使用衍射光栅的激光干涉光刻方法

    公开(公告)号:CN101828140B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200880112270.4

    申请日:2008-10-08

    CPC classification number: G03F7/70408 G02B5/1809 G02B5/1814

    Abstract: 本发明提供了一种使用衍射光栅的激光干涉光刻方法,该方法包括以下步骤:(a)在将要形成重复精细图形的工作基板上形成光刻胶层;(b)在光刻胶层上形成折射率匹配材料层;(c)在折射率匹配材料层上形成衍射光栅的周期为λ/ng~λ/n0的衍射光栅层,其中λ为激光束的波长,ng为衍射光栅的折射率,且n0为空气或真空中的折射率;以及(d)通过向衍射光栅层上垂直输入激光束并利用具有相同绝对值的正负级衍射光的相互干涉使光刻胶层曝光。该方法可以实现具有更高分辨率的干涉图形,且可使用较低相干性的激光源。

    形成高分辨率图形的方法以及具有由该方法形成的预图形的基板

    公开(公告)号:CN101176192B

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN200680016207.1

    申请日:2006-05-12

    Inventor: 申东仑 金台洙

    CPC classification number: C09D11/30 H01L21/02118 H01L21/02288 H01L21/312

    Abstract: 本发明公开了一种形成图形的方法,其包括如下步骤:(a)提供具有部分或全部形成于基板上且由第一材料制成的牺牲层的基板;(b)通过使用第一方式在牺牲层上形成不含第一材料且具有第一分辨率或比第一分辨率低的分辨率所获得的最小线宽的图形沟纹;(c)通过使用第二方式用第二材料填充所述图形沟纹;及(d)通过照射或加热除去存在于残留的牺牲层中的第一材料,其中,第一材料的阈通量密度小于第二材料的阈通量密度,在步骤(d)中以在第一材料的阈通量密度至第二材料的阈通量密度范围内的剂量除去第一材料,并且由第二材料在所述基板上形成所述图形。本发明还公开了具有由所述方法形成的预图形的基板。所述形成图形的方法提供了高分辨率的图形,并且该方法很少或不浪费第二材料,从而降低了生产成本。该方法包括将例如激光聚焦能量束的具有高分辨率的第一方式与例如喷墨的具有低分辨率的第二方式结合使用,并提供具有高加工效率的高分辨率的图形。

    制备偏振分离器的方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104011570A

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201280064182.8

    申请日:2012-12-21

    CPC classification number: G02B5/3075 G02B5/3058

    Abstract: 本申请涉及一种制备偏振光分离元件的方法、偏振光分离元件、光辐射装置、辐射光的方法以及制备定向排序的光控取向层的方法。本申请的制备偏振光分离元件的方法具有简单的制备过程和较低的生产成本,并且有助于制备大尺寸的紫外偏振光分离元件。此外,本申请的偏振光分离元件对于紫外线和热具有优异的耐久性,由于对偏振特性的间距依赖性较低而具有简便的制备过程,而且即使在短波长区域内也能够实现优良的偏振度。

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