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公开(公告)号：CN1402897A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN00816396.0
申请日：2000-11-22
申请人： 西默股份有限公司
发明人： W·N·帕特罗 , R·L·桑德斯特罗姆 , R·F·塞布尔斯基 , I·V·弗门科夫 , A·I·叶尔绍夫
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/027 , H01S3/036 , H01S3/0401 , H01S3/1055 , H01S3/225
摘要： 一种光栅基窄线装置用的氦气吹洗，用以使在高重复速率下产生高能激光束的窄线激光器中的热失真减至最少。申请者们业已表明，和先前技术中的氮吹洗相比，氦吹洗在性能上有明显的改进。在较佳实施例中氦气流对着光栅面(16)直接越过。在其他实施例中使吹洗气压降低以减小热气体层的光学影响。
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公开(公告)号：CN1295729A
公开(公告)日：2001-05-16
申请号：CN99803585.8
申请日：1999-02-16
申请人： 西默股份有限公司
发明人： D·S·诺尔斯 , J·H·阿佐拉 , H·A·贝萨奥克里 , P·P·达斯 , A·叶尔绍夫一世 , T·尤哈兹 , R·M·内斯 , R·G·奥扎斯基 , W·N·帕特罗 , D·A·罗斯韦尔 , R·L·桑德斯特伦 , R·C·乌佳导斯基 , T·A·沃森 , I·V·福缅科夫
CPC分类号： G03F7/70358 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器,能够产生1000Hz,带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括:单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度;阳极支撑条的形状,有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力;经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间;反射率明显地增加的输出耦合器(65);带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块;更正确的波长计;用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。
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公开(公告)号：CN100397732C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN99803585.8
申请日：1999-02-16
申请人： 西默股份有限公司
发明人： D·S·诺尔斯 , J·H·阿佐拉 , H·A·贝萨奥克里 , P·P·达斯 , A·叶尔绍夫一世 , T·尤哈兹 , R·M·内斯 , R·G·奥扎斯基 , W·N·帕特罗 , D·A·罗斯韦尔 , R·L·桑德斯特伦 , R·C·乌佳导斯基 , T·A·沃森 , I·V·福缅科夫
CPC分类号： G03F7/70358 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器，能够产生1000Hz，带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括：单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度；阳极支撑条的形状，有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力；经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间；反射率明显地增加的输出耦合器(65)；带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块；更正确的波长计；用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。
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公开(公告)号：CN1232010C
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN00816396.0
申请日：2000-11-22
申请人： 西默股份有限公司
发明人： W·N·帕特罗 , R·L·桑德斯特罗姆 , R·F·塞布尔斯基 , I·V·弗门科夫 , A·I·叶尔绍夫
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/027 , H01S3/036 , H01S3/0401 , H01S3/1055 , H01S3/225
摘要： 一种光栅基窄线装置用的氦气吹洗，用以使在高重复速率下产生高能激光束的窄线激光器中的热失真减至最少。申请者们业已表明，和先前技术中的氮吹洗相比，氦吹洗在性能上有明显的改进。在较佳实施例中氦气流对着光栅面(16)直接越过。在其他实施例中使吹洗气压降低以减小热气体层的光学影响。
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