溅射靶材及溅射装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103014639A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210535884.1

    申请日:2012-12-12

    IPC分类号: C23C14/34

    摘要: 本发明公开了一种溅射靶材,包括多个第一分块和多个第二分块,所述多个第一分块和第二分块成多行多列分布,其中每行中所述第一分块与所述第二分块交错分布,每列中所述第一分块与所述第二分块也交错分布。本发明还公开了一种包括上述溅射靶材的溅射装置,其还包含交流电源,所述交流电源包括极性相反的第一电极和第二电极,所述溅射靶材的每个第一分块与所述交流电源的第一电极对应连接,所述溅射靶材的每个第二分块与所述交流电源的第二电极对应连接。本发明将溅射靶材设计成块状,使靶材得到充分利用,并且产品膜质更具均一性。

    溅射靶材及溅射装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103014639B

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201210535884.1

    申请日:2012-12-12

    IPC分类号: C23C14/34

    摘要: 本发明公开了一种溅射靶材,包括多个第一分块和多个第二分块,所述多个第一分块和第二分块成多行多列分布,其中每行中所述第一分块与所述第二分块交错分布,每列中所述第一分块与所述第二分块也交错分布。本发明还公开了一种包括上述溅射靶材的溅射装置,其还包含交流电源,所述交流电源包括极性相反的第一电极和第二电极,所述溅射靶材的每个第一分块与所述交流电源的第一电极对应连接,所述溅射靶材的每个第二分块与所述交流电源的第二电极对应连接。本发明将溅射靶材设计成块状,使靶材得到充分利用,并且产品膜质更具均一性。

    一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置

    公开(公告)号:CN107170761A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710437796.0

    申请日:2017-06-12

    摘要: 本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置,用以使观看者能在各个视角都能观看到均匀的反射效果,提高显示效果。阵列基板的制作方法,包括在衬底基板上依次制作薄膜晶体管和钝化层的方法,还包括:在钝化层上依次形成反射层和透明导电层;反射层通过贯穿钝化层的过孔与薄膜晶体管的源极或漏极电连接,透明导电层包括若干金属离子;对透明导电层进行还原处理,使得金属离子被还原出来,形成一金属颗粒层;对完成上述步骤的透明导电层和反射层进行构图工艺,形成像素电极。