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公开(公告)号：CN100508308C
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN02807812.8
申请日：2002-03-29
申请人： 西默股份有限公司
CPC分类号： H01S3/10092 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/0078 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/08068 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2258 , H01S3/2325 , H01S3/2333 , H01S3/2366
摘要： 本发明提供了一种具有两个激光器子系统的窄带激光器系统。第一激光器子系统(种子激光器)提供了非常窄带脉冲光束，它用于把种子注入第二激光器子系统(从属振荡器或功率放大器)，其中窄带脉冲种子光束被放大以产生窄带脉冲输出光束。脉冲电源(脉冲功率)对两个激光器子系统内的放电进行精确定时，使得这两个放电被适当同步。激光器气体包括F2，其分压强低于约1%，缓冲气体由氦、氖或它们的组合组成。通过调整第一激光器子系统内下列参数的一个或多个而提供对输出光束中心波长的控制：总激光器气压、氦或氖的相对浓度、F2分压强、激光器气体温度、放电电压和脉冲能量。
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公开(公告)号：CN100397732C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN99803585.8
申请日：1999-02-16
申请人： 西默股份有限公司
发明人： D·S·诺尔斯 , J·H·阿佐拉 , H·A·贝萨奥克里 , P·P·达斯 , A·叶尔绍夫一世 , T·尤哈兹 , R·M·内斯 , R·G·奥扎斯基 , W·N·帕特罗 , D·A·罗斯韦尔 , R·L·桑德斯特伦 , R·C·乌佳导斯基 , T·A·沃森 , I·V·福缅科夫
CPC分类号： G03F7/70358 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器，能够产生1000Hz，带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括：单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度；阳极支撑条的形状，有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力；经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间；反射率明显地增加的输出耦合器(65)；带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块；更正确的波长计；用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。
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公开(公告)号：CN1295729A
公开(公告)日：2001-05-16
申请号：CN99803585.8
申请日：1999-02-16
申请人： 西默股份有限公司
发明人： D·S·诺尔斯 , J·H·阿佐拉 , H·A·贝萨奥克里 , P·P·达斯 , A·叶尔绍夫一世 , T·尤哈兹 , R·M·内斯 , R·G·奥扎斯基 , W·N·帕特罗 , D·A·罗斯韦尔 , R·L·桑德斯特伦 , R·C·乌佳导斯基 , T·A·沃森 , I·V·福缅科夫
CPC分类号： G03F7/70358 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器,能够产生1000Hz,带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括:单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度;阳极支撑条的形状,有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力;经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间;反射率明显地增加的输出耦合器(65);带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块;更正确的波长计;用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。
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公开(公告)号：CN1742413A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN02807812.8
申请日：2002-03-29
申请人： 西默股份有限公司
CPC分类号： H01S3/10092 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/0078 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/08068 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2258 , H01S3/2325 , H01S3/2333 , H01S3/2366
摘要： 本发明提供了一种具有两个激光器子系统的窄带激光器系统。第一激光器子系统(种子激光器)提供了非常窄带脉冲光束，它用于把种子注入第二激光器子系统(从属振荡器或功率放大器)，其中窄带脉冲种子光束被放大以产生窄带脉冲输出光束。脉冲电源(脉冲功率)对两个激光器子系统内的放电进行精确定时，使得这两个放电被适当同步。激光器气体包括F2，其分压强低于约1％，缓冲气体由氦、氖或它们的组合组成。通过调整第一激光器子系统内下列参数的一个或多个而提供对输出光束中心波长的控制：总激光器气压、氦或氖的相对浓度、F2分压强、激光器气体温度、放电电压和脉冲能量。
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