公开(公告)号：CN103985652A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201310049375.2

申请日：2013-02-07

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 李成敏 ,  刘健鹏 ,  严冬 ,  叶龙茂 ,  谌雅琴 ,  王林梓 ,  焦宏达

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01L1/00

CPC分类号： H01L22/12 ,  G01L1/24 ,  H01L22/20

摘要： 本发明公开了一种晶片应力测量装置，属于半导体器件技术领域。包括探测光发生装置、分束镜、腔室、样品托盘和位置探测装置，样品托盘置于腔室底部，晶片置于样品托盘上，腔室顶部设有狭缝窗口，探测光发生装置发出的探测光经过分束镜后垂直射向晶片，依次经过分束镜和狭缝窗口后垂直射向晶片，被晶片反射，依次经过狭缝窗口和分束镜后射向位置探测装置，样品托盘能够带动晶片旋转，使探测光在晶片上扫描。本发明还公开了基于该测量装置的测量方法。应用该测量装置及测量方法能够同时测量晶片X方向及Y方向应力的晶片应力。