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公开(公告)号：CN103765544A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280041417.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J1/304 , H01J37/06 , H01J37/073
CPC classification number: H01J37/073 , H01J1/16 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J9/04 , H01J37/06 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341
Abstract: 为了延长场致发射型电子源的寿命，当增加扩散补偿源(1)即氧化锆的容积或重量时，存在容易对扩散补偿源(1)自身或钨针(2)带来损伤这样的课题。作为进一步的课题，还考虑为了避免上述课题而通过薄膜来形成扩散补偿源(1)的情况，但难以稳定得到超过8000小时的实用的寿命。本发明提供一种不会产生扩散补偿源(1)的缺损或破裂，且通过少量的扩散补偿源(1)的增量就能够延长寿命的场致发射型电子源，清楚可知能够稳定得到超过8000小时的实用的寿命。
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公开(公告)号：CN104094373B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103858204B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280048835.3
申请日：2012-09-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/226 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2007 , H01J2237/204 , H01J2237/2602 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供能使用便利性良好地利用带电粒子技术及光学技术可靠地对试样进行检查或观察的检查装置、观察装置。检查或观察装置具备：第一框体(7)，其形成第一空间(11)的至少一部分，该第一空间(11)构成从带电粒子照射部放出的一次带电粒子线到达试样期间的至少一部分的区域且能维持成真空状态；第二框体(121)，其设于该第一框体(7)，形成能收纳所述试样的第二空间(12)的至少一部分；隔壁部(10)，其配置于从所述带电粒子照射部照射出的一次带电粒子线向试样上照射时的所述带电粒子照射部的同轴上，将所述第一空间与所述第二空间隔开；光学式观察部，其对所述试样照射光，从与所述带电粒子照射部相同的方向检测来自所述试样的光。
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公开(公告)号：CN103765544B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280041417.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J1/304 , H01J37/06 , H01J37/073
CPC classification number: H01J37/073 , H01J1/16 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J9/04 , H01J37/06 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341
Abstract: 为了延长场致发射型电子源的寿命，当增加扩散补偿源(1)即氧化锆的容积或重量时，存在容易对扩散补偿源(1)自身或钨针(2)带来损伤这样的课题。作为进一步的课题，还考虑为了避免上述课题而通过薄膜来形成扩散补偿源(1)的情况，但难以稳定得到超过8000小时的实用的寿命。本发明提供一种不会产生扩散补偿源(1)的缺损或破裂，且通过少量的扩散补偿源(1)的增量就能够延长寿命的场致发射型电子源，清楚可知能够稳定得到超过8000小时的实用的寿命。
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公开(公告)号：CN103733299B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280039396.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2444 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。
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公开(公告)号：CN104851769A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510171197.X
申请日：2011-11-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2811
Abstract: 提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜筒射出的一次带电粒子线到达所述薄膜的路径维持为真空环境的箱体；相对于装置设置面支承上述带电粒子光学镜筒与第1箱体的机构，作为该支承机构，采用具有用于搬入大型试料的开放口的箱体、或者支柱等箱体以外的形状的机构。
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公开(公告)号：CN103329240A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201180066230.2
申请日：2011-11-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2811
Abstract: 提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜筒射出的一次带电粒子线到达所述薄膜的路径维持为真空环境的箱体；相对于装置设置面支承上述带电粒子光学镜筒与第1箱体的机构，作为该支承机构，采用具有用于搬入大型试料的开放口的箱体、或者支柱等箱体以外的形状的机构。
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