公开(公告)号：CN101275826A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810086521.8

申请日：2008-03-14

申请人： 富士能株式会社

发明人： 植木伸明

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01M11/00

CPC分类号： G01M11/0271 ,  G01M11/0221

摘要： 本发明提供一种将所制造的非球面透镜上产生的面偏移在与面斜倾分离下可高精度地测量的非球面透镜的面偏移测量方法及装置。通过计算机仿真求出被检测透镜(1)的面斜倾和面斜倾分彗差之间的关系、及被检测透镜(1)的面偏移和面偏移分彗差之间的关系。而且，通过突出部(3)的透过波前测量而求出被检测透镜(1)的面斜倾，且通过透镜部(2)的透过波前测量而求出被检测透镜(1)的彗差。通过从该彗差减去面斜倾分彗差，算出起因于面偏移的面偏移分彗差，根据该面偏移分彗差，算出被检测透镜(1)的面偏移。

公开(公告)号：CN1973246A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200580018031.9

申请日：2005-06-02

申请人： 卡尔蔡司SMT股份公司

发明人： M·门格尔 ,  U·维格曼 ,  A·厄尔曼 ,  W·埃默 ,  R·克莱门特 ,  L·马蒂杰森

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G01M11/0257 ,  G01M11/0214 ,  G01M11/0271 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70591 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70958 ,  Y10T428/31

摘要： 一种用于光学成像系统(150)的光学测量的测量系统(100)，提供该光学成像系统以使设置在成像系统的目标表面(155)的图案成像到成像系统的图像表面(156)，该测量系统包括，具有目标侧测量结构(111)的目标侧结构载体(110)，其设置于成像系统的目标侧上；具有图像侧测量结构(121)的图像侧结构载体(120)，其设置于成像系统的图像侧上；该目标侧测量结构和该图像侧测量结构以这种方式彼此匹配：当目标侧测量结构借助于成像系统成像到图像侧测量结构上时，产生叠加图案；和用于叠加图案的局部分辨采集的检测器(130)。该成像系统设计为用于借助浸液(171)成像的浸液系统。给设置在浸液区域中的结构载体分配保护系统(125)，以提高测量结构对由浸液导致的降解的抵抗力。因此，在浸液条件下的浸液系统的测量在测量精确度方面，可能不受浸液的有害影响。

公开(公告)号：CN1133073C

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：CN99111149.4

申请日：1999-07-27

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 高田和政 ,  中城正裕 ,  西井完治

IPC分类号： G01M11/02

CPC分类号： G01M11/0271

摘要： 一种测定与诸如DVD的光学系统一起使用的光学元件如光学头象差的方法。在此方法中，光束透过光学元件并衍射成例如0，±1，±2级衍射光。其中，第一和第二光束(如0和+1，0和-1，+1和-1，或0和±1级衍射光)叠加形成第一和第二光束共有的一个图象。然后测得在共有图象中第一和第二点处的光强度。此时，使第一和第二点处的光强变化。之后测得第一和第二点之间光强的相位差。利用相位差判定光学元件的象差。

公开(公告)号：CN107907307A

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201711096259.0

申请日：2017-11-09

申请人： 成都精密光学工程研究中心

发明人： 崔建朋 ,  张宁 ,  刘杰 ,  蔡超 ,  卢忠文 ,  姚轲 ,  吕亮 ,  鄢定尧 ,  马平

IPC分类号： G01M11/02

CPC分类号： G01M11/0271

摘要： 本发明公开了一种楔形透镜透射波前的测量装置和方法。其中，本发明提供的楔形透镜透射波前的测量装置主要包括沿光路传播方向的平面干涉仪、被测楔形透镜、计算全息元件，平面干涉仪、被测楔形透镜和计算全息元件被安放在光学平台上；所述计算全息元件与平面干涉仪的透射标准镜之间的夹角为γ，所述被测楔形透镜处于设计位置。本发明采用平面干涉仪和计算全息元件测量楔形透镜的透射波前，光路结构简单，易于实现；另外，通过对准区域和基准区域的辅助，可以很容易的将计算全息元件和被测楔形透镜调整到设计位置，光路调整非常方便，在实际应用和生产中具有较好的应用前景。

公开(公告)号：CN105424325A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510982270.1

申请日：2015-12-24

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 王向朝 ,  唐锋 ,  张国先 ,  徐世福

IPC分类号： G01M11/02

CPC分类号： G01M11/0271 ,  G01J9/0215 ,  G01J2009/0223 ,  G01J2009/0226 ,  G01J2009/0265 ,  G03F7/706

摘要： 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成，特点在于理想波前发生单元的第一输出端和第二输出端之间的中心距离小于被测光学系统的等晕区的直径，大于被测光学系统像点弥散斑的直径除以被测光学系统的放大倍数。本发明测量仪具有检测步骤简单、测量过程具有平均效果、可实现完整数值孔径的系统误差标定和消除等优点。

公开(公告)号：CN104655046A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201510069546.7

申请日：2015-02-10

申请人： 帝麦克斯(苏州)医疗科技有限公司

发明人： 梁晨 ,  周丕轩

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01B11/30 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/021 ,  G01B11/2441 ,  G01M11/02 ,  G01M11/0271

