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公开(公告)号:CN119866387A
公开(公告)日:2025-04-22
申请号:CN202280099852.3
申请日:2022-09-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 维巴斯·辛格 , 尼尔·莫里森
IPC: C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/10 , C23C14/50 , C23C16/02 , C23C16/30 , C23C16/32 , C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/458 , A61M5/24 , A61J1/14
Abstract: 提供了一种用于药物制剂的封闭件、一种用于制造用于药物制剂的封闭件的方法以及一种用于制造用于药物制剂的封闭件的旋转沉积设备。所述用于药物制剂的封闭件包括聚合物封闭件主体和至少一个阻挡层,所述至少一个阻挡层在聚合物封闭件主体上方。此外,至少一个阻挡层包括促粘层材料,所述促粘层材料在至少一个阻挡层的厚度的接近聚合物封闭件主体的表面的至少一部分内,并且促粘层材料包括SiOxCy:H。此外,至少一个阻挡层包括阻挡层材料,所述阻挡层材料在至少一个阻挡层的厚度的远离聚合物封闭件主体的表面的至少一部分内,并且阻挡层材料选自由以下组成的组:SixNy、SixCy、SixOyNz、SixOyCz、SiO2、AlxOy、AlOxNy、TiO2和它们的组合。
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公开(公告)号:CN114026627B
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202080046786.4
申请日:2020-06-16
Applicant: 应用材料公司
IPC: G09F9/30 , H10K50/858 , H10K77/10 , G02B1/11 , G02B1/116 , G02B1/14 , G02B1/18 , G02F1/1333 , H05K5/03
Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置,且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中,柔性覆盖透镜组件包含:玻璃层、位于玻璃层上的粘性促进层、设置在粘性促进层上的抗反射层、具有约1GPa至约5Gpa范围内的纳米压痕硬度且设置在抗反射层上的干硬涂层、以及设置在干硬涂层上的抗指纹涂层。
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公开(公告)号:CN114096894A
公开(公告)日:2022-02-25
申请号:CN202080046775.6
申请日:2020-06-16
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置,且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中,柔性覆盖透镜组件包含:玻璃层、设置在玻璃层上的粘性促进层、具有约1GPa至约5Gpa范围内的纳米压痕硬度且设置在粘性促进层上的干硬涂层、以及设置在干硬涂层上的抗指纹涂层。
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公开(公告)号:CN112334596A
公开(公告)日:2021-02-05
申请号:CN201880094642.9
申请日:2018-06-14
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了一种用于导引柔性基板(10)的滚轴装置(100)。滚轴装置(100)包括支撑表面(110),支撑表面(110)用于接触柔性基板(10),支撑表面(110)具有涂层(120),涂层(120)包括负电性聚合物。此外,描述了一种包括滚轴装置(100)的用于处理柔性基板的真空处理设备,及一种在真空处理设备中处理柔性基板的方法。
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公开(公告)号:CN109477203A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201680087568.9
申请日:2016-07-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 托马斯·德皮施 , 斯蒂芬·海因 , 尼尔·莫里森 , 赖纳·库克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·劳伦兹 , 德克·瓦格纳 , 瓦莱里亚·梅特 , 沃尔克·哈克 , 乌韦·赫尔曼斯 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔特·文德尔穆特 , 于尔根·乌尔里奇
Abstract: 描述一种用层堆叠结构涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含:第一卷筒腔室(110),配置用于容纳存储卷筒,所述存储卷筒用于提供柔性基板;第一沉积腔室(120),布置在第一卷筒腔室下游并且包含第一涂布滚筒(122),所述第一涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第一组多个沉积单元(121);第二沉积腔室(140),布置在第一沉积腔室(120)下游并且包含第二涂布滚筒(142),所述第二涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第二组多个沉积单元(141);第二卷筒腔室,布置在第二沉积腔室(140)下游并且被配置用于容纳缠绕卷筒,所述缠绕卷筒用于在沉积之后在此缠绕卷筒上缠绕柔性基板;和辊组件,配置成将柔性基板(10)沿部分凸形并且部分凹形的基板传送路径从第一卷筒腔室传送到第二卷筒腔室。此外,描述一种涂布柔性基板的方法,特别是用所描述的沉积设备涂布柔性基板的方法。
