光波导路装置的制造方法
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101957475B

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201010230603.2

    申请日:2010-07-15

    CPC classification number: G02B6/138

    Abstract: 本发明提供一种在基板的表面上形成光波导路的情况下、能够与该基板的种类无关地减小光在光波导路的芯中的传播损失的光波导路装置的制造方法。在使用金属制基板(11)等情况下,芯形成用照射线(L)因该金属制基板(11)等而产生不规则反射,芯(3)的侧面(3a)形成为粗糙面。但是,之后,用非溶剂类的感光性树脂组合物形成上敷层形成用(第2)的感光性树脂层(4A),通过在曝光之前加热,将芯(3)和感光性树脂层(4A)之间的界面部分形成混合层(5)。由于该混合层(5)的形成,光很少在形成为粗糙面的芯(3)的侧面(3a)部分传播,所以传播的光受芯(3)的侧面(3a)的粗糙面的影响很小,光的传播损失小。

    光波导路装置的制造方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101526644A

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200910118142.7

    申请日:2009-03-04

    Inventor: 疋田贵巳

    CPC classification number: G02B6/13 G02B6/1221 G02B6/25 Y10T156/1052

    Abstract: 本发明提供一种利用切断形成的光入射端面和光射出端面的平滑性优异且生产率高的光波导路装置的制造方法。通过自上述基板(1)侧对层叠体进行冲切,获得在该被冲切的基板(1)上形成有光波导路的光波导路装置,该层叠体由具有1个或多个光波导路的形成预定部(20)的薄膜体(2)和层叠在该薄膜体(2)上的基板(1)构成。上述冲切用刀模具的刀中的用于至少形成上述光入射端面(20a)和光射出端面(20b)的刀(3)是刃面(3a)的算术平均粗糙度(Ra)低于0.02μm的平面刀。

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