摘要： 本发明揭示了一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法和系统，在反射中，由横向位于共路干涉仪光轴上的衍射元件形成两个衍射光束(具有不同的衍射级项)。第一衍射光束保持了照射到衍射元件上的波阵面，第二衍射光束具有与被测表面相对应的波阵面。第一衍射光束可以被猫眼装置中的表面反射，第二衍射光束可以被共聚焦平面的表面反射。待测的表面可以被调整来平衡反射到表面的第一衍射光束和第二衍射光束的强度。

公开(公告)号：CN104169704A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201380013373.6

申请日：2013-03-08

申请人： 依视路国际集团(光学总公司)

发明人： 斯泰凡·古厄 ,  尼库拉斯·拉维隆尼厄 ,  法比恩·穆拉多雷 ,  阿斯马·拉克豪埃

IPC分类号： G01M11/02 ,  G01B11/24

CPC分类号： G01M11/025 ,  G01B11/24 ,  G01M11/0264 ,  G01M11/0271

摘要： 本发明的主题是一种用于测量光学组件的几何或光学结构的方法和系统。具体地，本发明涉及一种用于测量由一个第一侧面(10)和一个第二侧面(20)所界定的组件的几何结构的方法，所述方法包括以下步骤：(S1)测量一个第一信号(MS1)，该第一信号是由至少所述第一侧面(10)对一个第一探测信号(PS1)进行的一次第一转化所产生的；(S2)测量一个第二信号(MS2)，该第二信号是由至少所述第二侧面(20)对一个第二探测信号(PS2)进行的一次第二转化所产生的；(S3)确定一次第三转换，该第三转换使得可以将与对该第一信号(MS1)的测量相关联的一个第一坐标系(R1)转换成与对该第二信号(MS2)的测量相关联的一个第二坐标系(R2)；(S10)使用该第一信号(MS1)、所述第一模拟和一个对该估计(ES1)与该第一信号(MS1)之间的差别进行量化的第一代价标准(V1)对所述第一侧面(10)进行估计；以及(S20)使用该第二信号(MS2)、所述第二模拟、所述第三转换和一个对该估计(ES2)和该第二信号(MS2)之间的差异进行量化的第二代价标准(V2)对所述第二侧面(20)进行估计。

公开(公告)号：CN102918373A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201180024878.3

申请日：2011-05-19

申请人： 佳能株式会社

发明人： 杉本智洋

IPC分类号： G01M11/02 ,  G01M11/00 ,  G01N21/45

CPC分类号： G01N21/45 ,  G01M11/0228 ,  G01M11/0257 ,  G01M11/0271

摘要： 一方法包括：通过将基准光引入到被布置在折射率与测试对象的折射率不同的介质中的测试对象中来测量测试对象的透过波面，以及通过使用透过波面的测量结果来计算测试对象的折射率分布。测量步骤测量对于第一波长的第一透过波面和对于与第一波长不同的第二波长的第二透过波面。计算步骤通过利用第一透过波面和第二透过波面的测量结果以及被布置在介质中的基准对象的对于第一波长和第二波长中的每一个的透过波面来去除测试对象的形状成分，计算测试对象的折射率分布。基准对象具有与测试对象相同的形状和特定的折射率分布。

公开(公告)号：CN102203577A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980143060.6

申请日：2009-11-04

申请人： 佳能市场营销日本株式会社

发明人： 铃木秀和

IPC分类号： G01M11/02

CPC分类号： G01M11/0271

摘要： 提供一种能够在短时间内简单且高精度地测定被检查透镜的透射波阵面的测定装置、用于其的对准系统、对准系统的控制方法和程序。对准系统(40)被用于具有干涉仪(20)且测定被检查透镜(10)的透射波阵面的测定装置(1)，将被检查透镜(10)的聚光点(CP)与反射型球面标准原器(27)的球心进行对位，所述对准系统具有使载置被检查透镜(10)的载置台(25)移动的移动部(50)和计算机(60)，并且具有根据所设定的移动方向和移动量来控制移动部(50)的移动控制模块(70)，在方向判断模块(64)判断为实际上明暗区域(16)的中心(17)向离开检测区域(29a)的中心(29b)的方向移动的情况下，移动控制模块(70)将所设定的移动方向重新设定为相反方向，并且控制移动部(50)以使载置台(25)向重新设定的移动方向移动。

公开(公告)号：CN102200432A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201110076996.0

申请日：2011-03-23

申请人： 富士胶片株式会社

发明人： 孙萍 ,  葛宗涛

IPC分类号： G01B11/26

CPC分类号： G01M11/025 ,  G01B11/2441 ,  G01M11/0271

摘要： 本发明公开了一种非球面物体测量方法和设备。为了获得非球面透镜(9)的第一和第二透镜表面(91，92)的几何数据，第一和第二干涉仪(1A，1B)分别测量来自第一表面和第二表面的反射波前。第一和第二透镜表面的几何数据每一个都由Zernike多项式近似表示，以确定Zernike多项式的第二和第三项系数(Z1，Z2)的值。根据所述几何数据计算第一透镜表面相对于第一干涉仪的第一光轴(L1)的顶点偏心值和第二透镜表面相对于第二干涉仪的第二光轴(L2)的顶点偏心值。第一和第二透镜表面的第一和第二系数以及顶点偏心值用于计算第一透镜表面相对于第一光轴的位移量和倾斜量以及第二透镜表面相对于第二光轴的位移量和倾斜量，以确定第一透镜表面相对于第二透镜表面的轴偏和倾斜。