真空蒸气处理装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101512036A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200780033699.X

    申请日:2007-09-10

    CPC classification number: C23C14/24 H01F41/0293

    Abstract: 本发明提供一种真空蒸气处理装置,其适于实施在处理室内形成金属蒸气气氛、该金属蒸气气氛中的金属附着到被处理物的表面,并且使附着到被处理物表面的金属原子扩散到其晶界内的处理。其具有处理炉11,设置在该处理炉内的至少一个处理箱,以及设置在处理炉内围绕该处理箱周围的加热手段2。当在处理箱内配置了被处理物S与金属蒸发材料V的状态下将其收容到处理炉中后,设置将处理炉和处理箱减压到规定压力并保持的真空排气手段,在减压状态下使加热手段动作,将被处理物加热到规定温度的过程中,一边升温一边使金属蒸发材料蒸发,并将该蒸发的金属原子提供到被处理物表面。

    硅精制方法
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102112394B

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN200980130258.0

    申请日:2009-08-11

    CPC classification number: C01B33/037

    Abstract: 一种硅精制方法,至少具有对由金属硅构成的母材照射电子束(EB)以去除金属杂质的凝固精制工序,所述凝固精制工序为:准备要进行一次精制的所述母材(20a),将所述母材(20a)的一部分装填到水冷坩埚(10)中,对配置在高真空气氛中的所述装填的母材(20a)的一部分的全部区域照射所述电子束(EB)使所述母材(20a)的一部分全都熔融;缓慢地减弱所述电子束(EB)的输出,自熔融的所述母材(20a)的一部分的熔融金属底部向着熔融金属表面部缓慢凝固,进行凝固直至凝固的部分占所述母材(20a)整体之中的第一规定比例;在所述水冷坩埚(10)中进一步装填所述母材(20a)的剩余部分(20f),对所述母材的剩余部分(20f)的全部区域照射所述电子束(EB)使所述母材(20a)的剩余部分全都熔融;缓慢地减弱所述电子束(EB)的输出,自熔融金属部(20d)的底部向着熔融金属表面部缓慢凝固,进行凝固直至凝固的部分占所述熔融金属部(20d)整体之中的第二规定比例;去除未凝固的熔融金属部(20j)。

    永久磁体的制造方法和永久磁体

    公开(公告)号:CN101952914B

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN200980105663.7

    申请日:2009-02-18

    CPC classification number: H01F1/0577 H01F41/0293

    Abstract: 本发明提供了一种永久磁体的制造方法,该方法适合于大批量、低成本地制造具有有效提高或恢复矫顽力等磁性能,并且具有耐蚀性和耐候性的永久磁体。将铁-硼-稀土类的烧结磁体和含Dy、Tb中的至少一种的金属蒸发材料设置在处理室内,进行加热蒸发,在金属蒸发材料蒸发过程中向设置了烧结磁体的处理室内导入惰性气体,控制惰性气体的分压从而调节蒸发的金属原子向烧结磁体表面的供给量,使金属原子附着,在形成由附着的金属原子构成的薄膜之前,使金属原子扩散到烧结磁体的晶界和/或晶界相中。接下来,向设置烧结磁体的处理室内导入冷却气体,在冷却处理室的过程中向处理室内导入反应气体,由反应膜覆盖烧结磁体表面,并成为固定状态。

    永磁铁以及永磁铁的制造方法

    公开(公告)号:CN101506919B

    公开(公告)日:2012-10-31

    申请号:CN200780031287.2

    申请日:2007-08-22

    Abstract: 提供一种永磁铁的制造方法,其不会使Nd-Fe-B系的烧结磁铁表面恶化,可通过使Dy高效扩散到晶界相中,有效提高磁化及顽磁力,不需要后续工序。在处理室20内把Nd-Fe-B系的烧结磁铁S和Dy隔一定距离配置。接着,在减压下把处理室20加热,使烧结磁铁升温到规定温度的同时使Dy蒸发,把蒸发的Dy原子提供到烧结磁铁表面并使之附着。此时,通过控制Dy原子对烧结磁铁的供给量,在烧结磁铁表面上形成Dy层之前,使Dy均匀地扩散到烧结磁铁的晶界相之中。

    真空蒸气处理装置
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101517120B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200780033905.7

    申请日:2007-09-10

    Abstract: 本发明提供一种真空蒸气处理装置,其可调节蒸发的金属原子在被处理物上的供给量且结构简单。其配置有:真空容器12,其可保持规定压力;处理容器2以及蒸发容器3,其在该真空容器内隔离设置并彼此连通;加热手段6a、6b,其在把被处理物配置在该处理容器2中的同时,把金属蒸发材料V配置在蒸发容器内,可在该状态下加热处理容器及蒸发容器。并采用以下构成:通过加热手段把处理容器及蒸发容器分别加热,使被处理物升温到规定温度的同时,使金属蒸发材料蒸发,把该蒸发的金属原子提供给处理容器内的被处理物表面。

    成膜方法和成膜装置以及永磁铁和永磁铁的制造方法

    公开(公告)号:CN102242342A

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN201110172131.4

    申请日:2006-03-14

    Abstract: 在有效利用作为成膜材料的Dy、Tb的同时,通过在具有规定形状的铁-硼-稀土系的磁铁表面高速成膜来提高生产率,能以低成本制造出永磁铁。通过在具有规定形状的铁-硼-稀土系磁铁表面上形成Dy膜的成膜工序以及通过在规定温度下实施热处理,使在表面上成膜的Dy扩散到磁铁的晶界相的扩散工序制造永磁铁。在上述情况下,成膜工序由加热实施该成膜工序的处理室,使预先配置在该处理室内的Dy蒸发,在处理室内形成具有规定的蒸汽压的Dy蒸汽气氛的第1工序,以及将保持在低于处理室内的温度上的磁铁送入处理室,在该磁铁达到规定温度之前,利用处理室内和磁铁之间的温差,使Dy选择性地附着沉积到磁铁表面的第2工序构成。

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