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公开(公告)号:CN108603291A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201680081594.0
申请日:2016-02-12
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 提供一种用于柔性基板的真空处理系统(100)。真空处理系统(100)包括:第一腔室(110),适于容纳供应卷(111)以用于提供柔性基板;第二腔室(120),适于容纳收紧卷(121)以用于在处理之后存储柔性基板(160);基板运输布置,包括用于将柔性基板从第一腔室(110)引导到第二腔室(120)的一个或多个引导辊(104);维护区(130),在第一腔室(110)与第二腔室(120)之间,其中维护区(130)允许通向或属于第一腔室(110)和第二腔室(120)中的至少一个腔室的维护通道;和第一处理腔室(140),用于处理柔性基板(10)。
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公开(公告)号:CN114041181B
公开(公告)日:2024-06-21
申请号:CN202080046782.6
申请日:2020-06-16
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置,且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中,柔性覆盖透镜组件包含:玻璃层、设置在玻璃层上的冲击吸收层、设置在冲击吸收层上的防潮层、设置在防潮层上的基板、具有约0.4GPa至约1.5GPa范围内的纳米压痕硬度且设置在基板上的湿硬涂层、设置在湿硬涂层上的粘性促进层、设置在粘性促进层上的抗反射层、具有约1GPa至约5Gpa范围内的纳米压痕硬度且设置在抗反射层上的干硬涂层、以及设置在干硬涂层上的抗指纹涂层。
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公开(公告)号:CN118160127A
公开(公告)日:2024-06-07
申请号:CN202280068857.X
申请日:2022-09-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 类维生 , G·K·戈帕拉克里希南·奈尔 , 赵·K·秋静 , 丹尼尔·斯托克 , 托比亚斯·斯托利 , 托马斯·德皮施 , 简·德尔马斯 , 肯尼斯·S·勒德福 , 苏布拉曼亚·P·赫尔勒 , 基兰·瓦查尼 , 马亨德兰·奇丹巴拉姆 , 罗兰·特拉斯尔 , 尼尔·莫里森 , 弗兰克·施纳朋伯杰 , 凯文·劳顿·坎宁安 , 斯蒂芬·班格特 , 詹姆斯·库辛 , 维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南
IPC: H01M10/058 , H01M10/052 , B23K26/36 , B23K26/352
Abstract: 提供用于借由具有宽工艺窗、高效率及低成本的激光源来处理锂电池的方法及设备。激光源被调适以实现皮秒脉冲的高平均功率及高频率。激光源可在固定位置或以扫描模式产生线形光束。系统可在干燥室或真空环境中操作。系统可包括对处理位点的碎屑移除机制(例如,惰性气体流)以移除在图案化工艺期间产生的碎屑。
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公开(公告)号:CN112334596B
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN201880094642.9
申请日:2018-06-14
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了一种用于导引柔性基板(10)的滚轴装置(100)。滚轴装置(100)包括支撑表面(110),支撑表面(110)用于接触柔性基板(10),支撑表面(110)具有涂层(120),涂层(120)包括负电性聚合物。此外,描述了一种包括滚轴装置(100)的用于处理柔性基板的真空处理设备,及一种在真空处理设备中处理柔性基板的方法。
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公开(公告)号:CN110177683B
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN201780083056.X
申请日:2017-01-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 尼尔·莫里森 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 海克·兰特格雷夫 , 斯蒂芬·海因 , 托比亚斯·斯托利
IPC: B32B15/08 , B32B27/10 , B32B27/28 , B32B27/30 , B32B27/32 , B32B27/36 , B32B27/40 , B32B29/00 , C23C16/30 , B32B15/082 , B32B15/085 , B32B15/09 , B32B15/095 , B32B23/00 , B32B23/04
Abstract: 在此描述一种阻挡层系统(100),适用于使用在光电装置中。所述阻挡层系统包含:柔性基板(101);第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120),其中第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)构造成具有对于水/氧渗透的阻挡性质。此外,所述阻挡层系统包含设置在第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)之间的聚合缓冲层(115),其中聚合缓冲层(115)构造成用以增加第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)之间的渗透路径长度。
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