公开(公告)号：CN100397732C

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN99803585.8

申请日：1999-02-16

Applicant: 西默股份有限公司

Inventor： D·S·诺尔斯 ,  J·H·阿佐拉 ,  H·A·贝萨奥克里 ,  P·P·达斯 ,  A·叶尔绍夫一世 ,  T·尤哈兹 ,  R·M·内斯 ,  R·G·奥扎斯基 ,  W·N·帕特罗 ,  D·A·罗斯韦尔 ,  R·L·桑德斯特伦 ,  R·C·乌佳导斯基 ,  T·A·沃森 ,  I·V·福缅科夫

IPC: H01S3/22 ,  H01S3/097 ,  H01S3/08

CPC classification number: G03F7/70358 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/134 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256

Abstract: 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器，能够产生1000Hz，带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括：单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度；阳极支撑条的形状，有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力；经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间；反射率明显地增加的输出耦合器(65)；带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块；更正确的波长计；用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。

公开(公告)号：CN1897372A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200610121250.6

申请日：2006-07-11

Applicant: 三丰株式会社

Inventor： 大关衡和 ,  石井恭

IPC: H01S3/13 ,  H01S3/105 ,  H01S3/08 ,  H01S5/0687

CPC classification number: H01S3/1392 ,  H01S3/082 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1611 ,  H01S3/1673

Abstract: 本发明提供的是一种能够使激光的振荡频率稳定化的频率稳定化激光器，具有对由参照用激光透过吸收单元而得到的光输出信号实施检测的检测装置(26)、生成光输出信号的三次微分信号的三次微分信号检测装置(32、33)、使谐振器长度变化的第一促动器(125)、驱动第一促动器(125)的第一驱动装置(31)、能够使谐振器长度产生变化的第二促动器(126)、驱动第二促动器(126)的第二驱动装置(36)、根据光输出信号控制第一促动器的第一控制装置(30)和根据三次微分信号通过第二促动器控制谐振器长度的第二控制装置(35)。而且，能够通过第一促动器(125)和第二促动器(126)控制上述谐振器长度，使上述振荡频率稳定化。

公开(公告)号：CN1763557A

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN200510109425.7

申请日：2005-10-18

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 朱淼 ,  来纳德·S·卡特勒 ,  约翰·埃德温·伯伯里恩

IPC: G01R33/00

CPC classification number: H01S3/1392 ,  H01S3/1394 ,  H01S3/1398

Abstract: 本发明公开了一种用于产生稳定的频率信号的装置(20)。该装置(20)包括具有第一、第二和第三能态的量子吸收体(13)。量子吸收体(13)被第一辐射源(21)照射，第一辐射源(21)产生具有频率νL的电磁辐射，该电磁辐射激发第一和第三能态之间的跃迁。量子吸收体(13)还被第二辐射源(18)照射，第二辐射源(18)产生具有频率νM的电磁辐射，该电磁辐射激发第一和第二能态之间的跃迁。检测器被多个伺服回路使用，所述检测器产生检测器信号，该信号指示出离开量子吸收体(13)的辐射在包括νL在内的频率范围中的辐射水平。伺服回路之一确定νL的值，该值使检测器信号最小化或最大化，并且第二伺服回路(31)确定偏移信号，该偏移信号降低了νM对第一辐射源(21)的强度的依赖性。

公开(公告)号：CN107546570A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201710501990.0

申请日：2017-06-27

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 大关衡和 ,  松浦敏晋

IPC: H01S5/042

CPC classification number: H01S3/137 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/0092 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/1317 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/1611 ,  H01S3/1673 ,  H01S5/02415 ,  H01S5/02446 ,  H01S5/042 ,  H01S5/0604 ,  H01S5/0612 ,  H01S5/06808 ,  H01S5/0683

Abstract: 本发明涉及一种电流控制装置和激光器装置。该电流控制装置向半导体激光器供给电流以使该半导体激光器输出激光，并且包括电流指令器和供给器。所述电流指令器通过随着时间的经过增加与电流值相对应的指令值、直到达到与用以输出具有预定强度的激光的电流值相对应的目标指令值为止，来输出指令值。所述供给器将具有与电流指令器所输出的指令值相对应的大小的电流供给至半导体激光器。

公开(公告)号：CN106058632A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610566665.8

申请日：2016-07-15

Applicant: 暨南大学

Inventor： 朱思祁 ,  江炜 ,  陈振强 ,  尹浩 ,  李真

IPC: H01S3/30 ,  H01S3/139 ,  G02F1/21 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01S3/30 ,  G02F1/21 ,  H01L21/2007 ,  H01S3/139 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/302

Abstract: 本发明公开了一种基于键合晶体的脉冲能量可调的被动调Q拉曼激光系统，该系统包括泵浦光源、传输光纤、光纤输出接口、耦合透镜组、反射腔镜、耦合输出镜、拉曼晶体以及由激光晶体、可饱和吸收体和非掺杂晶体组成的键合晶体。可饱和吸收体采用从上至下厚度缓慢变化的结构可以在不同的位置获得不同的初始透过率，当泵浦光源上下移动或者键合晶体上下移动时，激光穿过不同厚度的可饱和吸收体，基频激光会被调节为脉冲能量不同的脉冲激光，并进而通过拉曼晶体实现脉冲能量可调的拉曼激光输出。本发明的优点在于能克服常规被动调Q系统脉冲能量无法调整的缺点，并能够针对拉曼晶体选择最佳的脉冲能量，实现高效的拉曼激光输出。

公开(公告)号：CN100416950C

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN02813018.9

申请日：2002-06-05

Applicant: 西默股份有限公司

Inventor： C·C·蒂图斯 ,  W·G·胡尔布德 ,  R·F·西布尔斯基 ,  J·M·埃尔格茨 ,  M·S·利西克

IPC: H01S3/08 ,  H01S3/1055

CPC classification number: H01S3/036 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/0812 ,  H01S3/086 ,  H01S3/13 ,  H01S3/134 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2256

Abstract: 本发明提供一种用于对产生高能激光束的基于光栅的激光器变窄光线的变窄光线装置。提供了一种挠性光栅固定件，它真正地消除了由于光栅和壳体结构之间的不同热膨胀而导致的光栅上的应力。使用一挠性光栅固定件将在一厚的超低膨胀玻璃基片上包括一十分薄的铝制表面的光栅附接至一铝制壳体结构上。在光栅固定件中至少设置一个挠曲连接部，它允许基片热膨胀和收缩。在一些实施例中，固定件包括一金属板，所述挠曲连接部是机加工到金属板中的带有四个腿部(126)的一H形的挠曲连接部(124)。在另一实施例中，设置了两个H形的挠曲连接部。在其它的实施例中，该挠曲连接部是一鸠尾连接部，它允许固定件的一端相对另一端滑动。