薄膜上喷涂光刻胶形成预定形状的图形,可以省去曝光、显影的步骤,简便快捷,同时可以不用涂覆整面的光刻胶,并且避免使用显影液等化学试剂,不会造成光刻胶以及显影剂的浪费,节约了资源,降低了成本。另外本发明不必根据光刻胶的图像更换不同的掩膜版,可以进一步地降低生产成本。
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公开(公告)号:CN107086181B
公开(公告)日:2021-08-13
申请号:CN201710254487.X
申请日:2017-04-18
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
IPC分类号: H01L21/336 , H01L29/786 , H01L27/12
摘要: 本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示器,该薄膜晶体管的制作方法,包括:提供基板;在所述基板上通过一次构图工艺形成有源层和覆盖所述有源层的遮光层,所述遮光层由光刻胶材料形成;以及形成源漏电极层和覆盖所述源漏电极层的钝化层。本发明提供的薄膜晶体管及其制作方法,在有源层上制作遮光层,以减少有源层受到光照而产生的漏电流,提升显示品质,且遮光层为光刻胶材料,在制备有源层的过程中,采用光刻胶层为掩模,制作完成有源层之后,保留的光刻胶层即用作覆盖有源层的遮光层,遮光层与有源层通过一次构图工艺制作出来,无需增加构图工序,能够简化工艺流程,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN106057829B
公开(公告)日:2019-05-03
申请号:CN201610677868.4
申请日:2016-08-16
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
摘要: 本发明的实施例提供一种基板及其制备方法、显示面板及其制备方法,涉及显示技术领域,可提高产品良率。该基板的制备方法包括在基片上形成透明无机绝缘层;在形成有所述透明无机绝缘层的所述基片上,形成TFT;采用干法刻蚀工艺对所述基片进行刻蚀,以使形成有所述TFT的透明无机绝缘层释放;采用键合方式,将所述透明无机绝缘层装配到玻璃基板上。用于具有TFT的装置。
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公开(公告)号:CN107195637A
公开(公告)日:2017-09-22
申请号:CN201710358185.7
申请日:2017-05-19
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
IPC分类号: H01L27/12
CPC分类号: H01L27/124 , H01L27/1259 , H01L27/127
摘要: 本发明公开了一种显示面板的制造方法和显示面板,属于显示技术领域。所述方法包括:在形成有第一膜层结构的衬底基板上形成绝缘层;在所述绝缘层上形成过孔;在形成有所述绝缘层的衬底基板上形成接触电极和第二膜层结构,所述接触电极位于所述过孔内,使得所述第一膜层结构、所述第二膜层结构及所述接触电极三者之间均构成电连接。本发明通过在过孔处形成接触电极,以接触电极来连接两个膜层结构,解决了相关中两个膜层结构可能在过孔处断开的问题。达到了位于绝缘层两侧的两个膜层结构能够稳定的形成电连接的效果。
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公开(公告)号:CN107193141A
公开(公告)日:2017-09-22
申请号:CN201710586393.2
申请日:2017-07-18
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
CPC分类号: G02F1/1309 , G01N21/8851 , G01N2021/8887
摘要: 本发明提供了一种TFT基板的检测装置及方法,所述装置包括:光源,分束器,可移动参考镜,图像采集单元及测控单元;该装置利用分束器首先将光源发出的光分成两束,其中一束打向TFT基板,另一束打向可移动参考镜,这两束光经过反射以后又经分束器传输到图像采集单元,形成干涉图像并传输至测控单元,根据测控单元显示的干涉图像,可以定量测量TFT基板上Mura的位置及尺寸,还可以直观地判断Mura的严重程度,由于是通过非接触地测量,还可以避免对TFT基板表面结构的破坏。
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公开(公告)号:CN107170829A
公开(公告)日:2017-09-15
申请号:CN201710338853.X
申请日:2017-05-15
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
IPC分类号: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L27/12
摘要: 本申请提供一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示面板,以有效降低薄膜晶体管的漏电流,避免由于薄膜晶体管漏电流较大而导致显示器容易发生串扰和闪屏的问题。所述薄膜晶体管,包括:设置在衬底基板之上的遮光层;设置在所述遮光层之上的有源层;其中,所述遮光层在面向所述有源层的一面设置有凹槽,所述凹槽的底面在所述衬底基板的正投影覆盖所述有源层在所述衬底基板的正投影。
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公开(公告)号:CN106449656A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201610947041.0
申请日:2016-10-26
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
IPC分类号: H01L27/12 , H01L23/552 , H01L21/77 , G02F1/1362
CPC分类号: H01L27/1214 , G02F1/136209 , G02F2001/136295 , H01L23/552 , H01L27/1248 , H01L27/1259
摘要: 本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板和显示装置,属于显示器领域。所述阵列基板包括:基板,设置在基板上的栅极,设置在栅极上的栅极绝缘层,设置在栅极绝缘层上的绝缘遮光层,设置在绝缘遮光层上的有源层,设置在有源层上的源极和漏极,绝缘遮光层位于栅极的上方。通过在薄膜晶体管的栅极绝缘层和有源层之间制作一层绝缘遮光层,绝缘遮光层位于栅极的上方,使得栅极被绝缘遮光层遮盖,避免光线在栅极金属和源漏极金属(源极和漏极)之间来回反射,可以遮挡通过栅极金属和源漏极金属之间的反射而照射到有源层上的光线,从而减小了薄膜晶体管工作时的漏电流,改善了液晶显示器工作时的闪烁和串扰等缺陷,提高了显示品质。
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公开(公告)号:CN106199835A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610575005.6
申请日:2016-07-20
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
摘要: 本发明提供一种光纤透镜制作方法及光纤透镜。所述方法包括:将光纤的一端浸泡在刻蚀溶液中进行刻蚀,在所述一端形成容纳槽,所述光纤包括包层和被所述包层包裹的纤芯,所述纤芯在所述刻蚀液中的刻蚀速度大于所述包层在所述刻蚀液中的刻蚀速度;将透明光学材料填充入所述容纳槽中,形成光纤透镜。所述光纤透镜,采用本发明任意一项实施例所提供的制作方法制作得到。本发明所提供的光纤透镜制作方法及光纤透镜,能够通过简单的工艺制作光纤透镜。
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