公开(公告)号：CN108139688A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057221.X

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/22 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。

公开(公告)号：CN108139679A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057215.4

申请日：2016-09-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/20

Abstract: 将基板(P)的多个区划区域(S1～S4)分别扫描曝光的曝光装置，其具有：非接触保持具(32)，能以非接触方式支承在彼此交叉的第1及第2方向的至少一方向排列配置的前述多个区划区域(S1～S4)；基板载具(40)，保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；对准传感器(96)，进行检测设在前述多个区划区域(S1～S4)的多个对准标记(Mk)的检测动作；以及Y线性致动器(62)，以被前述基板载具(40)保持且进行了前述检测动作的基板(P)的一部分从非接触保持具(32)脱离的方式，使基板载具(40)相对非接触保持具(32)移动。

公开(公告)号：CN103097959B

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201180044021.8

申请日：2011-09-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

CPC classification number: G03F7/7075 ,  G03F7/70791

Abstract: 于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pb)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pb)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

公开(公告)号：CN105842993A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610289114.1

申请日：2011-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H02K41/03 ,  F16C29/00 ,  F16C39/04 ,  F16C39/06

Abstract: 于基板载台(PST)，在Y粗动载台(23Y)移动于Y轴方向时，X粗动载台(23X)、重量消除装置(40)及X导件(102)与Y粗动载台(23Y)一体移动于Y轴方向，在X粗动载台(23X)于Y粗动载台(23Y)上移动于X轴方向时，重量消除装置(40)在X导件(102)上与X粗动载台(23X)一体移动于X轴方向。由于X导件(102)系涵盖重量消除装置(40)于X轴方向的移动范围延设于X轴方向，因此重量消除装置(40)不受其位置限制，恒被X导件(102)支承。

公开(公告)号：CN105404097A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510651366.X

申请日：2011-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13

Abstract: 通过基板支承构件(60)在Y步进定盘(20)上于扫描方向以既定行程移动，保持于该基板支承构件(60)的基板(P)即以被空气悬浮装置(59)从下方支承的状态于扫描方向以既定行程移动。又，由于具有空气悬浮装置(59)的Y步进导件(50)与基板支承构件(60)一起移动于交叉扫描方向，因此能使基板(P)往扫描方向及/或交叉扫描方向任意移动。此时，由于Y步进定盘(20)也与基板支承构件(60)及Y步进导件(50)一起移动于交叉扫描方向，因此基板支承构件(60)随时支承于Y步进定盘(20)。

公开(公告)号：CN105372947A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510651404.1

申请日：2011-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  F16C29/02 ,  F16C29/00

CPC classification number: G03F7/709 ,  F16C29/008 ,  F16C29/025 ,  G03F7/70716

Abstract: 于基板载台装置(PST)中，搭载于Y步进定盘(50)上的基板支承构件(60)保持基板(P)。基板支承构件(60)于Y步进定盘(50)上以长行程移动于扫描方向。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位被定点载台(80)从下方以非接触方式吸附保持，其他部位被配置于Y步进定盘(50)上的多台空气悬浮装置(70)悬浮支承。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位，通过定点载台(80)被控制成基板(P)的面位置位于投影光学系统的焦深内。

公开(公告)号：CN102696099A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201080053764.7

申请日：2010-11-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  关忠 ,  柳川卓也

IPC: H01L21/677 ,  G03F7/20 ,  B65G49/06

CPC classification number: G03F7/70733 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67748

Abstract: 本发明基板搬出装置(70)藉由使基板载台(20)上装载的已完成曝光的基板(P)在装载于被收容在基板保持具(50)内的基板托盘(90)上的状态下，移动于与水平面平行的单轴方向(X轴方向)据以从基板保持具(50)搬出。相对于此，基板搬入装置(80)则系在将待搬入基板载台(20)的未曝光基板(P)装载于另一基板托盘(90)上的状态下使其在基板更换位置待机，待完成曝光的基板(P)从基板载台(20)搬出后，使该另一基板托盘(90)降下据以将未曝光的基板(P)装载于基板保持具(50)上。

公开(公告)号：CN102518954A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110306079.7

申请日：2007-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白数广 ,  青木保夫 ,  小山元夫 ,  菊池孝幸

IPC: F21S2/00 ,  F21V21/00 ,  F21V29/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: F21V19/006 ,  G03F7/70016 ,  H01J5/56 ,  H01J61/523 ,  H01J61/822

Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。

公开(公告)号：CN102483578A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080036901.6

申请日：2010-08-17

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  滨田智秀 ,  白数广 ,  户口学

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70716 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/04 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70816 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838 ,  Y10T29/49998

Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。

公开(公告)号：CN113504712B

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202110746539.1

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。