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公开(公告)号：CN106574998A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580044297.4
申请日：2015-09-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在通过机械加工在曲面基板上制造锯齿形状的衍射光栅图案时，工具的角度固定，因而在曲面的中心部、外周部处成为衍射光栅图案的角度不同的形状。另外，在通过半导体工艺在曲面基板上进行光刻、蚀刻，从而形成锯齿形状的衍射光栅图案时，需要调整光刻时的焦点深度和蚀刻角度，从而导致成本变高。本发明的曲面衍射光栅的模型的制造方法包括：在金属制平面衍射光栅基板上形成衍射光栅图案的工序、在金属制平面衍射光栅基板的、与形成有衍射光栅图案的面相反侧的面上形成焊料的工序；在曲面基板上将与焊料共晶的接合材料成膜的工序；以及利用曲面固定基板和曲面固定基板夹住金属制平面衍射光栅基板并施加负荷的工序。
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公开(公告)号：CN116981922A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202280019264.4
申请日：2022-04-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01L9/00
Abstract: 本发明提供一种改善压力测量的精度的压力传感器模块以及分注装置。压力传感器模块具备：流路基板，其形成有流路及分支路；以及应变检测部，其检测压力。所述分支路从所述流路分支并在一端与所述应变检测部连接，所述应变检测部以堵塞所述分支路的所述一端的方式至少部分地经由接合层而配置，以包围所述分支路的所述一端的方式设有突起部。
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公开(公告)号：CN111095043B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN201880059819.1
申请日：2018-11-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 能够容易地、高精度地将衍射光栅的沟槽图案的沟槽周期与凸面固定基板的位置进行对准。为此，将形成于平面衍射光栅(101)的、具有不等间隔的沟槽周期的沟槽图案(103)转印至金属薄膜(105)，在具有固定金属薄膜(105)的凸面的固定基板(108)的凸面上形成第一位置对准标记(109)，将形成于金属薄膜(105)的粘接面的第二位置对准标记(106)与第一位置对准标记(109)进行重合，由此进行位置对准，将金属薄膜的粘接面与固定基板的凸面进行粘接来制备母版(110)，转印母版(110)的金属薄膜的沟槽图案，由此来制备凹面衍射光栅。
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公开(公告)号：CN112912701A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201980068536.8
申请日：2019-11-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 分光光度计(300)包括白色光源(212)、对从白色光源(212)释放的光进行聚光的聚光透镜(242a、242b)、对由聚光透镜(242a、242b)聚光后的光进行衍射的狭缝(245)、对通过狭缝(245)的光进行分光的凹面衍射光栅(246)、以及具有对由凹面衍射光栅(246)分光后的光进行检测的多个光检测元件(304)的多波长检测器(248)，多波长检测器(248)具有的多个光检测元件(304)中的各个配置于凹面衍射光栅(246)的成像位置。
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公开(公告)号：CN105074512B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201480013530.8
申请日：2014-01-30
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1852 , G01N21/31 , G02B1/04 , G02B5/1814 , G02B5/1857 , G02B5/1861
Abstract: 本发明提供一种制作高精度衍射光栅的技术，能够通过使在硅基板上使用半导体工艺制作的平面衍射光栅沿曲面基板塑性变形，制造具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。其特征为：将使用半导体工艺制作的硅制平面衍射光栅转印至非晶质材料，并将非晶质材料基板曲面化，安装在曲面固定基板上，得到具有抑制转位线的产生的结晶性材料的曲面衍射光栅。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104335082B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201380029764.7
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1847 , B29C59/02 , B32B37/12 , B32B37/24 , B32B38/0012 , B32B2551/00 , G02B5/18 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , Y10T156/1028
Abstract: 本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。
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公开(公告)号：CN118119832A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202280070118.4
申请日：2022-10-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01L9/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种压力传感器，提高了膜片等受压部的剥离抑制效果。本发明的压力传感器(15)具备：传感器壳体(32)，其形成有第一流路(33)以及从第一流路(33)分支的第二流路(35)；传感器芯片(31)，其包括以堵塞第二流路(35)的方式设置的膜片部(31a)，并与传感器壳体(32)接合；帽部件(34)，其以从与传感器壳体(32)侧相反的一侧覆盖膜片部(31a)的方式设置在传感器芯片(31)上；以及按压部件(60)，其将帽部件(34)朝向传感器芯片(31)按压。传感器芯片(31)中的帽部件(34)的设置部位的内周配置为相对于传感器壳体(32)与传感器芯片(31)的接合部(36)的内周位于膜片部(31a)的中央侧。
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公开(公告)号：CN117693671A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202280049139.8
申请日：2022-07-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，其具有：传感器壳体，其具有在长边方向和短边方向上尺寸不同的开口部；传感器芯片，其以堵塞开口部的方式设置于传感器壳体，形成膜片部；应变计部，其设于传感器芯片；以及帽部件，其通过帽接合剂接合于传感器芯片，其中，帽接合剂的接合面中的膜片部的长边方向两端部的接合面的接合面积比膜片部的短边方向两端部的接合面的接合面积大。由此，在压力传感器中，能够防止膜片部的破损等，并且能够维持压力检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN111095043A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059819.1
申请日：2018-11-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 能够容易地、高精度地将衍射光栅的沟槽图案的沟槽周期与凸面固定基板的位置进行对准。为此，将形成于平面衍射光栅(101)的、具有不等间隔的沟槽周期的沟槽图案(103)转印至金属薄膜(105)，在具有固定金属薄膜(105)的凸面的固定基板(108)的凸面上形成第一位置对准标记(109)，将形成于金属薄膜(105)的粘接面的第二位置对准标记(106)与第一位置对准标记(109)进行重合，由此进行位置对准，将金属薄膜的粘接面与固定基板的凸面进行粘接来制备母版(110)，转印母版(110)的金属薄膜的沟槽图案，由此来制备凹面衍射光栅。
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公开(公告)号：CN104335082A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380029764.7
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1847 , B29C59/02 , B32B37/12 , B32B37/24 , B32B38/0012 , B32B2551/00 , G02B5/18 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , Y10T156/1028
Abstract: 本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。
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